(19)
(11)EP 3 008 343 B1

(12)EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT

(45)Hinweis auf die Patenterteilung:
10.07.2019  Patentblatt  2019/28

(21)Anmeldenummer: 14726958.3

(22)Anmeldetag:  26.05.2014
(51)Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 25/02(2006.01)
F04C 29/02(2006.01)
F04C 28/24(2006.01)
F04C 29/12(2006.01)
F04C 28/06(2006.01)
F04C 18/344(2006.01)
F04C 28/28(2006.01)
(86)Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/060838
(87)Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2014/198524 (18.12.2014 Gazette  2014/51)

(54)

VAKUUMPUMPE SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER VAKUUMPUMPE

VACUUM PUMP, AND METHOD FOR OPERATING A VACUUM PUMP

POMPE À VIDE AINSI QUE PROCÉDÉ PERMETTANT DE FAIRE FONCTIONNER UNE POMPE À VIDE


(84)Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30)Priorität: 11.06.2013 DE 102013210854

(43)Veröffentlichungstag der Anmeldung:
20.04.2016  Patentblatt  2016/16

(73)Patentinhaber: Leybold GmbH
50968 Köln (DE)

(72)Erfinder:
  • DESPESSE, Christophe
    07130 St-Romain-de-Lerps (FR)

(74)Vertreter: dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB 
Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)


(56)Entgegenhaltungen: : 
EP-A1- 0 597 732
GB-A- 1 195 361
EP-A1- 2 530 325
GB-A- 2 034 410
  
      
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).


    Beschreibung


    [0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe.

    [0002] Vakuumpumpen wie bspw. Drehschieberpumpen weisen in einem Pumpengehäuse einen Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum ist zum Fördern eines gasförmigen Mediums ein Förderelement angeordnet. Bei einer Drehschieberpumpe weist das Förderelement ein exzentrisch in dem zylindrischen Schöpfraum angeordnetes Rotorelement auf, in dem mehrere Schieber angeordnet sind. Die Schieber sind in Schlitzen des Rotorelements verschiebbar gehalten und liegen an der Innenseite des Schöpfraums an. Durch Rotation des exzentrisch angeordneten Rotorelements erfolgt ein Fördern des Mediums mit Hilfe der sich in ihrer Größe durch die Rotation verändernden, zwischen benachbarten Schiebern angeordneten Kammern von einem Einlass des Schöpfraums zu einem Auslass. Um beim Ausschalten der Vakuumpumpe ein Zurückströmen von Medium in den von der Vakuumpumpe zu evakuierenden Raum zu vermeiden, ist im Bereich des Einlasses ein Rückschlagventil angeordnet. In einer mechanischen Ausführungsform des Rückschlagventils ist dies über eine Feder eingestellt. Um ein sicheres Schließen des Saugstutzens zu gewährleisten, muss das Ventil nah an dessen Dichtungsfläche eingestellt sein. Bei geringen Drücken von insbesondere weniger als 1 mbar am Pumpeneinlass besteht der Nachteil, dass die Förderleistung der Pumpe bei geringen Drücken abnimmt.

    [0003] Aus EP 2530325 ist es bekannt, zusätzlich zu dem Rückschlagventil ein Steuerventil vorzusehen, das das Rückschlagventil betätigt. Im Betrieb ist das Steuerventil über einen Kanal mit einer Ölpumpe verbunden. Durch den von der Ölpumpe erzeugten Druck wird ein Schließkolben des Steuerventils in der Geschlossen-Stellung gehalten. Beim Abschalten der Vakuumpumpe wird auch die Ölpumpe mit abgeschaltet. Da der Schaltkolben des Steuerventils federbelastet ist, erfolgt ein Öffnen des Steuerventils. Dies führt dazu, dass ein mit dem Steuerventil verbundender Druckluftkanal geöffnet wird und über einen weiteren Kanal Druckluft zum Rückschlagventil strömt und dies in eine Geschlossen-Stellung drückt. Mit dieser Konstruktion ist es erforderlich, eine Ölpumpe vorzusehen, die während des Betriebs einen Öldruck zum Schließen des Steuerventils aufrechterhält. Des Weiteren muss auch nach dem Ausschalten der Pumpe ein Druckluftbehälter vorgesehen sein, aus dem Druckluft zum Schließen des Rückschlagventils diesem zugeführt werden kann.

