(19)
(11)EP 3 608 727 A1

(12)DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(43)Date de publication:
12.02.2020  Bulletin  2020/07

(21)Numéro de dépôt: 18188355.4

(22)Date de dépôt:  09.08.2018
(51)Int. Cl.: 
G04B 15/14  (2006.01)
G04B 31/08  (2006.01)
(84)Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(71)Demandeur: Nivarox-FAR S.A.
2400 Le Locle (CH)

(72)Inventeurs:
  • GANDELHMAN, Alex
    2000 Neuchâtel (CH)
  • CUSIN, Pierre
    1423 Villars-Burquin (CH)
  • VERARDO, Marco
    2336 Les Bois (CH)

(74)Mandataire: ICB SA 
Faubourg de l'Hôpital, 3
2001 Neuchâtel
2001 Neuchâtel (CH)

  


(54)COMPOSANT NOTAMMENT HORLOGER AVEC UNE TOPOLOGIE DE SURFACE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION


(57) L'invention concerne un système (1) comportant deux composants (2) destinés à être en contact par frottement l'un par rapport à l'autre dans une direction donnée, le frottement s'établissant dans une zone fonctionnelle, le système (1) étant caractérisé en ce qu'au moins un des deux composants (2) comporte sur une surface dans la zone fonctionnelle une texture formée d'une succession de creusures (3a) de forme arrondie séparées par des crêtes (3b) ou d'une succession de bosses (3c) de forme arrondie séparées par des creusures (3a), lesdites creusures (3a) s'étendant dans ladite direction donnée et permettant l'évacuation de débris (4) issus du frottement et faisant office de réservoir pour un lubrifiant (5).
Elle se rapporte également au procédé de fabrication par gravure ionique réactive profonde (DRIE) dudit au moins composant (2) ou d'un moule, les défauts de surface sur des flancs usinés par le procédé DRIE étant exploités pour réaliser lesdites creusures (3a).




Description

DOMAINE TECHNIQUE



[0001] La présente invention se rapporte à un composant micromécanique, utilisé notamment dans le domaine horloger, destiné à être soumis, en utilisation, à un contact par frottement avec un autre composant. Elle se rapporte également à son procédé de fabrication.

ART ANTERIEUR



[0002] De nombreux composants horlogers tels que les composants de l'échappement, les sautoirs, ressorts, etc. sont soumis en utilisation au frottement. Traditionnellement, une bonne facture de tels composants veut que leur surface de contact/frottement soit parfaitement lisse. Or, un frottement entre deux corps engendre généralement la formation de particules d'usure formant un troisième corps. Loin d'avoir un effet positif avéré, ce troisième corps peut entraîner une usure accélérée du composant ayant un effet préjudiciable sur sa fonction. Pour éviter cette usure et réduire les forces de frottement qui conduisent à des pertes pour certaines fonctions, une lubrification est appliquée au niveau des surfaces venant en contact de frottement des composants. Cependant, dans la configuration où deux surfaces de frottement parfaitement lisses frottent l'une contre l'autre, le lubrifiant est progressivement évacué des zones de contact/frottement, conduisant à moyen et long terme à une dégradation des conditions de contact de frottement.

RESUME DE L'INVENTION



[0003] La présente invention a pour objet de remédier aux inconvénients précités en proposant un système de deux composants en contact de frottement dont au moins un composant présente dans la zone destinée à être soumise au frottement une topologie facilitant, d'une part, l'évacuation des particules engendrées par le frottement, et, d'autre part, formant un réservoir pour le lubrifiant.

[0004] A cet effet, le composant présente dans ladite zone une structure en forme de vaguelettes. Cette structure définit un ensemble de creusures s'étendant dans la direction du frottement et formant autant de canaux permettant l'évacuation des débris issus du frottement et l'écoulement du lubrifiant. Le système de l'invention est défini par la revendication 1.

[0005] Selon l'invention, la structure en forme de vaguelettes est réalisée lors de l'étape d'usinage du composant. Le procédé de fabrication utilisée est le procédé de gravure ionique réactive profonde DRIE (de l'anglais « Deep Reactive Ion Etching »). Ce procédé induit la formation de vaguelettes ou ondulations (en anglais « scalloping ») sur la tranche usinée du composant. Cette ondulation est un défaut inhérent au procédé que l'homme de métier veut, selon l'état de l'art, supprimer. A cet effet, le procédé DRIE est généralement suivi d'une étape d'oxydation et de désoxydation visant à lisser le profil ondulé. A contrario, selon l'invention, on s'affranchit au moins partiellement de cette étape pour maintenir le profil ondulé qui permet l'évacuation des débris d'usure et sert de réservoir de lubrifiant.

