Title (en)

MOVEMENT SENSOR WITH SEGMENTED RING MICRO-RESONATOR

Title (de)

BEWEGUNGSSENSOR MIT MIKRORESONATOR MIT SEGMENTIERTEM RING

Title (fr)

CAPTEUR DE DEPLACEMENT AVEC MICRO-RÉSONATEUR EN ANNEAU SEGMENTÉ

Publication

EP 3425344 A1 20190109 (FR)

Application

EP 18181241 A 20180702

Priority

FR 1756293 A 20170704

Abstract (en)

[origin: US2019011261A1] An optical sensor includes an optical device including a microresonator, laid out to guide a light beam along a closed loop optical path, and an injection and/or extraction waveguide, optically coupled to the microresonator; a photodetector, arranged at the output of the injection and/or extraction waveguide; and an analysis device, receiving a signal supplied by the photodetector, and deducing therefrom information relative to a displacement. The microresonator is constituted of a plurality of elementary waveguides spaced apart from each other, and arranged one after the other according to a loop shaped layout. The optical sensor offers increased sensitivity to the measurement of nanometric displacements.

Abstract (fr)

L'invention concerne un capteur optique (1000) comportant : - un dispositif optique (100) comprenant un micro-résonateur (120), agencé pour guider un faisceau lumineux selon un chemin optique en boucle fermée, et un guide d'onde d'injection et/ou extraction (110), couplé optiquement au micro-résonateur; - un photo-détecteur (150), disposé en sortie du guide d'onde d'injection et/ou extraction ; et - un dispositif d'analyse (160), recevant un signal fourni par le photo-détecteur, et en déduisant une information relative à un déplacement. Selon l'invention, le micro-résonateur est constitué d'une pluralité de guides d'onde élémentaires (121) espacés les uns des autres, et disposés les uns à la suite des autres selon un agencement en forme de boucle. Le capteur optique selon l'invention offre une sensibilité accrue à la mesure de déplacements nanométriques.

IPC 8 full level

G01D 5/353 (2006.01); G02B 6/293 (2006.01)

CPC (source: EP US)

G01C 19/727 (2013.01 - US); G01D 5/35338 (2013.01 - EP US); G02B 6/29338 (2013.01 - US); G02B 6/29341 (2013.01 - EP US)

Citation (search report)

• [XAY] US 2017146738 A1 20170525 - XU XIAOCHUAN [US], et al
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DOCDB simple family (publication)

EP 3425344 A1 20190109; EP 3425344 B1 20210324; FR 3068778 A1 20190111; FR 3068778 B1 20190830; US 10578437 B2 20200303; US 2019011261 A1 20190110

DOCDB simple family (application)

EP 18181241 A 20180702; FR 1756293 A 20170704; US 201816026535 A 20180703