    [0004] Anstelle des Vorsehens eines federeingestellten Rückschlagventils ist es ferner bekannt ein elektromagnetisch schaltbares Ventil vorzusehen. Hierdurch kann die Pumpleistung auch bei niedrigen Drücken am Pumpeneinlass aufrechterhalten werden. Das Vorsehen eines elektromagnetischen Ventils weist jedoch den Nachteil auf, dass eine entsprechende Steuereinrichtung sowie eine Stromversorgung vorgesehen sein müssen.

    [0005] Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe zu schaffen, wobei auch bei niedrigen Drücken von insbesondere weniger als 1 mbar am Einlass auch ohne Vorsehen eines elektromagnetischen Ventils, eine möglichst hohe Pumpleistung erzielt werden kann.

    [0006] Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch eine Vakuumpumpe gemäß Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe gemäß Anspruch 7.

    [0007] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Drehschieberpumpe handeln kann, weist in einem Gehäuse einen Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum ist mindestens ein Förderelement angeordnet. Bei einer Drehschieberpumpe handelt es sich um ein exzentrisch in einem zylindrischen Schöpfraum angeordnetes, zylindrisches Förderelement mit in Schlitzen verschiebbaren Schiebern. Die Schieber liegen an der Innenwand des Schöpfraumes an. Ferner ist der Schöpfraum mit einem Einlass und einem Auslass verbunden. Durch die Rotationsbewegung des Förderelements erfolgt ein Fördern von insbesondere gasförmigem Medium durch den Einlass in Richtung des Auslasses, um einen mit dem Einlass verbundenen Raum zu evakuieren. Im Bereich des Einlasses ist ein Rückschlagventil angeordnet, das den Einlass beim Ausschalten der Vakuumpumpe verschließt. Hierbei kann das Rückschlagventil in einen den Einlass ausbildenden Einlasskanal integriert sein. Durch das Rückschlagventil ist ein Zurückströmen des geförderten Mediums in den evakuierten Raum vermieden. Um auch bei niedrigen Drücken im Einlassbereich von insbesondere weniger als 1 mbar eine hohe Förderleistung der Pumpe zu realisieren, ist erfindungsgemäß eine Fluideinrichtung vorgesehen. Die Fluideinrichtung wirkt beim Ausschalten der Vakuumpumpe zum Verschließen des Rückschlagventils auf dieses ein. Dies hat den Vorteil, dass das Rückschlagventil auch bei geringen Drücken im Einlassbereich weit und insbesondere vollständig geöffnet ist. Hierdurch kann weiterhin auch bei niedrigen Drücken eine große Pumpleistung realisiert werden. Durch Vorsehen der das Rückschlagventil betätigenden Fluideinrichtung ist es möglich, den Spalt zwischen Rückschlagventil und Saugstutzen im Vergleich zu einem mechanischen federeingestellten Rückschlagventil zu vergrößern. Gegebenenfalls kann eine derartige Feder auch vollständig entfallen.

    [0008] Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Fluideinrichtung weist diese ein fluidisch betätigtes Schaltelement wie einen Schaltkolben auf. Je nach Stellung des Schaltkolbens wirkt ein Fluid zum Schließen des Rückschlagventils auf das Rückschlagventil ein. Das Vorsehen einer Fluideinrichtung bzw. eines fluidisch betätigbaren Schaltelement, bei dem es sich insbesondere um einen Schaltkolben handelt, weist insbesondere den Vorteil auf, dass die Betätigung der Fluideinrichtung durch Fluid erfolgt und insofern keine elektrische Steuerung und keine Stromversorgung erforderlich ist.

    [0009] Ferner ist das Schaltelement über einen Verbindungskanal mit dem Rückschlagventil verbunden, wobei der Verbindungskanal entweder unmittelbar mit dem Rückschlagventil oder über den Einlasskanal, durch den das zu fördernde Medium in den Schöpfraum gesaugt wird, verbunden ist. Erfindungsgemäß ist das Schaltelement der Fluideinrichtung mit einem Zuführkanal verbunden, in dem ein unter Druck stehendes Fluid vorgesehen ist. Mit Hilfe des unter Druck stehenden Fluids wird im Betrieb der Vakuumpumpe ein Druck auf den Schaltkolben ausgeübt, so dass dieser in einer Geschlossenstellung gehalten wird. In der Geschlossenstellung ist der Verbindungskanal zwischen dem Schaltelement und dem Rückschlagventil verschlossen. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Verbindungskanal nicht unmittelbar mit dem Rückschlagventil, sondern mittelbar über den Einlasskanal mit dem Rückschlagventil verbunden ist, da ansonsten Fluid aus dem Verbindungskanal in den Schöpfraum der Vakuumpumpe gesaugt würde.