[0006] Le procédé de fabrication selon l'invention permet ainsi en une seule étape d'usiner le composant et de texturer la surface. Par ailleurs, l'avantage du procédé selon l'invention est que la texturation en forme de vaguelettes est naturellement alignée dans le sens du frottement sur la tranche usinée. Le procédé de l'invention est défini par la revendication 12.

[0007] L'invention se rapporte également à un moule usiné avec le procédé DRIE pour former une structure en forme de vaguelettes sur les flancs usinés du moule. Ces moules avec la texture en forme de vaguelettes forment une empreinte pour la réalisation ultérieure de composants par électroformage. Les composants électroformés présentent ainsi également une texture de forme complémentaire à celle en vaguelettes avec des creusures servant de canaux d'évacuation des débris et de réservoir pour le lubrifiant dans la zone où s'établit le frottement. Le moule est défini par la revendication 9.

[0008] Conformément à d'autres variantes avantageuses de l'invention :
  • les creusures sont longitudinales et parallèles entre elles.
  • lesdites creusures ont une profondeur P qui est supérieure ou égale à 100 nm et inférieure ou égale à 500 nm, et, de préférence, inférieure ou égale à 300 nm.
  • la succession de creusures et de crêtes ou de bosses et de creusures forme une structure périodique.
  • la texture est présente sur un flanc dudit au moins composant usiné par gravure ionique réactive profonde.
  • chacun des deux composants comporte ladite texture sur une surface dans la zone fonctionnelle, lesdites creusures étant disposées en regard l'une de l'autre.
  • seul ledit au moins composant comporte sur sa surface ladite texture, l'autre composant du système présentant une surface lisse dans la zone fonctionnelle.
  • ledit au moins composant est à base de silicium ou à base métallique.
  • les deux composants sont des composants horlogers.


[0009] D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description suivante de modes de réalisation préférés, présentés à titre d'exemple non limitatif en référence aux dessins annexés.

BREVE DESCRIPTION DES FIGURES



[0010] 

Les figures 1A et 1B représentent schématiquement un système à deux composants avec un des deux composants comportant sur sa surface de frottement destinée à être partiellement en contact avec l'autre composant une texture en forme d'un train de vaguelettes parallèles entre elles selon l'invention. Le frottement s'établit le long d'une direction longitudinale parallèle à la direction longitudinale des creusures recevant le troisième corps (fig.1A) et le lubrifiant (fig.1B).

Les figures 2A et 2B représentent une variante du système à deux composants avec un des deux composants présentant une texture de forme complémentaire à celle représentée aux figures 1A et 1B.

La figure 3A est une représentation d'un système d'horloger comprenant deux composants (roue d'échappement/ancre) qui présentent sur la tranche des dents et/ou des levées une texture selon l'invention. La figure 3B représente schématiquement la texture sur la tranche usinée.

La figure 4 illustre schématiquement, de manière connue, les différentes étapes du procédé de gravure ionique réactive profonde DRIE.


DESCRIPTION DETAILLEE



[0011] La présente invention se rapporte à des composants à base métallique ou à base de silicium comportant des surfaces destinées à être soumises au frottement en utilisation. La présente invention se rapporte ainsi plus spécifiquement à un système faisant intervenir deux composants comprenant des surfaces soumises au frottement dans une zone dite fonctionnelle. Dans le domaine horloger, il peut, par exemple, s'agir d'un système : roue d'échappement/levées d'une ancre, came/palpeur, cliquet/roue dentée, sautoir/disque, disque d'embrayage/ressort, disque de freinage/sabot, etc. La présente invention se rapporte également aux moules qui permettent de réaliser ces composants par électroformage. Elle se rapporte en outre au procédé de fabrication des composants ou moules.

[0012] Tel que représenté schématiquement aux figures 1A-2B, au moins un des deux composants 2 du système 1 présente dans la zone fonctionnelle de sa surface de frottement une topologie de surface facilitant, d'une part, l'évacuation des particules du troisième corps et, d'autre part, formant un réservoir pour le lubrifiant.

