Global Patent Index - EP 3067560 A1

EP 3067560 A1 20160914 - Vacuum pump and method for operating a scroll pump or a vacuum pump with at least two pump stages

Title (en)

Vacuum pump and method for operating a scroll pump or a vacuum pump with at least two pump stages

Title (de)

Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb einer Scrollpumpe oder einer Vakuumpumpe mit wenigstens zwei Pumpstufen

Title (fr)

Pompe à vide et procédé de fonctionnement d'une pompe à spirales ou d'une pompe à vide dotée d'au moins deux étages

Publication

EP 3067560 A1 20160914 (DE)

Application

EP 15158724 A 20150312

Priority

EP 15158724 A 20150312

Abstract (en)

[origin: JP2016169731A] PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of prolonging a service life of an abradable seal in a vacuum pump, and detecting abrasion of the seal in the vacuum pump early.SOLUTION: A vacuum pump 101 has at least one pump stage, a motor and a motor control part. In the vacuum pump that is a dry operation type vacuum pump having an abradable seal 148, at least one pressure sensor 51 is provided ahead of a first pump stage and/or in at least one compression chamber in the vacuum pump. The pressure sensor 51 is connected to an evaluation unit 53.SELECTED DRAWING: Figure 3

Abstract (de)

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer Pumpstufe, einem Motor und einer Motorsteuerung, wobei die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe mit verschleißbehafteten Dichtungen ausgebildet ist, bei der wenigstens ein Drucksensor vor der ersten Pumpstufe und/oder in wenigstens einem Verdichtungsraum angeordnet ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb einer Scrollpumpe oder einer Vakuumpumpe mit wenigstens zwei Pumpstufen, bei der im Pumpbetrieb der Drucksensor einen Gasdruck im Ansaugbereich und/oder in wenigstens einem Verdichtungsraum misst, wobei die Messwerte des Drucksensors von einer Auswerteeinheit ausgewertet werden, und die Drehzahl der Pumpe in Abhängigkeit von einem Auswerteergebnis eingestellt wird.

IPC 8 full level

F04B 37/14 (2006.01); F04B 39/04 (2006.01); F04B 49/20 (2006.01); F04C 25/02 (2006.01); F04C 27/00 (2006.01)

CPC (source: EP)

F04B 37/14 (2013.01); F04B 39/041 (2013.01); F04B 49/20 (2013.01); F04C 18/0215 (2013.01); F04C 23/001 (2013.01); F04C 25/02 (2013.01); F04C 28/08 (2013.01); F04C 29/0085 (2013.01); F04B 2205/01 (2013.01); F04B 2205/03 (2013.01); F04C 2220/12 (2013.01); F04C 2270/0525 (2013.01); F04C 2270/185 (2013.01)

Citation (applicant)

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Designated contracting state (EPC)

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DOCDB simple family (publication)

EP 3067560 A1 20160914; EP 3067560 B1 20201118; JP 2016169731 A 20160923; JP 6188850 B2 20170830

DOCDB simple family (application)

EP 15158724 A 20150312; JP 2016039622 A 20160302