Title (en)

METHOD FOR MANUFACTURING A THERMOCOMPENSATED HAIRSPRING

Title (de)

HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER THERMOKOMPENSIERTEN SPIRALFEDER

Title (fr)

PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RESSORT SPIRAL THERMOCOMPENSÉ

Publication

EP 3002638 A2 20160406 (FR)

Application

EP 15183042 A 20150828

Priority

CH 13492014 A 20140908

Abstract (fr)

Procédé de fabrication d'un oscillateur mécanique (1) destiné à équiper un résonateur mécanique d'un mouvement d'horlogerie, un senseur MEMS ou un autre instrument de précision; l'oscillateur (1) comprenant une âme (2) fabriquée dans un matériau ayant un premier coefficient thermoélastique (²1) et un revêtement périphérique (4) en un oxyde présentant un second coefficient thermoélastique (² 2 ); le procédé comprenant la déposition du revêtement (4) à une température qui reste inférieure ou égale à 500°C, et un traitement thermique de recuit du revêtement (4) à une température d'au moins 550°C, afin d'ajuster le second coefficient thermoélastique (² 2 ) du revêtement (4) pour que ce dernier compense l'effet de la variation du premier coefficient thermoélastique (² 1 ) de l'âme avec la température.

IPC 8 full level

G04B 17/06 (2006.01)

CPC (source: EP)

G04B 17/066 (2013.01)

Citation (applicant)

• JP H06117470 A 19940426 - YOKOGAWA ELECTRIC CORP
• DE 10127733 A1 20030206 - SILICIUM ENERGIESYSTEME E K DR [DE]
• EP 1422436 A1 20040526 - CSEMCT SUISSE D ELECTRONIQUE E [CH]
• WO 2013064351 A1 20130510 - SWATCH GROUP RES & DEV LTD [CH]
• EP 2395662 B1 20140416 - SWATCH GROUP RES & DEV LTD [CH]
• CAO Z. ET AL., J. APPL. PHYS., vol. 96, no. 8, 2004, pages 4273 - 4280
• HILLER D. ET AL., J. APPL. PHYS, vol. 107, no. 064314, 2010, pages 1 - 10
• JANSEN F. ET AL., APPL. PHYS. LETT, vol. 50, no. 16, 1987, pages 1059 - 1061

Designated contracting state (EPC)

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Designated extension state (EPC)

BA ME

DOCDB simple family (publication)

EP 3002638 A2 20160406; EP 3002638 A3 20160713; EP 3002638 B1 20210818

DOCDB simple family (application)

EP 15183042 A 20150828