(19)
(11)EP 2 653 446 A3

(12)EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88)Veröffentlichungstag A3:
20.08.2014  Patentblatt  2014/34

(43)Veröffentlichungstag A2:
23.10.2013  Patentblatt  2013/43

(21)Anmeldenummer: 13163980.9

(22)Anmeldetag:  16.04.2013
(51)Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 33/027(2006.01)
(84)Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30)Priorität: 19.04.2012 DE 102012206439

(71)Anmelder: Wacker Chemie AG
81737 München (DE)

(72)Erfinder:
  • Weckesser, Dirk, Dr.
    84503 Altötting (DE)
  • Hauswirth, Rainer
    84375 Kirchdorf (DE)

(74)Vertreter: Killinger, Andreas et al
Wacker Chemie AG Intellectual Property Hanns-Seidel-Platz 4
81737 München
81737 München (DE)

  


(54)Polykristallines Siliciumgranulat und seine Herstellung


(57) Polykristallines Siliciumgranulat mit einer Konvexität von 0,850 - 1,000 und einem Chlorgehalt von 10-40 ppmw.
Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat in einem Wirbelschichtreaktor, umfassend Fluidisierung von Siliciumkeimpartikeln mittels einer Gasströmung in einer Wirbelschicht, die mittels einer Heizvorrichtung aufgeheizt wird, wobei durch Zugabe eines silicium- und halogenhaltigen Reaktionsgases mittels Pyrolyse elementares Silicium an den heißen Keimpartikeloberflächen abgeschieden wird, wodurch das polykristalline Siliciumgranulat entsteht, wobei durch Abscheidung im Durchmesser angewachsene Partikel und ein Abgas enthaltend Halogenwasserstoff aus dem Reaktor abgeführt und frische Keimpartikel zudosiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass als Regelgröße die Konzentration von Halogenwasserstoff im Abgas bestimmt und als Stellgrößen eine Rate der Zudosierung frischer Keimpartikel und eine Heizleistung der Heizvorrichtung gesteuert werden, um die Halogenwasserstoff-Konzentration im Abgas während des Betriebs in einem zuvor definierten Bereich zu halten, weiterhin gekennzeichnet dadurch, dass es sich beim polykristallinen Siliciumgranulat um Partikel mit einer Konvexität von 0,850 - 1,000 handelt.







Recherchenbericht












Recherchenbericht