EP 3929960 A1 20211229 - MEMS SWITCH, METHOD OF MANUFACTURING A MEMS SWITCH AND DEVICE
Title (en)
MEMS SWITCH, METHOD OF MANUFACTURING A MEMS SWITCH AND DEVICE
Title (de)
MEMS-SCHALTER, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEMS-SCHALTERS UND VORRICHTUNG
Title (fr)
COMMUTATEUR MEMS, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMMUTATEUR MEMS ET DISPOSITIF
Publication
Application
Priority
EP 20182568 A 20200626
Abstract (de)
MEMS-Schalter (1) mit einem Biegeelement (150) und einem an dem Biegeelement angeordneten Schaltkontakt (120) sowie mit einem Gegenkontakt (250), wobei vom Biegeelement (150) eine Anlagestellung einnehmbar ist, in welcher der Schaltkontakt (120) am Gegenkontakt (250) in Anlage ist, wobei das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt ist.Bei dem Verfahren zur Herstellung eines solchen MEMS-Schalters (1, 300) wird das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt.
IPC 8 full level
H01H 57/00 (2006.01); H01H 37/00 (2006.01); H01H 1/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
H01H 57/00 (2013.01); H01H 2001/0084 (2013.01); H01H 2037/008 (2013.01); H01H 2057/006 (2013.01)
Citation (applicant)
DE 102017215236 A1 20190228 - SIEMENS AG [DE]
Citation (search report)
- [XA] US 2012325630 A1 20121227 - PULSKAMP JEFFREY S [US], et al
- [XAY] WO 9943013 A1 19990826 - SIEMENS AG [DE], et al
- [XAY] EP 2398028 A2 20111221 - GEN ELECTRIC [US]
- [YA] US 6229684 B1 20010508 - COWEN ALLEN BRUCE [US], et al
- [YDA] DE 102017215236 A1 20190228 - SIEMENS AG [DE]
Designated contracting state (EPC)
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Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 20182568 A 20200626