EP 3764169 A1 20210113 - METHOD FOR FROSTING SOME PARTS OF A SILICON TIMEPIECE COMPONENT
Title (en)
METHOD FOR FROSTING SOME PARTS OF A SILICON TIMEPIECE COMPONENT
Title (de)
VERFAHREN ZUM ABSCHNITTSWEISEN SATINIEREN EINER UHRENKOMPONENTE AUS SILIZIUM
Title (fr)
PROCEDE POUR DEPOLIR PAR ENDROITS UN COMPOSANT HORLOGER EN SILICIUM
Publication
Application
Priority
EP 19185364 A 20190710
Abstract (fr)
Le procédé pour dépolir par endroit une surface en silicium (4) comporte les étapes suivantes:a) réaliser un masque de gravure ajouré (6) sur la surface en silicium, de manière à ce que les endroits à dépolir soient exposés;b) déposer une couche sacrificielle (8) de résine sur les endroits exposés de la surface et sur le masque de gravure ;c) attaquer la couche de résine sacrificielle par gravure ionique réactive profonde (DRIE) assez longtemps pour transférer des inhomogénéités de la couche sacrificielle sur les endroits à dépolir de la surface en silicium.
IPC 8 full level
G04B 19/04 (2006.01); G04B 13/02 (2006.01); G04B 15/14 (2006.01); G04B 17/06 (2006.01); G04B 19/12 (2006.01); G04D 3/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
G04B 13/02 (2013.01); G04B 15/14 (2013.01); G04B 17/066 (2013.01); G04B 19/042 (2013.01); G04B 19/12 (2013.01); G04D 3/0074 (2013.01)
Citation (applicant)
WO 9414187 A1 19940623 - BOSCH GMBH ROBERT [DE], et al
Citation (search report)
- [A] EP 3109199 A1 20161228 - NIVAROX FAR SA [CH]
- [A] EP 3002635 A1 20160406 - RICHEMONT INT SA [CH]
- [A] EP 3192645 A1 20170719 - COMMISSARIAT L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR]
- [A] FR 2901635 A1 20071130 - COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR]
- [A] CH 708827 A2 20150515 - NIVAROX SA [CH]
- [A] EP 2856903 A1 20150408 - RADO MONTRES SA [CH]
Designated contracting state (EPC)
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Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 19185364 A 20190710