Global Patent Index - EP 3032107 A2

EP 3032107 A2 20160615 - TURBOMOLECULAR PUMP

Title (en)

TURBOMOLECULAR PUMP

Title (de)

TURBOMOLEKULARPUMPE

Title (fr)

POMPE TURBOMOLECULAIRE

Publication

EP 3032107 A2 20160615 (DE)

Application

EP 15191438 A 20151026

Priority

DE 102014118083 A 20141208

Abstract (de)

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest einen um eine Achse (34) drehbar gelagerten Schaufelrotor (12) umfasst, wobei eine den Schaufelrotor (12) zumindest teilweise umgebende Wand (16) auf wenigstens einem pumpwirksamen Teilbereich ihrer dem Schaufelrotor (12) zugewandten Seite mit zumindest einer Vertiefung versehen ist. Ferner betrifft die Erfindung eine Turbomolekularpumpemit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest in einem Teilaxialbereich von einem Holweckstator umgeben ist, dessen pumpwirksame Seite dem Schaufelrotor (12) der Turbomolekularpumpstufe zugewandt ist.

IPC 8 full level

F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/32 (2006.01); F04D 29/54 (2006.01); F04D 29/64 (2006.01)

CPC (source: EP)

F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/044 (2013.01); F04D 29/526 (2013.01); F04D 29/685 (2013.01)

Designated contracting state (EPC)

AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

Designated extension state (EPC)

BA ME

DOCDB simple family (publication)

EP 3032107 A2 20160615; EP 3032107 A3 20160831; EP 3032107 B1 20200415; DE 102014118083 A1 20160609

DOCDB simple family (application)

EP 15191438 A 20151026; DE 102014118083 A 20141208