    [0010] Beim Ausschalten der Vakuumpumpe erfolgt ein Verbinden des Zuführkanals mit dem Verbindungskanal durch Betätigen des Schaltelements, d.h. insbesondere durch Verschieben des Schaltkolbens. Sodann strömt Fluid aus dem Zuführkanal durch den Verbindungskanal und ggf. durch den Einlasskanal in Richtung des Rückschlagventils und verschließt dieses, so dass nach dem Ausschalten der Vakuumpumpe kein Medium in den evakuieren Raum zurückströmen kann.

    [0011] Des Weiteren ist es bevorzugt, dass das Schaltelement mit einem Schließkanal verbunden ist. Durch Verändern des Drucks eines Fluids in dem Schließkanal kann ein Betätigen des Schaltelements erfolgen. Besonders bevorzugt ist es hierbei, dass zum Schließen des Schaltelements während des Betriebs der Vakuumpumpe an dem Schaltelement über den Schließkanal Druck anliegt. Bei einer entsprechenden Druckreduzierung bzw. einem entsprechenden Druckabfall erfolgt sodann ein Öffnen des Schaltelements, d.h. insbesondere ein Verschieben des Schaltkolbens. Besonders bevorzugt ist es, dass zum Aufbau von Druck in dem Schließkanal dieser mit dem Auslass der Vakuumpumpe verbunden ist. Da am Auslass der Vakuumpumpe ein deutlich höherer Druck als am Einlass der Vakuumpumpe herrscht, ist es möglich diesen Druck zum Verschließen des Schaltelements über den Schließkanal zu dem Schaltelement zu leiten, so dass der Druck insbesondere auf den Schaltkolben einwirkt.

    [0012] Beim Abschalten der Vakuumpumpe sinkt der Druck am Pumpenauslass. Dies führt dazu, dass bei dieser bevorzugten Ausführungsform auch der Druck in den mit dem Auslass bzw. dem Auslassbereich verbundenen Schließkanal sinkt. Hierdurch erfolgt ein Öffnen der Fluideinrichtung. Der Öffnungsvorgang kann hierbei beispielsweise durch eine Feder unterstützt werden. Zusätzlich oder anstelle der Feder kann ein Unterstützen aufgrund eines über den Zuführkanal auf das Schaltelement wirkenden Druckes erfolgen.

    [0013] Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Schaltelement derart ausgestaltet, dass der in dem Schließkanal herrschende Druck und der in dem Zufuhrkanal herrschende Druck in entgegengesetzte Richtung auf das Schaltelement insbesondere auf einander gegenüberliegende Kolbenflächen des Schaltkolbens wirkt. Dies hat den Vorteil, dass, solange während des Betriebs der Druck in dem Schließkanal höher ist als in dem Zuführkanal, der Schaltkolben verschlossen bleibt, sofern die einander gegenüberliegenden Kolbenflächen gleich groß sind. Bei unterschiedlich großen Kolbenflächen sind für den Schaltzustand des Schaltelements, d.h. für die Lage des Schaltkolbens, die einander entgegengerichteten Kräfte ausschlaggebend. Diese hängen von dem Druck und der Größe der wirksamen Kolbenfläche ab. Durch eine entsprechende Anpassung der Kolbengeometrie kann diese somit auf die herrschenden Drücke angepasst werden, so dass einerseits im Betrieb ein sicheres Verschließen des Schaltelemets gewährleistet ist und andererseits beim Ausschalten der Vakuumpumpe ein schnelles Öffnen des Schaltelements sichergestellt ist. Vorzugsweise ist der Zuführkanal mit einer Druckerzeugungseinrichtung der Vakuumpumpe verbunden. Hierbei handelt es sich insbesondere um die Kompressionszone im Vakuumgenerator kurz vor dessen Auslass.

    [0014] Insbesondere ist die Kolbengeometrie des Schaltelements derart ausgebildet, dass das Schaltelement einen Hohlraum aufweist, der mit dem Zuführkanal verbunden ist. Hierdurch ist eine entsprechende wirksame Fläche innerhalb des Schaltelements ausgebildet.

