EP 4123182 A1 20230125 - VACUUM PUMP AND METHOD FOR PRODUCING A STATOR COMPONENT FOR A STATOR OF A VACUUM PUMP
Title (en)
VACUUM PUMP AND METHOD FOR PRODUCING A STATOR COMPONENT FOR A STATOR OF A VACUUM PUMP
Title (de)
VAKUUMPUMPE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STATORBAUTEILS FÜR EINEN STATOR EINER VAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT DE STATOR POUR UN STATOR D'UNE POMPE À VIDE
Publication
Application
Priority
EP 22210842 A 20221201
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse und zumindest einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe, die einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden, mit dem Stator pumpwirksam zusammenwirkenden Rotor umfasst, wobei der Stator wenigstens ein Statorbauteil mit einer Oberfläche aufweist, die einen ersten Anteil und einen von dem ersten Anteil verschiedenen zweiten Anteil aufweist, und wobei der zweite Anteil der Oberfläche unbeschichtet ist und einen thermischen Emissionsgrad ε von mindestens 0,25, bevorzugt mindestens 0,3, bei 50°C aufweist.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/52 (2006.01); F04D 29/58 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/04 (2013.01); F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/044 (2013.01); F04D 29/522 (2013.01); F04D 29/5853 (2013.01); F04D 29/023 (2013.01); F05D 2230/20 (2013.01); F05D 2230/30 (2013.01)
Citation (applicant)
EP 2775148 B1 20190327 - EDWARDS JAPAN LTD [JP]
Citation (search report)
- [XI] US 2015354577 A1 20151210 - TSUTSUI SHINGO [JP], et al
- [X] GB 2588434 A 20210428 - EDWARDS LTD [GB]
- [A] EP 3557073 A1 20191023 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [X] US 6095754 A 20000801 - ONO MASANORI [JP]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA
Designated validation state (EPC)
KH MA MD TN
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 22210842 A 20221201; JP 2023154198 A 20230921