Title (en)

LIQUID ATOMIZING DEVICE AND METHOD FOR ITS PREPARATION

Title (de)

VORRICHTUNG ZUR FLÜSSIGKEITSZERSTÄUBUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG

Title (fr)

DISPOSITIF DE PULVÉRISATION DE LIQUIDE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Publication

EP 3017876 A1 20160511 (DE)

Application

EP 15193411 A 20151106

Priority

DE 102014222680 A 20141106

Abstract (de)

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Mikroakustik und betrifft eine Vorrichtung zur Flüssigkeitszerstäubung, wie sie beispielsweise im medizinischen Bereich für die Inhalation zum Einsatz kommen kann. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung anzugeben, mit der unter Einsatz von akustischen Oberflächenwellen eine sichere, reproduzierbare und gleichmäßige Zerstäubung von Flüssigkeiten gewährleistet werden kann. Gelöst wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung, bestehend aus einem piezoelektrischen Substrat mit mindestens einem Interdigitalwandler und auf dem Substrat ein oder mehrere mittels fotolithografischer Verfahren aufgebrachte Strukturen aus Polymermaterial mit Mikrokanälen vorhanden sind, die teilweise außerhalb des Ausbreitungsbereichs der akustischen Welle angeordnet sind, und mindestens eine Öffnung der Mikrokanäle an der Position angeordnet ist, an der die akustische Welle einen nachweislichen Anstieg der Amplitude der akustischen Welle aufweist. Die Aufgabe wird weiterhin durch ein Verfahren gelöst, bei dem Polymermaterial fotolithographisch aufgebracht und strukturiert belichtet wird.

IPC 8 full level

B05B 17/06 (2006.01)

CPC (source: EP)

B05B 17/0607 (2013.01); B05B 17/0661 (2013.01); B05B 17/0676 (2013.01)

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DOCDB simple family (publication)

EP 3017876 A1 20160511; EP 3017876 B1 20200408; DE 102014222680 A1 20160512

DOCDB simple family (application)

EP 15193411 A 20151106; DE 102014222680 A 20141106