EP 3608545 A1 20200212 - VACUUM PUMP
Title (en)
VACUUM PUMP
Title (de)
VAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE
Publication
Application
Priority
- DE 102013220879 A 20131015
- EP 14188325 A 20141009
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Stator mit mehreren in Richtung einer Rotationsachse aufeinanderfolgenden Statorscheiben, die jeweils eine pumpaktive Struktur aufweisen, und mit einem relativ zu dem Stator um die Rotationsachse drehbar gelagerten Rotor, der eine Rotorwelle und mehrere auf der Rotorwelle angeordnete, in axialer Richtung aufeinanderfolgende und zwischen den Statorscheiben angeordnete Rotorscheiben umfasst, die jeweils eine pumpaktive Struktur aufweisen, wobei zumindest eine Rotorscheibe und/oder zumindest eine Rotorscheibe einen zwischen der Rotorscheibe und dem Stator ausgebildeten radialen Dichtspalt begrenzt und wobei der Dichtspalt zumindest abschnittsweise schräg zu der Rotationsachse verläuft.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/16 (2006.01); F04D 29/54 (2006.01); F04D 29/52 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01); F04D 29/164 (2013.01); F04D 29/526 (2013.01)
Citation (applicant)
DE 202010011790 U1 20111205 - OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]
Citation (search report)
- [XI] EP 1288502 A2 20030305 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [XI] JP H0687691 U 19941222
- [X] JP S6185599 A 19860501 - ULVAC CORP
- [X] EP 0568069 A2 19931103 - VARIAN ASSOCIATES [US]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
DOCDB simple family (publication)
EP 2863063 A2 20150422; EP 2863063 A3 20150826; EP 2863063 B1 20191211; DE 102013220879 A1 20150416; EP 3608545 A1 20200212; EP 3608545 B1 20210217
DOCDB simple family (application)
EP 14188325 A 20141009; DE 102013220879 A 20131015; EP 19201021 A 20141009