EP 3709110 A1 20200916 - METHOD FOR CONTROLLING A PRODUCTION PROCESS FOR PRODUCING COMPONENTS
Title (en)
METHOD FOR CONTROLLING A PRODUCTION PROCESS FOR PRODUCING COMPONENTS
Title (de)
VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINES PRODUKTIONSPROZESSES ZUR HERSTELLUNG VON BAUTEILEN
Title (fr)
PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN PROCESSUS DE PRODUCTION DESTINÉ À LA FABRICATION DE COMPOSANTS
Publication
Application
Priority
EP 19162798 A 20190314
Abstract (en)
[origin: WO2020182999A1] Method for controlling a production process for producing components, wherein the components or a manufacturing device used to produce the components has/have at least one first feature which can be captured using metrology; at least having the following steps: a) determining a test plan for capturing the first feature with a first value of a first test frequency, wherein at least one first stability criterion is defined for the first feature; b) producing the components and carrying out the test plan in a parallel manner, wherein the first feature is tested at the first test frequency; c) evaluating the test results; d) changing the first test frequency, wherein the first test frequency is increased if at least one test result for the first feature violates the first stability criterion; wherein the first test frequency is reduced if all test results are in accordance with the first stability criterion.
Abstract (de)
Verfahren zur Steuerung eines Produktionsprozesses zur Herstellung von Bauteilen, wobei die Bauteile oder eine zur Herstellung der Bauteile verwendete Fertigungseinrichtung zumindest ein messtechnisch erfassbares erstes Merkmal aufweisen; zumindest aufweisend die folgenden Schritte:a) Festlegen eines Prüfplans zur Erfassung des ersten Merkmals mit einem ersten Wert einer ersten Prüffrequenz, wobei für das erste Merkmal zumindest ein erstes Stabilitätskriterium definiert ist;b) Herstellen der Bauteile und paralleles Durchführen des Prüfplans, wobei das erste Merkmal in der ersten Prüffrequenz geprüft wird;c) Auswerten der Prüfergebnisse;d) Verändern der ersten Prüffrequenz, wobei die erste Prüffrequenz gesteigert wird, wenn mindestens ein Prüfergebnis für das erste Merkmal das erste Stabilitätskriterium verletzt; wobei die erste Prüffrequenz verringert wird, wenn sich alle Prüfergebnisse im Einklang mit dem ersten Stabilitätskriterium befinden.
IPC 8 full level
G05B 19/418 (2006.01)
CPC (source: EP US)
G05B 19/41865 (2013.01 - US); G05B 19/41875 (2013.01 - EP); G05B 2219/32199 (2013.01 - EP US); Y02P 90/02 (2015.11 - EP)
Citation (search report)
- [XI] WO 2004095154 A1 20041104 - ADVANCED MICRO DEVICES INC [US]
- [XI] US 6687561 B1 20040203 - PASADYN ALEXANDER J [US], et al
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Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
EP 3709110 A1 20200916; CN 113767345 A 20211207; DE 112020001215 A5 20211202; MX 2021011072 A 20211022; US 2022147030 A1 20220512; WO 2020182999 A1 20200917
DOCDB simple family (application)
EP 19162798 A 20190314; CN 202080021188 A 20200313; DE 112020001215 T 20200313; EP 2020056906 W 20200313; MX 2021011072 A 20200313; US 202017438862 A 20200313