[0013] Se référant aux figures 1A et 1B, la topologie de surface est formée de vaguelettes périodiques parallèles entre elles avec des creux 3a, aussi appelée creusures, de forme arrondie séparées par des crêtes 3b. Selon cette variante, le contact entre les deux composants 2 s'établit au niveau des crêtes 3b de la structure. La dimension longitudinale des creusures 3a s'étend parallèlement à la direction du frottement dans la zone fonctionnelle et les creusures servent de réservoirs pour le lubrifiant 5 et de canaux pour l'évacuation des débris 4 de frottement. Selon l'invention, la profondeur P des creusures qui est la distance entre le point bas de la creusure et le sommet de la crête est typiquement supérieure ou égale à 100 nm et inférieure ou égale à 500 nm (fig.3B).

[0014] Aux figures 2A et 2B, la structure présente une succession de bosses 3c arrondies séparées par des creusures 3a. Cette structure est obtenue par électroformage de composants métalliques dans des moules présentant la structure en forme de vaguelettes des figures 1A et 1B. La profondeur P des creusures correspond donc ici à la distance entre le point bas de la creusure et le sommet de la bosse et est bien entendu égale à la profondeur P susmentionnée. Selon cette autre variante, le contact entre les deux composants 2 s'établit au niveau du sommet des bosses 3c de la texture.

[0015] Dans les variantes présentées aux figures 1A-2B, seul un des deux composants comporte des creusures, l'autre composant présentant dans la zone fonctionnelle une surface de frottement sensiblement lisse. Selon une autre variante non représentée, les deux composants peuvent comporter dans cette zone des creusures en regard l'une de l'autre formant ensemble des canaux d'évacuation des débris et des réservoirs pour le lubrifiant.

[0016] A titre illustratif, la figure 3A représente un système horloger 1 : roue d'échappement 6/ancre 7 avec un ou les deux composants 6,7 qui présentent au moins sur la tranche 8a, 9a des dents 8 et/ou des levées 9 soumise au frottement une texture selon l'invention (fig.3B).

[0017] Cette texture de surface est obtenue lors de l'usinage du composant ou du moule par le procédé DRIE qui est un procédé de gravure par plasma qui comporte deux cycles différents se succédant, à savoir un cycle de gravure et un cycle de passivation. Le procédé est schématiquement illustré à la figure 4. De manière connue, une ébauche 10 à base de silicium est mise à disposition. Un masque ajouré 11 définissant la tranchée à usiner est formé sur la surface de l'ébauche 10 (fig.4a). Le procédé consiste ensuite en la succession des étapes de gravure (fig.4b) sous un gaz fluoré (par ex. SF6) et de passivation (couche 12) sous un gaz fluorocarboné (par ex. C4F8), l'alternance des étapes de gravure et de passivation générant la structure en vaguelettes sur le flanc usiné. La périodicité et la profondeur des creusures peuvent, de manière connue, être modulées en changeant, entre autres, le temps des séquences de gravure et de passivation. (par exemple 6" de gravure - 2" de passivation, ou 3" de gravure - 1" de passivation), De préférence la durée des phase de gravure sont supérieures aux durées des phase de passivation. Typiquement, ces creusures ont une profondeur P comprises entre 100 et 1000nm et de préférence de l'ordre de quelques centaines de nanomètres avec une périodicité des creusures comprises entre 1.5 et 6um et de préférence de l'ordre de 3um

[0018] Optionnellement, pour réduire la profondeur des creusures, sans pour autant supprimer la rugosité de surface, une étape d'oxydation suivie d'une désoxydation peut être envisagée (non représentée). Cette étape consiste à réaliser une oxydation thermique à des températures typiquement comprises entre 900 et 1200°C suivie d'une désoxydation chimique typiquement dans de l'acide fluorhydrique. A titre d'exemple, la profondeur P des creusures peut ainsi être réduite de 300 nm à 100-200 nm lors de cette étape.

[0019] Ensuite, lorsque le procédé susmentionné est utilisé pour fabriquer un moule, le procédé comporte en outre une étape de dépôt par électroformage d'un alliage métallique sur la face texturée du moule pour réaliser le composant comportant en surface une succession de bosses et de creusures.

