EP 3181732 A1 20170621 - CELL FOR A CHEMICAL REACTION WITH REDUCED VOLUME
Title (en)
CELL FOR A CHEMICAL REACTION WITH REDUCED VOLUME
Title (de)
ZELLE FÜR EINE CHEMISCHE REAKTION MIT GERINGEN VOLUMEN
Title (fr)
CELLULE POUR UNE RÉACTION CHIMIQUE À FAIBLE VOLUME
Publication
Application
Priority
FR 1562541 A 20151216
Abstract (fr)
L'invention concerne un dispositif (1) pour réaliser une réaction chimique sur un substrat (3) présentant une surface (2) à traiter, typiquement une surface (2) d'un substrat (3) semi-conducteur, ledit dispositif comprenant : - une cellule (10) comprenant une paroi interne (12) définissant une enceinte (11) configurée pour recevoir un bain chimique (4), - une membrane (20) étanche aux fluides, fixée sur la paroi interne (12) de la cellule (10) de manière à définir avec ladite paroi interne (12) une chambre (22) étanche aux fluides, et - une buse (24) configurée pour alimenter la chambre (22) avec un fluide.
IPC 8 full level
C25D 17/00 (2006.01); C25D 17/02 (2006.01)
CPC (source: EP)
C25D 17/001 (2013.01); C25D 17/02 (2013.01)
Citation (search report)
- [A] US 2002027071 A1 20020307 - LAKSHMIKANTHAN JAYANT [US], et al
- [A] US 2012000785 A1 20120105 - ZAHRAOUI SAID [FR], et al
- [A] FR 3020642 A1 20151106 - TURBOMECA [FR], et al
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
EP 3181732 A1 20170621; EP 3181732 B1 20180829; FR 3045676 A1 20170623
DOCDB simple family (application)
EP 16204425 A 20161215; FR 1562541 A 20151216