EP 4094852 A1 20221130 - PURIFICATION AND PURITY CONTROL METHOD
Title (en)
PURIFICATION AND PURITY CONTROL METHOD
Title (de)
VERFAHREN ZUR REINIGUNG UND REINHEITSKONTROLLE
Title (fr)
PROCÉDÉ DE NETTOYAGE ET DE CONTRÔLE DE PROPRETÉ
Publication
Application
Priority
DE 102021113926 A 20210528
Abstract (de)
Es wird ein Verfahren zur Reinigung und Reinheitskontrolle von zu reinigenden Objekten (B) in einem Reinraum (2), beschrieben, wobei das Verfahren zumindest die folgenden Schritte umfasst: Bereitstellung eines zu reinigenden und zu untersuchenden Objekts (B) in einem Reinraum (2), Durchleitung eines gerichteten quasi-laminaren Fluidstroms (4) durch den Reinraum (2), um lose Verschmutzungspartikel (P) zu einem Reinraumfluidausgang (5) zu befördern, Abtragung von Verschmutzungspartikeln (P) von dem zu reinigenden Objekt (B) in dem Reinraum (2) mittels eines Reinigungsgeräts (3), Ermitteln von am Reinraumfluidausgang (5) ankommenden Verschmutzungspartikeln (P) und Erfassen zumindest eines Partikelbelastungsprofils (36, 37) in Abhängigkeit von der Zeit (t), Auswertung des zumindest einen Partikelbelastungsprofils (36, 37) mittels einer Auswerteeinheit (8) zur Ermittlung von Ergebniswerten betreffend einen Reinigungserfolg (E) und optional Protokollierung des zumindest einen Partikelbelastungsprofils (36, 37) und/oder der Ergebniswerte. Zudem wird eine Reinigungs- und Reinheitskontrollvorrichtung (1) zur Reinigung und Reinheitskontrolle von Objekten (B) beschrieben.
IPC 8 full level
B08B 3/02 (2006.01); B08B 7/00 (2006.01); B08B 15/02 (2006.01); B24C 1/00 (2006.01); B08B 9/00 (2006.01)
CPC (source: EP)
B08B 3/02 (2013.01); B08B 7/0021 (2013.01); B08B 7/0042 (2013.01); B08B 7/005 (2013.01); B08B 7/0092 (2013.01); B08B 15/026 (2013.01); B24C 1/003 (2013.01); B08B 7/0035 (2013.01); B08B 9/00 (2013.01); B24C 3/322 (2013.01)
Citation (search report)
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EP 22173665 A 20220517; DE 102021113926 A 20210528