    [0015] Das vorstehend beschriebene erfindungsgemäße Prinzip des Einwirkens auf ein Rückschlagventil mit Hilfe einer Fluideinrichtung ist nicht auf Drehschieberpumpen beschränkt, sondern kann auch bei Vakuumpumpen anderer Bauart eingesetzt werden. Unabhängig von der Bauart der Vakuumpumpe ist es besonders bevorzugt, dass als Fluid, das dem Schaltkanal zugeführt wird und zum Schalten des Schaltelements insbesondere des Schaltkolbens dient, das geförderte Medium verwendet wird. Bei einer ölgeschmierten Vakuumpumpe wie einer Drehschieberpumpe handelt es sich um ein Gemisch aus Gas und Öl, da das die Drehschieber gegenüber der Innenwand des Schöpfraums abdichtende Öl in geringen Mengen mitgefördert wird.

    [0016] Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben der vorstehend beschriebenen Vakuumpumpe. Diese ist wie vorstehend beschrieben vorteilhaft weitergebildet. Das Schalten des Rückschlagventils erfolgt gemäß des erfindungsgemäßen Verfahrens beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch
    fluidisches Betätigen des Schaltelements, d.h. insbesondere des Schaltkolbens der Fluideinrichtung, wobei hierdurch das Rückschlagventil verschlossen wird.

    [0017] Insbesondere wird zum Schließen des Rückschlagventils durch den Verbindungskanal Fluid in Richtung des Rückschlagventils gefördert bzw. strömt in Richtung des Rückschlagventils. Ferner strömt das Fluid vorzugsweise durch den Zuführkanal über das Schaltelement in den Verbindungskanal. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass zum Schließen des Schaltelements während des Betriebs zum Druckaufbau Fluid dem Schließkanal zugeführt wird, wobei es sich bei diesem Fluid insbesondere um von der Vakuumpumpe gefördertes Fluid handelt. Hierbei handelt es sich insbesondere um das von der Vakuumpumpe aus dem zu evakuierenden Raum geförderte Fluid, insbesondere Gas. Vorzugsweise ist das Verfahren wie vorstehend anhand der Vorrichtung beschrieben vorteilhaft weitergebildet.

    [0018] Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.

    [0019] Es zeigen
    Fig. 1
    eine schematische Schnittansicht einer Drehschieberpumpe,
    Fig. 2
    eine schematische Schnittansicht der fluidischen Schalteinrichtung im Betrieb und
    Fig. 3
    eine schematische Schnittansicht der flüidischen Schalteinrichtung im Stillstand.


    [0020] In der Figur 1 ist als Beispiel einer Vakuumpumpe eine Drehschieberpumpe dargestellt. Diese weist ein Gehäuse 10 auf, in dem ein Schöpfraum 12 ausgebildet ist. Innerhalb des zylindrischen Schöpfraumes ist ein Rotationselement 14 (Pumpen-Rotor) ausgebildet, das zusammen mit Schiebern 16 ein Förderelement bildet. Die Schieber 16 sind in Schlitzen 18, die in dem Rotorelement 14 angeordnet sind, verschiebbar. Bspw. über eine innenliegende Ölzufuhr erfolgt eine Ölzufuhr in die Schlitze 18, so dass das Öl die Schieber 16 gegenüber der Innenwand 20 des Schöpfraums 12 abdichtet. Da das Rotationselement 14 exzentrisch angeordnet ist, erfolgt durch Drehen des Rotationselements 14 ein Fördern von insbesondere gasförmigem Medium, das durch einen Einlass 22 angesaugt und durch einen Auslass 24 ausgestoßen wird.

    [0021] Der Einlass 22 ist mit einem Einlassstutzen 26 verbunden. In dem Einlassstutzen 26 erfolgt das Ansaugen des zu fördernden Mediums, so dass ein mit dem Einlassstutzen 26 verbundener zu evakuierender Raum evakuiert wird. Innerhalb des Einlasses 22, 26 ist ein Rückschlagventil 28 sowie ggf. ein Filterelement oder Sieb 30 angeordnet.

