EP 4325061 A1 20240221 - TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP
Title (en)
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP
Title (de)
TURBOMOLEKULARVAKUUMPUMPE
Title (fr)
POMPE À VIDE TURBOMOLÉCULAIRE
Publication
Application
Priority
EP 23218595 A 20231220
Abstract (de)
Eine Turbomolekularvakuumpumpe umfasst einen Stator, zumindest einen Rotor mit einer Mehrzahl von in Umfangsrichtung verteilt angeordneten Rotorschaufeln, der zu einer Rotation um eine Rotationsachse antreibbar ist, um eine Pumpwirkung zu erzeugen, und zumindest eine am Stator befestigte Statorscheibe, die mit dem Rotor zur Erzeugung der Pumpwirkung zusammenwirkt und eine Mehrzahl von in Umfangsrichtung verteilt angeordneten Statorschaufeln umfasst, die eine Schaufelebene definieren, wobei die Statorscheibe zum Befestigen an dem Stator einen Befestigungsabschnitt mit einem Endabschnitt umfasst, mit dem die Statorscheibe an dem Stator befestigt ist und der eine Befestigungsebene definiert, und wobei die Schaufelebene und die Befestigungsebene senkrecht zur Rotationsachse verlaufen und längs der Rotationsachse voneinander beabstandet sind.
IPC 8 full level
F04D 19/04 (2006.01); F04D 29/54 (2006.01); F04D 29/64 (2006.01)
CPC (source: EP)
F04D 19/042 (2013.01); F04D 29/542 (2013.01); F04D 29/644 (2013.01)
Citation (search report)
- [XAI] EP 0967395 A2 19991229 - SEIKO SEIKI KK [JP]
- [XA] EP 3734078 A2 20201104 - PFEIFFER VACUUM TECH AG [DE]
- [X] EP 1918588 A2 20080507 - PFEIFFER VACUUM GMBH [DE]
- [A] DE 10211134 C1 20030814 - SCHWERIONENFORSCH GMBH [DE]
Designated contracting state (EPC)
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Designated extension state (EPC)
BA
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KH MA MD TN
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EP 23218595 A 20231220