[0001] Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern,
mit wenigstens einem Ultraschallschwinger, dessen durch Hilfsmittel künstlich fokussierende
Aktivfläche Aussparungen aufweist und dessen Schallstrahlungsfeld nach Fokusabstand,
Fokusbreite und Öffnungswinkel im Anschluß an den Fokus und Ultraschallfrequenz vorgebbar
sein soll.
[0002] Inder Ultraschalltechnik, insbesondere auf dem elektromedizinischen Gebiet oder auf
dem Gebiet der Werkstoffprüfung, besteht der Wunsch nach optimaler Anpassung des Schallstrahlungsfeldes
des jeweiligen Ultraschallschwingers an die Gegebenheiten. So soll der Fokusabstand
beispielsweise immer optimal an den jeweiligen Abstand des Untersuchungsortes von
der Schwingerfläche einstellbar sein. Die Fokusbreite und der Öffnungswinkel des Schallstrahlungsfeldes
sollen ebenfalls möglichst klein sein, damit die laterale Auflösung optimal wird.
Der Einfluß von Nebenkeulen des Schallstrahlungsfeldes soll möglichst gering sein.
Alle diese Bedingungen sollen schließlich für jeden beliebigen Anwendungszweck, also
z.B. für Ultraschallgeräte mit oder ohne Wasservorlaufstrecke oder sonstiger Ausbildung,
gegeben sein. Bekannte Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern erlauben
bisher nicht eine eindeutig optimale Abstimmung zwischen Fokusabstand, Fokusbreite
und Öffnungswinkel des Schallstrahlungsfeldes, wie dies eigentlich erwünscht ist.
So beschreibt die Zeitschrift "Journal of Acoustical Society of America", Vol. 44,
No. 5, 1968 auf den Seiten 1310 bis 1318, insbesondere jedoch auf der Seite 1312,
ein solches Herstellungsverfahren, bei dem die Einzelwerte nicht separat voneinander
vorgebbar und variierbar sind. Die gemäß dem Verfahren hergestellten Ultraschallschwinger
sind außerdem nur für Dauerschall, nicht jedoch auch für Puls-Echo-Betrieb ausgelegt.
Bei Anwendung im Puls-Echo-Betrieb ergeben sich automatisch und unweigerlich größere
Werte für Fokusabstand und Fokusbreite bzw. auch Öffnungswinkel, was eigentlich unerwünscht
ist. Bei Ultraschallschwingern läßt sich die laterale Auflösung dadurch verbessern,
daß Fokus und Öffnungswinkel des Schallstrahlungsfeldes hinter dem Fokus so klein
wie möglich eingestellt werden. Bei Ultraschallwandlern mit oder ohne Wasservorlaufstrecke
ist bekanntlich ein kleiner Öffnungswinkel durch Vergrößerung der aktiven Schwingerfläche
oder durch Vorgabe eines schwächeren Krümmungsradius der künstlichen Fokussierung
(mechanisch oder elektronisch) des Schwingers erreichbar. Eine vergrößerte aktive
Schwingerfläche oder ein schwächerer Krümmungsradius führen jedoch immer zu einer
Verbreiterung des Schallstrahlungsfeldes im Fokus und dahinter. Das Ergebnis ist eine
Verschlechterung der lateralen Auflösung sowohl im Fokus als auch im dahinterliegenden
Untersuchungsgebiet des Schallfeldes. Wird von diesen Maßnahmen abgesehen, d.h. wird
also die Schwingerfläche verkleinert oder wird stärker künstlich fokussiert, so wird
zwar die laterale Auflösung direkt im Fokus verbessert. Unmittelbar hinter dem Fokus
verschlechtert sich jedoch die laterale Auflösung rapide, da gegenüber vorher der
Öffnungswinkel'jetzt erheblich größer ist. Dies gilt in diesem Sinne auch für die
im Aufsatz "A real-time B-scanner with improved lateral resolution" von C. B. Burckhardt
et al unterbreiteten Vorschläge zur Herstellung von stark fokussierten Schwingern.