    [0022] Aufgrund des in einer ersten Kammer 32 des Schöpfraums 12 herrschenden Drucks, der niedriger als der Druck in dem zu evakuierenden Raum ist, erfolgt ein Bewegen des Rückschlagventils 28 in Fig. 1 nach unten entgegen der Kraft einer im dargestellten Ausführungsbeispiel in dem Einlasskanal 22 angeordneten Spiralfeder 34. Da die Spiralfeder 34 nur eine relativ geringe Kraft erzeugt, die das Rückschlagventil 28 nach oben in eine Verschlussstellung bewegen würde, ist das Rückschlagventil 28 auch bei geringen Drücken im Einlassbereich vorzugsweise vollständig geöffnet.

    [0023] Um ein schnelles und sicheres Verschließen, d.h. Bewegen des Rückschlagventils 28 in Fig. 1 nach oben beim Ausschalten der Vakuumpumpe sicherzustellen, ist eine Fluideinrichtung 36 vorgesehen. Diese weist einen Verbindungskanal 38 auf, der im dargestellten Ausführungsbeispiel zwischen einem Schaltelement 40 und dem Verbindungskanal 38 angeordnet ist.

    [0024] Ferner weist die Fluideinrichtung 36 einen mit dem Ölkasten bzw. Ölreservoir verbundenen Zuführkanal 42 auf, der ebenfalls mit dem Schaltelement 40 verbunden ist. Hierbei ist in besonders bevorzugter Ausführungsform innerhalb des Schaltelements 40 ein Hohlraum 43 vorgesehen, in den der Zuführkanal 42 mündet. Des Weiteren ist ein Schließkanal 44 mit dem Schaltelement 40 verbunden. Der Schließkanal 44 ist ferner mit dem Auslass 24 des Vakuumgenerators oder im Bereich des Auslasses 24 mit dem Schöpfraum 12 verbunden.

    [0025] Während des Betriebs der Vakuumpumpe wird das in den Kammern 32 durch den Einlasskanal 22 angesaugte Medium komprimiert, so dass am Auslass 24 ein höherer Druck als am Einlass 22 herrscht. Aufgrund der Verbindung mit dem Schließkanal 44 herrscht dieser Druck auch an dem insbesondere als Schaltkolben ausgebildeten Schaltelement 40. Durch diesen Druck wird das Schaltelement 40 geschlossen, so dass kein Fluid in den Verbindungskanal 38 gelangt (Fig. 2). Gleichzeitig liegt an dem Schaltelement 40 über dem Zuführkanal 42 ein Druck an, der jedoch in Abhängigkeit der wirksamen Kolbenflächen eine geringere Kraft auf den Schaltkolben 40 ausübt als der in dem Schließkanal 44 herrschende Druck. Hierdurch ist sichergestellt, dass die Fluideinrichtung 36 während des Betriebs verschlossen bleibt.

    [0026] Beim Ausschalten der Vakuumpumpe sinkt der Druck am Auslass 24 und somit auch in dem Schließkanal 44. Dies führt dazu, dass der in dem Zuführkanal 42 herrschende Druck eine größere Kraft auf das Schaltelement 40 ausübt als die durch den Druck in der Leitung 44 erzeugte Kraft. Hierdurch wird das Schaltelement 40 in Fig. 1 und 2 nach links in die in Fig. 3 dargestellte Stellung bewegt. Dies bewirkt ein Öffnen des Verbindungskanals 38, so dass Fluid aus dem Zuführkanal 42 in den Verbindungskanal 38 strömt (Pfeil 46). Aus dem Verbindungskanal 38 strömt das Fluid in den Einlasskanal 22 in - Richtung des Rückschlagventils 24 und verschließt dieses.

    [0027] Der Kolben 40 weist vorzugsweise einen Hohlraum auf, in den Fluid bei geschlossenem Ventil (Fig. 2) durch den Zuführkanal 42 strömt, so dass diese eine Kraft auf den Kolben in Fig. 2 nach links ausübt, wobei die Gegenkraft durch den in dem Schaltkanal 44 herrschenden Druck erzeugt wird.


