EP 3626971 A1 20200325 - VACUUM PUMP
Title (en)
VACUUM PUMP
Title (de)
VAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE
Publication
Application
Priority
EP 19194646 A 20190830
Abstract (en)
[origin: JP2021038745A] To provide a vacuum pump which can be manufactured economically and be flexibly used.SOLUTION: A vacuum pump includes a vacuum chamber defined by a pump housing, and a board. The pump housing has a connection port. The connection port is closed by the board in a vacuum-tight manner. The board therefore separates the vacuum chamber from a pressure chamber, and a gas barrier separated away from the board is provided in front of the board in a vacuum side.SELECTED DRAWING: Figure 6
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe (111), die einen durch ein Pumpengehäuse (119) begrenzten Vakuumraum (V) sowie eine Platine (241) umfasst, wobei des Pumpengehäuse eine Anschlussöffnung (225) aufweist, die durch die Platine vakuumdicht verschlossen ist, sodass die Platine den Vakuumraum von einem Druckraum (D) trennt, und wobei der Platine vakuumseitig eine zu der Platine beabstandete Gassperre (231) ist.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 25/06 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/044 (2013.01); F04D 25/068 (2013.01); F04D 25/0693 (2013.01)
Citation (search report)
- [XI] EP 3431769 A1 20190123 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [A] EP 1843043 A2 20071010 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [A] JP 2014011120 A 20140120 - SHIMADZU CORP
- [A] WO 2009027485 A1 20090305 - OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE], et al
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
DOCDB simple family (publication)
EP 3626971 A1 20200325; EP 3626971 B1 20220511; JP 2021038745 A 20210311; JP 7092825 B2 20220628
DOCDB simple family (application)
EP 19194646 A 20190830; JP 2020085580 A 20200515