EP 3267040 A1 20180110 - TURBOMOLECULAR PUMP
Title (en)
TURBOMOLECULAR PUMP
Title (de)
TURBOMOLEKULARPUMPE
Title (fr)
POMPE TURBOMOLECULAIRE
Publication
Application
Priority
EP 16177824 A 20160704
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, die in einem gemeinsamen Pumpengehäuse ausgebildet sind, zumindest einer Turbomolekularpumpstufe, die einen dem Pumpeneinlass zugeordneten Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist, und wenigstens einer zwischen dem Auslassbereich der Turbomolekularpumpstufe und dem Pumpenauslass wirksamen Vorpumpstufe, die dazu ausgebildet ist, von der Turbomolekularpumpstufe gefördertes Gas zu verdichten und gegen einen Gasdruck von mehr als 1 mbar, insbesondere gegen Atmosphärendruck, auszustoßen, wobei die Vorpumpstufe in die Turbomolekularpumpe integriert ist.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01)
Citation (applicant)
- DE 60101368 T2 20041014 - VARIAN SPA [IT]
- DE 69815806 T2 20040519 - VARIAN SPA [IT]
- EP 2631488 A2 20130828 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
Citation (search report)
- [XA] EP 1213482 A1 20020612 - SEIKO INSTR INC [JP]
- [I] EP 2644893 A2 20131002 - EBARA CORP [JP]
- [XD] DE 69815806 T2 20040519 - VARIAN SPA [IT]
- [XA] DE 102015113821 A1 20160303 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [XD] DE 60101368 T2 20041014 - VARIAN SPA [IT]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 16177824 A 20160704