    Ansprüche

    1. Vakuumpumpe, insbesondere Drehschieberpumpe mit
    einem in einem Pumpengehäuse (10) ausgebildeten Schöpfraum (12),
    einem in dem Schöpfraum angeordneten Förderelement (14, 16),
    einen mit dem Schöpfraum (12) verbundenen Einlass (22) und einem mit dem Schöpfraum (12) verbundenen Auslass (24),
    einem den Einlass (22) beim Ausschalten der Vakuumpumpe verschließenden Rückschlagventil (28) und
    einer beim Ausschalten der Vakuumpumpe zum Verschließen des Rückschlagventils (28) auf das Rückschlagventil (28) einwirkende Fluideinrichtung (36), mit einem fluidisch betätigten Schaltelement (40), das mit einem Schließkanal (44) und über einen Verbindungskanal (38) mit dem Rückschlagventil (28) verbunden ist,
    wobei der Schließkanal (44) mit dem Auslass (24) der Vakuumpumpe verbunden ist, so dass an dem Schaltelement (40) während des Betriebs der Vakuumpumpe ein das Schaltelement (40) schließender Druck anliegt,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    das Schaltelement (40) mit einem unter Druck stehendenden Fluid aufweisenden Zuführkanal (42) verbunden ist.
     
    2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das fluidisch betätigte Schaltelement (40) einen Schaltkolben aufweist.
     
    3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass der Zuführkanal (42) mit dem Verbindungkanal (38) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch Betätigen des Schaltelements (40)verbunden ist.
     
    4. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der in dem Schließkanal (44) herrschende Druck und der in dem Zuführkanal (42) herrschende Druck in entgegengesetzte Richtung auf das Schaltelement (40) insbesondere einander gegenüber liegende Kolbenflächen des Schaltkolbens wirken.
     
    5. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Schaltelement (40), insbesondere dem Schaltkolben, ein Hohlraum (43) vorgesehen ist, der mit dem Zuführkanal (42) verbunden ist.
     
    6. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Zuführkanal (42) mit einer Druckerzeugungseinrichtung verbunden ist.
     
    7. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem das Rückschlagventil (28) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch fluidisches Betätigen des Schaltelements (40) der Fluideinrichtung (36) geschlossen wird.
     
    8. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach Anspruch 7, bei welchem zum Schließen des Rückschlagventils (28) durch den Verbindungskanal (38) Fluid, insbesondere Schmiermittel, in Richtung des Rückschlagventils (28) strömt.
     
    9. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach Anspruch 7 oder 8, bei welchem zum Schließen des Schaltelements (40) während des Betriebs zum Druckaufbau Fluid dem Schließkanal (44) zugeführt wird.
     
    10. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach Anspruch 9, bei welchem das unter Druck stehende Fluid von der Vakuumpumpe erzeugt wird, wobei es sich insbesondere um das von der Vakuumpumpe aus dem zu evakuierenden Raum abgeführte Fluid handelt.
     
    11. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 7 bis 10 bei welchem der Zuführkanal (42) mit dem Verbindungskanal (38) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch Betätigen des Schaltelements (40) verbunden wird.
     


    Claims

    1. A vacuum pump, particularly a rotary vane pump, comprising
    a suction chamber (12) formed in a pump housing (10),
    a conveying element (14, 16) arranged in the suction chamber,
    an inlet (22) connected to the suction chamber (12) and an outlet (24) connected to the suction chamber (12),
    a back-check valve (28) configured to close the inlet (22) upon switch-off of the vacuum pump, and
    a fluid device (36) configured to act on the back-check valve (28) upon switch-off of the vacuum pump for closing the back-check valve (28), comprising a fluidically operated switching element (40) which is connected to a closing duct (44) and, via a connecting duct (38), to the back-check valve (28),
    wherein the closing duct (44) is connected to the outlet (24) of the vacuum pump so that, during operation of the vacuum pump, a pressure is applied to the switching element (40) for closing the switching element (40),
    characterized in that
    the switching element (40) is connected to a supply duct (42) comprising a pressurized fluid.
     
    2. The vacuum pump according to claim 1, characterized in that the fluidically operated switching element (40) comprises a switching piston.
     
    3. The vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that, upon switch-off of the vacuum pump, the supply duct (42) is connected the connecting duct (38) by actuation of the switching element (40).
     
    4. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the pressure prevailing in the closing duct (44) and the pressure prevailing in the supply duct (42) act in opposite directions on the switching element (40), particularly on mutually opposite piston surfaces of the switching piston.
     
    5. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, characterized in that, in the switching element (40) and particularly in the switching piston, a cavity (43) is provided which is connected to the supply duct (42).
     
    6. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the supply duct (42) is connected to a pressure generating device.
     
