EP 3653884 A1 20200520 - VACUUM PUMP
Title (en)
VACUUM PUMP
Title (de)
VAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE
Publication
Application
Priority
EP 19202987 A 20191014
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend eine Primärstruktur, welche im Betrieb der Pumpe vibriert, und eine Dämpfungseinrichtung zur Dämpfung der Vibration der Primärstruktur, wobei die Dämpfungseinrichtung eine Dämpfungsmasse aufweist, welche mittels eines Federelements mit der Primärstruktur verbunden ist.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/059 (2006.01); F04D 29/66 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 29/059 (2013.01); F04D 29/668 (2013.01)
Citation (search report)
- [XAI] EP 0333200 A1 19890920 - EBARA RES CO LTD [JP], et al
- [XAI] JP S62184224 A 19870812 - EBARA RES CO LTD, et al
- [XAI] EP 1619400 A1 20060125 - VARIAN SPA [IT]
- [A] DE 102004048866 A1 20060413 - LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 19202987 A 20191014