EP 4002407 A1 20220525 - MICROELECTROMECHANICAL SWITCHING ELEMENT, DEVICE AND MANUFACTURING METHOD
Title (en)
MICROELECTROMECHANICAL SWITCHING ELEMENT, DEVICE AND MANUFACTURING METHOD
Title (de)
MIKROELEKTROMECHANISCHES SCHALTELEMENT, VORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
Title (fr)
ÉLÉMENT DE COMMUTATION MICROÉLECTROMÉCANIQUE, DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Publication
Application
Priority
EP 20209398 A 20201124
Abstract (de)
Es wird ein mikroelektromechanisches Schaltelement (1) angegeben, umfassend- ein Biegeelement (10) mit wenigstens einem an dem Biegeelement angeordneten ersten Schaltkontakt (11),wobei das Biegeelement (10) aus einer zentralen Stellung (p0) heraus in zwei gegenüberliegende Auslenkungsrichtungen (r1,r2) auslenkbar ist,- sowie ein erstes Decksubstrat (100) und ein zweites Decksubstrat (200),- wobei die beiden Decksubstrate (100,200) so ausgebildet sind, dass das Biegeelement (10) in einem Hohlraum (300) zwischen den beiden Decksubstraten (100,200) angeordnet ist,- und wobei jedes der beiden Decksubstrate (100, 200) im Bereich des Biegeelements (10) eine Steuerelektrode (110, 210) aufweist, mit welcher eine Auslenkung des Biegeelements (10) beeinflusst werden kann.Weiterhin wird eine Vorrichtung mit einem solchen Schaltelement (1) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Schaltelements (1) angegeben.
IPC 8 full level
H01H 1/00 (2006.01); H01H 59/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
H01H 1/0036 (2013.01); H01H 59/0009 (2013.01); H01H 2001/0084 (2013.01)
Citation (applicant)
- DE 102017215236 A1 20190228 - SIEMENS AG [DE]
- WO 2018028947 A1 20180215 - SIEMENS AG [DE]
- EP 20182568 A 20200626
Citation (search report)
- [XY] WO 9943013 A1 19990826 - SIEMENS AG [DE], et al
- [XAY] WO 9942843 A1 19990826 - AKEBONO BRAKE IND [JP], et al
- [YA] WO 2004015728 A1 20040219 - XCOM WIRELESS INC [US], et al
- [YA] WO 2007024732 A2 20070301 - INOVATIVE MICRO TECHNOLOGY [US], et al
- [YA] US 2019172672 A1 20190606 - BAUER ANNE [DE], et al
Designated contracting state (EPC)
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Designated extension state (EPC)
BA ME
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 20209398 A 20201124