Beschreibung     Ansprüche     Zeichnung  

JP2184513A   [0002] 
WO2008098640A2   [0003] 
DE3639202   [0004] 
EP0268756A2   [0005] 
FR2743554A1   [0006] 
US4604274B   [0007] 
US5505913B   [0008] 

Plasmatechnik: Grundlagen und Anwendungen - Eine Einführung   [0035]