EP 3623634 A1 20200318 - VACUUM PUMP COMPRISING A HOLWECK PUMP STAGE AND A SIDE CHANNEL PUMP STAGE
Title (en)
VACUUM PUMP COMPRISING A HOLWECK PUMP STAGE AND A SIDE CHANNEL PUMP STAGE
Title (de)
VAKUUMPUMPE UMFASSEND EINE HOLWECKPUMPSTUFE UND EINE SEITENKANALPUMPSTUFE
Title (fr)
POMPE À VIDE COMPRENANT UN ÉTAGE DE POMPE DE HOLWECK ET UN ÉTAGE DE POMPE À CANAL LATÉRAL
Publication
Application
Priority
EP 19191378 A 20190813
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Boosterpumpe, umfassend eine Holweckpumpstufe, eine stromabwärts der Holweckpumpstufe angeordnete Seitenkanalpumpstufe, und einen Pumpenrotor, der einen gemeinsamen Pumpenrotor von Holweckpumpstufe und Seitenkanalpumpstufe bildet.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 23/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/044 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01); F04D 23/008 (2013.01); F04D 29/624 (2013.01); F04D 29/644 (2013.01)
Citation (search report)
- [XAI] EP 2253851 A2 20101124 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [XI] US 5772395 A 19980630 - SCHOFIELD NIGEL PAUL [GB]
- [XI] US 2013224001 A1 20130829 - SHIRINOV ALEKSANDR [DE], et al
- [XAI] US 2014369807 A1 20141218 - STONES IAN DAVID [GB], et al
- [XAI] US 2006093473 A1 20060504 - BAILEY CHRISTOPHER M [GB]
- [A] DE 4113122 A1 19911031 - SEIKO SEIKI KK [JP]
- [A] DE 102009035332 A1 20110203 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
Designated contracting state (EPC)
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EP 19191378 A 20190813