(19)
(11)EP 0 591 911 A3

(12)DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88)Date de publication A3:
27.04.1994  Bulletin  1994/17

(43)Date de publication A2:
13.04.1994  Bulletin  1994/15

(21)Numéro de dépôt: 93116051.9

(22)Date de dépôt:  05.10.1993
(51)Int. Cl.5G01J 9/02, G01B 9/02
(84)Etats contractants désignés:
AT CH DE FR GB LI

(30)Priorité: 06.10.1992 FR 9212121

(71)Demandeur: CSEM, Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique S.A.
CH-2007 Neuchâtel (CH)

(72)Inventeurs:
  • Voirin, Guy
    CH-2000 Neuchâtel (CH)
  • Falco, Lucien
    CH-2088 Cressier (CH)

(74)Mandataire: de Montmollin, Henri et al
ICB Ingénieurs Conseils en Brevets SA Rue des Sors 7
2074 Marin
2074 Marin (CH)


(56)Documents cités: : 
  
      


    (54)Interféromètre comprenant un ensemble intégré et une unité réfléchissante séparés l'un de l'autre par une région de mesure


    (57) Interféromètre comportant un ensemble intégré (42) et une unité réfléchissante (44) séparée de cet ensemble intégré par une région de mesure (46). Cet interféromètre est caractérisé par le fait que le faisceau lumineux de mesure (48) et le faisceau lumineux de référence (50) traversent ladite région de mesure et sont réfléchis par ladite unité réfléchissante, les chemins optiques dans ledit ensemble intégré de ces deux faisceaux étant sensiblement égaux.







    Rapport de recherche