Global Patent Index - EP 3267040 A1

EP 3267040 A1 20180110 - TURBOMOLECULAR PUMP

Title (en)

TURBOMOLECULAR PUMP

Title (de)

TURBOMOLEKULARPUMPE

Title (fr)

POMPE TURBOMOLECULAIRE

Publication

EP 3267040 A1 20180110 (DE)

Application

EP 16177824 A 20160704

Priority

EP 16177824 A 20160704

Abstract (de)

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, die in einem gemeinsamen Pumpengehäuse ausgebildet sind, zumindest einer Turbomolekularpumpstufe, die einen dem Pumpeneinlass zugeordneten Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist, und wenigstens einer zwischen dem Auslassbereich der Turbomolekularpumpstufe und dem Pumpenauslass wirksamen Vorpumpstufe, die dazu ausgebildet ist, von der Turbomolekularpumpstufe gefördertes Gas zu verdichten und gegen einen Gasdruck von mehr als 1 mbar, insbesondere gegen Atmosphärendruck, auszustoßen, wobei die Vorpumpstufe in die Turbomolekularpumpe integriert ist.

IPC 8 full level

F04D 19/04 (2006.01)

CPC (source: EP)

F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01)

Citation (applicant)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

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Designated extension state (EPC)

BA ME

DOCDB simple family (publication)

EP 3267040 A1 20180110

DOCDB simple family (application)

EP 16177824 A 20160704