EP 4296520 A1 20231227 - PUMPING UNIT
Title (en)
PUMPING UNIT
Title (de)
PUMPEINHEIT
Title (fr)
UNITÉ DE POMPAGE
Publication
Application
Priority
EP 23200697 A 20230929
Abstract (de)
Die Erfindung betrifft eine Pumpeinheit für eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, oder für ein Vakuumsystem, mit zumindest einer Holweckpumpstufe, die eine oder mehrere während des Pumpbetriebs um eine Drehachse rotierende Holweckhülsen sowie einen oder mehrere Holweckstatoren umfasst, die jeweils auf einer einer Holweckhülse zugewandten Seite zumindest einen Holwecksteg aufweist, wobei der Holweckstator oder - bei mehreren Holweckstatoren - der äußere, am weitesten radial außen gelegene Holweckstator in einem Einströmbereich mehrere, insbesondere zwei, drei oder vier, radiale Einströmöffnungen umfasst, die in Umfangsrichtung verteilt angeordnet und durch in axialer Richtung verlaufende Stützabschnitte voneinander getrennt sind.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/52 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 19/044 (2013.01); F04D 19/046 (2013.01); F04D 29/522 (2013.01)
Citation (search report)
- [XAI] US 2017074283 A1 20170316 - MANABE MASASHI [JP]
- [XAI] DE 202013010204 U1 20150213 - OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA
Designated validation state (EPC)
KH MA MD TN
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 23200697 A 20230929