Légende



[0020] 
  1. (1) Système de composants
  2. (2) Composant
  3. (3) Texture dite ondulée
    1. a) Creusure
    2. b) Crête
    3. c) Bosse
  4. (4) Débris
  5. (5) Lubrifiant
  6. (6) Roue d'échappement
  7. (7) Ancre
  8. (8) Dent de la roue d'échappement
    1. a. Tranche ou flanc
  9. (9) Levée de l'ancre
    1. a. Tranche ou flanc
  10. (10) Ebauche
  11. (11) Masque
  12. (12) Couche de passivation



Revendications

1. Système (1) comportant deux composants (2) destinés à être en contact de frottement par des surfaces de frottement l'un par rapport à l'autre selon une direction de frottement donnée, le frottement s'établissant dans une zone dite fonctionnelle, le système (1) étant caractérisé en ce qu'au moins un des deux composants (2) comporte dans la zone fonctionnelle une surface présentant une texture formée d'une succession de creusures (3a) de forme arrondie séparées par des crêtes (3b) ou d'une succession de bosses (3c) de forme arrondie séparées par des creusures (3a), lesdites creusures (3a) s'étendant parallèlement à ladite direction donnée et permettant l'évacuation de débris (4) issus du frottement et faisant office de réservoir pour un lubrifiant (5).
 
2. Système (1) selon la revendication 1 caractérisé en ce que les creusures (3a) sont longitudinales et parallèles entre elles.
 
3. Système (1) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que lesdites creusures (3a) ont une profondeur P qui est supérieure ou égale à 100 nm et inférieure ou égale à 1000 nm, et, de préférence, inférieure ou égale à 300 nm.
 
4. Système (1) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la succession de creusures (3a) et de crêtes (3b) ou de bosses (3c) et de creusures (3a) forme une structure périodique.
 
5. Système (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la texture est présente sur un flanc (8a, 9a) dudit au moins composant (2) usiné par gravure ionique réactive profonde.
 
6. Système (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chacun des deux composants (2) comporte ladite texture sur une surface dans la zone fonctionnelle, lesdites creusures (3a) étant disposées en regard l'une de l'autre.
 
7. Système (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que seul ledit au moins composant (2) comporte sur sa surface ladite texture, l'autre composant (2) du système (1) présentant une surface lisse dans la zone fonctionnelle.
 
8. Système (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit au moins composant (2) est à base de silicium ou à base métallique.
 
9. Système (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les deux composants (2) sont des composants horlogers.
 
10. Pièce d'horlogerie comprenant le système (1) selon la revendication 9.
 
11. Moule destiné à réaliser ledit au moins composant (2) comprenant une succession de bosses (3c) de forme arrondie séparées par des creusures (3a) selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, le moule comportant sur une de ses faces une empreinte avec ladite texture formée d'une succession de creusures (3a) de forme arrondie séparées par des crêtes (3b).
 
12. Procédé de fabrication d'un moule ou d'un composant (2) respectivement à base de silicium, le procédé comprenant les étapes suivantes :

(a) Mise à disposition d'une ébauche (10) à base de silicium,

(b) Usinage de flancs (8a,9a) sur ladite ébauche (10) par la méthode de gravure ionique réactive profonde pour réaliser le moule ou le composant (2), lesdits flancs usinés (8a,9a) présentant une texture en forme de vaguelettes inhérentes à la méthode de gravure ionique réactive profonde, ladite texture définissant sur les flancs usinés (8a,9a) un ensemble de creusures (3a) d'une profondeur P, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'à l'issue du procédé de fabrication, lesdites creusures (3a) sont maintenues sur les flancs usinés (8a,9a) du moule ou du composant (2) de manière à former sur lesdits flancs usinés (8a,9a) des canaux aptes à collecter des débris (4) ou à recevoir un lubrifiant (5).


 
13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'à l'issue du procédé de fabrication, lesdites creusures (3a) sur les flancs usinés (8a, 9a) du moule ou du composant (2) ont une profondeur P supérieure ou égale à 100 nm et inférieure ou égale à 1000 nm, et, de préférence, inférieure ou égale à 300 nm.
 
14. Procédé selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que l'étape d'usinage (b) est suivie d'une étape d'oxydation et de désoxydation (c) permettant de réduire la profondeur P des creusures (3a), la profondeur P étant maintenue à une valeur supérieure ou égale à 100 nm à l'issue de ladite étape (c).
 
15. Procédé selon la revendication 13 ou 14 pour la fabrication d'un moule, caractérisé en ce qu'il comporte après l'étape (b) ou l'étape (c), une étape de dépôt par électroformage d'un alliage métallique sur les flancs usinés (8a, 9a) du moule pour réaliser un autre composant (2).
 




Dessins