    7. A method for operating a vacuum pump according to any one of claims 1 to 6, wherein, upon switch-off of the vacuum pump, the back-check valve (28) is closed by fluidic actuation of the switching element (40) of the fluid device (36).
     
    8. The method for operating a vacuum pump according to claim 7, wherein, for closing the back-check valve (28), a fluid, particularly a lubricant, is caused to flow through the connecting duct (38) in the direction of the back-check valve (28).
     
    9. The method for operating a vacuum pump according to claim 7 or 8, wherein, for closing the switching element (40) during operation, fluid is supplied to the closing duct (44) for pressure build-up.
     
    10. The method for operating a vacuum pump according to claim 9, wherein the pressurized fluid is generated by the vacuum pump, said fluid being particularly the fluid discharged by the vacuum pump from the to-be-evacuated space.
     
    11. The method for operating a vacuum pump according to claim 7 to 10, wherein, upon switch-off of the vacuum pump, the supply duct (42) is connected to the connecting duct (38) by actuation of the switching element (40).
     


    Revendications

    1. Pompe à vide, notamment pompe à vide à palettes, avec
    une chambre d'aspiration (12) formée dans un carter de pompe (10),
    un élément de transport (14, 15) disposé dans la chambre d'aspiration,
    une entrée (22) reliée à la chambre d'aspiration (12) et une sortie (24) reliée à la chambre d'aspiration (12),
    une valve anti-retour (28) fermant l'entrée (22) lors de l'arrêt de la pompe à vide,
    un dispositif à fluide (36) agissant sur la valve anti-retour (28) lors de l'arrêt de la pompe à vide pour fermer la valve anti-retour (28), avec un élément de commutation (40) actionné de manière fluidique qui est relié à un canal de fermeture (44) et, via un canal de liaison (38), à la valve anti-retour (28),
    le canal de fermeture (44) étant relié à la sortie (24) de la pompe à vide, si bien qu'une pression soit appliquée à l'élément de commutation (40) pendant le fonctionnement de la pompe à vide, qui ferme l'élément de commutation (40),
    caractérisée en ce que
    l'élément de commutation (40) est relié à un canal d'amenée (42) comprenant un fluide sous pression.
     
    2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'élément de commutation (40) actionné de manière fluidique comprend un piston de commutation.
     
    3. Pompe à vide selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que, lors de l'arrêt de la pompe à vide, le canal d'amenée (42) est relié au canal de liaison (38) par un actionnement de l'élément de commutation (40).
     
    4. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la pression régnant dans le canal de fermeture (44) et la pression régnant dans le canal d'amenée (42) agissent sur l'élément de commutation (40), notamment sur des faces de piston opposées du piston de commutation, dans des directions opposées.
     
    5. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'il est prévu dans l'élément de commutation (40), notamment dans le piston de commutation, un espace creux (43) qui est relié au canal d'amenée (42).
     
    6. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que le canal d'amenée (42) est relié à un dispositif de génération de pression.
     
    7. Procédé permettant de faire fonctionner une pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 6, selon lequel, lors de l'arrêt de la pompe à vide, la valve anti-retour (28) est fermée par un actionnement fluidique de l'élément de commutation (40) du dispositif à fluide (36).
     
    8. Procédé permettant de faire fonctionner une pompe à vide selon la revendication 7, selon lequel, pour fermer la valve anti-retour (28), un fluide, notamment un agent lubrifiant, passe par le canal de liaison (38) en direction de la valve anti-retour (28).
     
    9. Procédé permettant de faire fonctionner une pompe à vide selon la revendication 7 ou 8, selon lequel, pour fermer l'élément de commutation (40) pendant le fonctionnement, du fluide est amené au canal de fermeture (44) pour engendrer de la pression.
     
    10. Procédé permettant de faire fonctionner une pompe à vide selon la revendication 9, selon lequel le fluide sous pression est produit par la pompe à vide, le fluide étant plus particulièrement celui aspiré par la pompe à vide, de la chambre à évacuer.
     
    11. Procédé permettant de faire fonctionner une pompe à vide selon l'une des revendications 7 à 10, selon lequel, lors de l'arrêt de la pompe à vide, le canal d'amenée (42) est relié au canal de liaison (38) par un actionnement de l'élément de commutation (40).
     




    Zeichnung











    Angeführte Verweise

    IN DER BESCHREIBUNG AUFGEFÜHRTE DOKUMENTE



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    In der Beschreibung aufgeführte Patentdokumente