EP 3032107 A2 20160615 - TURBOMOLECULAR PUMP
Title (en)
TURBOMOLECULAR PUMP
Title (de)
TURBOMOLEKULARPUMPE
Title (fr)
POMPE TURBOMOLECULAIRE
Publication
Application
Priority
DE 102014118083 A 20141208
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest einen um eine Achse (34) drehbar gelagerten Schaufelrotor (12) umfasst, wobei eine den Schaufelrotor (12) zumindest teilweise umgebende Wand (16) auf wenigstens einem pumpwirksamen Teilbereich ihrer dem Schaufelrotor (12) zugewandten Seite mit zumindest einer Vertiefung versehen ist. Ferner betrifft die Erfindung eine Turbomolekularpumpemit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die zumindest in einem Teilaxialbereich von einem Holweckstator umgeben ist, dessen pumpwirksame Seite dem Schaufelrotor (12) der Turbomolekularpumpstufe zugewandt ist.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/32 (2006.01); F04D 29/54 (2006.01); F04D 29/64 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/044 (2013.01); F04D 29/526 (2013.01); F04D 29/685 (2013.01)
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
EP 3032107 A2 20160615; EP 3032107 A3 20160831; EP 3032107 B1 20200415; DE 102014118083 A1 20160609
DOCDB simple family (application)
EP 15191438 A 20151026; DE 102014118083 A 20141208