EP 4382840 A1 20240612 - RAPID THERMAL ANNEALING FURNACE WITH IMPROVED HEATING UNIFORMITY
Title (en)
RAPID THERMAL ANNEALING FURNACE WITH IMPROVED HEATING UNIFORMITY
Title (de)
SCHNELLER WÄRMEGLÜHOFEN MIT VERBESSERTER HEIZGLEICHFÖRMIGKEIT
Title (fr)
FOUR DE RECUIT THERMIQUE RAPIDE A UNIFORMITE DE CHAUFFAGE AMELIOREE
Publication
Application
Priority
FR 2212773 A 20221205
Abstract (fr)
La présente description concerne un four (70) de recuit thermique rapide pour le chauffage d'un objet (14) par un rayonnement électromagnétique. Le four comprend un réacteur (12) délimitant une chambre (18) et une première ouverture (40) communiquant avec la chambre. Le four comprend un écran (72) mobile entre une première position dans laquelle l'écran est interposé entre la première ouverture et la chambre et obture complètement la première ouverture et une deuxième position dans laquelle l'écran est escamoté dans un logement (73) du réacteur et libère la communication entre la première ouverture et la chambre.
IPC 8 full level
F27B 5/04 (2006.01); F27B 5/06 (2006.01); F27B 5/12 (2006.01); F27B 5/14 (2006.01); F27B 17/00 (2006.01); F27D 1/18 (2006.01); F27D 9/00 (2006.01); F27D 11/02 (2006.01); F27D 99/00 (2010.01)
CPC (source: EP)
F27B 5/04 (2013.01); F27B 5/12 (2013.01); F27B 5/14 (2013.01); F27B 17/0025 (2013.01); F27D 1/1858 (2013.01); F27D 9/00 (2013.01); F27D 11/02 (2013.01); F27D 99/0006 (2013.01); F27B 2005/062 (2013.01); F27B 2005/143 (2013.01); F27D 2009/0018 (2013.01); F27D 2009/0032 (2013.01); F27D 2099/0008 (2013.01)
Citation (applicant)
FR 2212773 A 20221205
Citation (search report)
- [XI] WO 2009122913 A1 20091008 - TOKYO ELECTRON LTD [JP], et al
- [XI] US 2006213439 A1 20060928 - ISHIZAKA TADAHIRO [US]
- [A] US 6309161 B1 20011030 - HOFMEISTER CHRISTOPHER A [US]
- [A] KR 20150030131 A 20150319 - NARAENANOTECH CORP [KR]
Designated contracting state (EPC)
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Designated extension state (EPC)
BA
Designated validation state (EPC)
KH MA MD TN
DOCDB simple family (publication)
DOCDB simple family (application)
EP 23209488 A 20231113; FR 2212773 A 20221205