Global Patent Index - EP 3907565 A1

EP 3907565 A1 20211110 - METHOD FOR MANUFACTURING A SILICON TIMEPIECE COMPONENT

Title (en)

METHOD FOR MANUFACTURING A SILICON TIMEPIECE COMPONENT

Title (de)

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER UHRENKOMPONENTE AUS SILIZIUM

Title (fr)

PROCEDE DE FABRICATION D'UN COMPOSANT HORLOGER EN SILICIUM

Publication

EP 3907565 A1 20211110 (FR)

Application

EP 20173465 A 20200507

Priority

EP 20173465 A 20200507

Abstract (en)

[origin: WO2021224804A1] The invention relates to a method for manufacturing a silicon timepiece component according to the invention, which comprises the following steps: a) providing a wafer (1) comprising a first silicon layer (2), a second silicon layer (3) and, in between, an intermediate layer of silicon oxide (4); b) etching the first silicon layer (2) to form the timepiece component (5), at least one connecting element (7) located in a recess (6) of the timepiece component (5) and at least one fastener (8) connecting this connecting element (7) to an inner surface (6a; 12a) of the timepiece component (5); c) removing the intermediate silicon oxide layer (4) between the timepiece component (5) and the second silicon layer (3) and leaving it at least partially between the connecting element (7) and the second silicon layer (3); d) applying at least one treatment to the timepiece component (5); e) detaching the timepiece component (5) from the wafer (1) by breaking or removing the fastener (8).

Abstract (fr)

Le procédé de fabrication d'un composant horloger en silicium selon l'invention comprend les étapes suivantes: a) se munir d'une plaquette (1) comprenant une première couche de silicium (2), une deuxième couche de silicium (3) et, entre les deux, une couche intermédiaire d'oxyde de silicium (4) ; b) graver la première couche de silicium (2) pour y former le composant horloger (5), au moins un élément de liaison (7) situé dans un évidement (6) du composant horloger (5) et au moins une attache (8) reliant cet élément de liaison (7) à une surface intérieure (6a ; 12a) du composant horloger (5) ; c) éliminer la couche intermédiaire d'oxyde de silicium (4) entre le composant horloger (5) et la deuxième couche de silicium (3) et la laisser au moins partiellement entre l'élément de liaison (7) et la deuxième couche de silicium (3) ; d) appliquer au moins un traitement au composant horloger (5) ; e) détacher le composant horloger (5) de la plaquette (1) par rupture ou élimination de l'attache (8).

IPC 8 full level

G04B 13/02 (2006.01); G04B 15/14 (2006.01); G04B 17/06 (2006.01); G04B 18/08 (2006.01); G04B 19/04 (2006.01)

CPC (source: CH EP US)

G04B 13/02 (2013.01 - EP US); G04B 15/14 (2013.01 - CH EP US); G04B 17/066 (2013.01 - CH EP); G04B 18/08 (2013.01 - EP); G04B 19/042 (2013.01 - CH EP)

Citation (applicant)

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

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DOCDB simple family (publication)

EP 3907565 A1 20211110; CH 718818 B1 20231229; WO 2021224804 A1 20211111

DOCDB simple family (application)

EP 20173465 A 20200507; CH 12422022 A 20210505; IB 2021053765 W 20210505