| (11) | EP 0 591 911 A3 |
(12) | DEMANDE DE BREVET EUROPEEN |
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(54) | Interféromètre comprenant un ensemble intégré et une unité réfléchissante séparés l'un de l'autre par une région de mesure |
(57) Interféromètre comportant un ensemble intégré (42) et une unité réfléchissante (44) séparée de cet ensemble intégré par une région de mesure (46). Cet interféromètre est caractérisé par le fait que le faisceau lumineux de mesure (48) et le faisceau lumineux de référence (50) traversent ladite région de mesure et sont réfléchis par ladite unité réfléchissante, les chemins optiques dans ledit ensemble intégré de ces deux faisceaux étant sensiblement égaux. |