EP 3460249 A1 20190327 - SPLIT FLOW VACUUM PUMP
Title (en)
SPLIT FLOW VACUUM PUMP
Title (de)
SPLITFLOW-VAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE À DEBIT PARTAGÉ
Publication
Application
Priority
- EP 18201126 A 20150701
- EP 15174845 A 20150701
Abstract (en)
[origin: JP2017061922A] PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a split flow vacuum pump in which a weight of a shaft is reduced while keeping the same strength, so that the split flow vacuum pump having a long shaft can be formed, and in which a rotor shaft has at least one shaft end portion, and the shaft end portion has required strength at low costs.SOLUTION: In split flow vacuum pumps 21, 22 which have at least two radial inlets and in which a vacuum pump 1 has a stator disc and a rotor disc disposed on a shaft, and at least one disc packet is disposed on the shaft 13, at least two grooves 39 and/or hole portions are radially formed in the shaft 13, and they are formed long in an axial direction of the shaft with respect to a circumferential direction of the shaft 13, or the shaft 13 has at least one neck portion in the axial direction.SELECTED DRAWING: Figure 1
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Splitflow-Vakuumpumpe (1) mit wenigstens zwei radialen Einlässen (23-27), wobei die Vakuumpumpe Statorscheiben und auf einer Welle (13) angeordnete Rotorscheiben (21, 22, 24) aufweist. Weiterhin umfasst die Welle (13) wenigstens eine Hülse (59). Die Hülse (59) ermöglicht es, das Gewicht der Welle (13) bei gleichbleibender Steifigkeit zu reduzieren, beispielsweise durch eine Einschnürung (102) oder eine Bohrung (109). Durch die Anordnung der Hülse (59) lassen sich weiterhin die Eigenschwingungsfrequenzen des Rotors verändern und die Auflagerkräfte reduzieren. Weiterhin kann die Hülse (59) eine Bohrung (83) aufweisen, durch die sich umschlossene Hohlräume (102, 109) evakuieren lassen. Die Hülse (59) kann auch im Bereich der Motormagneten (101) verwendet werden oder dazu dienen, zwei separate Welleelemente (107, 108) zu verbinden.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/053 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/04 (2013.01); F04D 29/053 (2013.01); F04D 19/042 (2013.01)
Citation (applicant)
DE 4331589 A1 19940630 - BALZERS PFEIFFER GMBH [DE]
Citation (search report)
- [X] US 5733104 A 19980331 - CONRAD ARMIN [DE], et al
- [XA] DE 202013010209 U1 20150216 - OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]
- [X] EP 1302667 A1 20030416 - BOC GROUP PLC [GB]
- [X] EP 2431614 A2 20120321 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
DOCDB simple family (publication)
EP 3112689 A1 20170104; EP 3112689 B1 20181205; EP 3460249 A1 20190327; EP 3460249 B1 20210324; JP 2017061922 A 20170330; JP 6438916 B2 20181219
DOCDB simple family (application)
EP 15174845 A 20150701; EP 18201126 A 20150701; JP 2016128672 A 20160629