Global Patent Index - EP 3945571 A3

EP 3945571 A3 20220608 - SEAL RING STRUCTURE IN STACKED SEMICONDUCTOR WAFER STRUCTURES

Title (en)

SEAL RING STRUCTURE IN STACKED SEMICONDUCTOR WAFER STRUCTURES

Title (de)

DICHTUNGSRINGSTRUKTUR IN HALBLEITERWAFERSTAPEL-BAUELEMENTEN

Title (fr)

STRUCTURE DE BAGUE DE CONFINEMENT DANS DES STRUCTURES À EMPILEMENT DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES

Publication

EP 3945571 A3 20220608 (EN)

Application

EP 21188622 A 20210729

Priority

  • US 202063058623 P 20200730
  • US 202117150871 A 20210115

Abstract (en)

Embodiments include a wafer-on-wafer bonding structure where each wafer includes a seal ring structure around die areas defined in the wafer. Embodiments provide a further seal ring spanning the interface between the wafers. Embodiments may extend the existing seal rings of the wafers, provide an extended seal ring structure separate from the existing seal rings of the wafers, or combinations thereof.

IPC 8 full level

H01L 23/58 (2006.01); H01L 21/78 (2006.01); H01L 21/98 (2006.01); H01L 23/00 (2006.01); H01L 23/522 (2006.01); H01L 25/065 (2006.01)

CPC (source: CN EP KR US)

H01L 21/50 (2013.01 - CN); H01L 21/78 (2013.01 - EP US); H01L 23/16 (2013.01 - EP); H01L 23/488 (2013.01 - CN); H01L 23/5383 (2013.01 - KR); H01L 23/5384 (2013.01 - KR); H01L 23/5386 (2013.01 - KR); H01L 23/562 (2013.01 - EP KR US); H01L 23/564 (2013.01 - CN KR US); H01L 23/585 (2013.01 - EP US); H01L 24/08 (2013.01 - US); H01L 24/80 (2013.01 - US); H01L 25/0657 (2013.01 - EP US); H01L 25/105 (2013.01 - EP KR); H01L 25/50 (2013.01 - EP KR US); H01L 24/08 (2013.01 - EP); H01L 24/16 (2013.01 - EP); H01L 24/32 (2013.01 - EP); H01L 24/80 (2013.01 - EP); H01L 24/81 (2013.01 - EP); H01L 24/83 (2013.01 - EP); H01L 2224/05556 (2013.01 - EP); H01L 2224/05624 (2013.01 - EP); H01L 2224/05647 (2013.01 - EP); H01L 2224/05666 (2013.01 - EP); H01L 2224/05686 (2013.01 - EP); H01L 2224/0603 (2013.01 - EP); H01L 2224/08121 (2013.01 - EP); H01L 2224/08145 (2013.01 - EP US); H01L 2224/09517 (2013.01 - EP); H01L 2224/131 (2013.01 - EP); H01L 2224/13111 (2013.01 - EP); H01L 2224/13116 (2013.01 - EP); H01L 2224/13117 (2013.01 - EP); H01L 2224/13124 (2013.01 - EP); H01L 2224/16145 (2013.01 - EP); H01L 2224/29011 (2013.01 - EP); H01L 2224/29013 (2013.01 - EP); H01L 2224/29035 (2013.01 - EP); H01L 2224/291 (2013.01 - EP); H01L 2224/29111 (2013.01 - EP); H01L 2224/29116 (2013.01 - EP); H01L 2224/29117 (2013.01 - EP); H01L 2224/29124 (2013.01 - EP); H01L 2224/73203 (2013.01 - EP); H01L 2224/80097 (2013.01 - EP); H01L 2224/80201 (2013.01 - EP); H01L 2224/80357 (2013.01 - EP); H01L 2224/80379 (2013.01 - EP); H01L 2224/8083 (2013.01 - EP); H01L 2224/80895 (2013.01 - EP US); H01L 2224/80896 (2013.01 - EP US); H01L 2224/80906 (2013.01 - EP); H01L 2224/80948 (2013.01 - EP); H01L 2224/81193 (2013.01 - EP); H01L 2224/81815 (2013.01 - EP); H01L 2224/94 (2013.01 - EP); H01L 2225/0651 (2013.01 - EP); H01L 2225/06527 (2013.01 - EP); H01L 2225/06541 (2013.01 - EP); H01L 2225/1011 (2013.01 - KR); H01L 2924/3511 (2013.01 - US)

C-Set (source: EP)

  1. H01L 2224/94 + H01L 2224/80001
  2. H01L 2224/05666 + H01L 2924/013 + H01L 2924/00013
  3. H01L 2224/29117 + H01L 2924/01032 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01013 + H01L 2924/00013
  4. H01L 2224/80379 + H01L 2924/0549 + H01L 2924/0544 + H01L 2924/01014 + H01L 2924/0543 + H01L 2924/01005 + H01L 2924/053 + H01L 2924/01015 + H01L 2924/00014
  5. H01L 2224/80379 + H01L 2924/0549 + H01L 2924/0544 + H01L 2924/01014 + H01L 2924/053 + H01L 2924/01015 + H01L 2924/00014
  6. H01L 2224/29111 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01082 + H01L 2924/00013
  7. H01L 2224/05647 + H01L 2924/013 + H01L 2924/00013
  8. H01L 2224/80379 + H01L 2924/07025 + H01L 2924/00014
  9. H01L 2224/29124 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01032 + H01L 2924/00013
  10. H01L 2224/05624 + H01L 2924/013 + H01L 2924/00013
  11. H01L 2224/291 + H01L 2924/014 + H01L 2924/00013
  12. H01L 2224/81815 + H01L 2924/00014
  13. H01L 2224/29116 + H01L 2924/013 + H01L 2924/0105 + H01L 2924/00013
  14. H01L 2224/29116 + H01L 2924/013 + H01L 2924/00013
  15. H01L 2224/80379 + H01L 2924/05442 + H01L 2924/00014
  16. H01L 2224/80379 + H01L 2924/0549 + H01L 2924/0544 + H01L 2924/01014 + H01L 2924/0543 + H01L 2924/01005 + H01L 2924/00014
  17. H01L 2224/05686 + H01L 2924/04941 + H01L 2924/00014
  18. H01L 2224/13116 + H01L 2924/013 + H01L 2924/00013
  19. H01L 2224/13117 + H01L 2924/01032 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01013 + H01L 2924/00013
  20. H01L 2224/94 + H01L 2224/81
  21. H01L 2224/80906 + H01L 2224/80896 + H01L 2224/80895
  22. H01L 2224/13111 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01082 + H01L 2924/00013
  23. H01L 2224/13116 + H01L 2924/013 + H01L 2924/0105 + H01L 2924/00013
  24. H01L 2224/131 + H01L 2924/014 + H01L 2924/00013
  25. H01L 2224/80379 + H01L 2924/05042 + H01L 2924/00014
  26. H01L 2224/13124 + H01L 2924/013 + H01L 2924/01032 + H01L 2924/00013

Citation (search report)

Designated contracting state (EPC)

AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

Designated extension state (EPC)

BA ME

DOCDB simple family (publication)

EP 3945571 A2 20220202; EP 3945571 A3 20220608; CN 113675147 A 20211119; DE 102021100986 A1 20220203; JP 2022027651 A 20220210; KR 102575949 B1 20230906; KR 20220015305 A 20220208; TW 202221885 A 20220601; TW I838614 B 20240411; US 11894319 B2 20240206; US 2022037268 A1 20220203; US 2022359429 A1 20221110

DOCDB simple family (application)

EP 21188622 A 20210729; CN 202110505000 A 20210510; DE 102021100986 A 20210119; JP 2021124800 A 20210729; KR 20210034155 A 20210316; TW 110108687 A 20210311; US 202117150871 A 20210115; US 202217872809 A 20220725