So ist beispielsweise der in der Fig. 1 auf der Seite 82 dargestellte sphärisch gekrümmte
Schwinger geometrisch stark fokussiert, so daß sich für verschiedene dB-Keulen nahe
beieinanderliegende Fokusse und damit gute laterale Auflösung in diesem Bereich ergeben.
Hinter diesem Fokusbereich steht jedoch ein sehr großer Öffnungswinkel an, der die
laterale Auflösung sofort wieder rapide verschlechtert. Der Bereich guter lateraler
Auflösung ist damit in unerwünschter Weise auf ein viel zu kleines Untersuchungsgebiet
eingeschränkt. Der in der Fig. 2 auf der Seite 82 des Aufsatzes dargestellte Ultraschallwandler
ist ringförmig aufgebaut, wobei gemäß der Fig. 4 auf der Seite 84 der Ring aus einzelnen
aufeinanderfolgenden Teilelementen besteht. Die Ringform des Schwingers begünstigt
die Ausbildung von Interferenzstrukturen. Dadurch ergibt sich relativ starke Fokussierung
und kleiner Öffnungswinkel und damit auch gute laterale Auflösung. Das verstärkte
Vorhandensein von Interferenzstrukturen bringt jedoch ein Anwachsen des Einflusses
von Nebenkeulen mit sich. -Diese Nebenkeulen führen zu Bildverfälschungen.
[0003] Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, Ultraschallwandler dahingehend'auszubilden,
daß sich bei beliebig vorgebbaren Werten der Fokusbreite und des Fokusabstandes optimale
laterale Auflösung bei geringstmöglichem Einfluß von Nebenkeulen ergibt.
[0004] Die Aufgabe wird mit einem Verfahren gelöst, das erfindungsgemäß durch die folgenden
Schritte gekennzeichnet ist:
a) für die vorgebbaren zwei Fokusgrößen Fokusbreite und Fokusabstand wird in Abhängigkeit
entweder vom Krümmungsradius des Ultraschallschwingers dessen Außenabmessung oder
in Abhängigkeit von der Außenabmessung der Krümmungsradius für zuerst eine der beiden
Fokusgrößen festgelegt;
b) bei der so festgelegten Außenabmessung oder dem so festgelegten Krümmungsradius
wird dann für die andere der beiden vorgebbaren Fokusgrößen die noch nicht bestimmte
Größe Krümmungsradius bzw. Außenabmessung festgelegt;
c) der sich für Außenabmessung und Krümmungsradius gemäß den Schritten a) und b) ergebende
Maximalwert des Öffnungswinkels des Schallstrahlungsfeldes hinter dem Fokus wird schließlich
durch Einbringung einer Aussparung in die Aktivfläche des Ultraschallschwingers solcher
Größe so eingeengt, daß sich optimales Verhältnis zwischen Öffnungswinkel und Nebenkeulen
des Schallstrahlungsfeldes ergibt.
[0005] Ein nach dem Verfahren gemäß der Erfindung hergestellter Ultraschallwandler ist dann
erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß ein gemäß den Schritten a) und b) in der
Außenabmessung und im Krümmungsradius der Fokussierung festgelegtes Schwingerformteil
durch mechanische Ausnehmung (z.B. durchgehendes Loch oder oberflächenseitige Kontaktschichtaussparung)
eines Teiles des Schwingermaterials oder ein zumindest elektrisch in Einzelstrahlflächen
unterteilter Schwinger durch elektrische Abschaltung einzelner Flächenteile in der
Aktivfläche ausgespart ist.
[0006] Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung in Verbindung mit den
Unteransprüchen. Es zeigen
Fig. 1 einen gemäß dem Verfahren nach der Erfindung hergestellten kompakten Ringschwinger
mit mechanischer Fokussierung;
Fig. 2 einen gemäß dem Verfahren nach der Erfindung hergestellten Ringschwinger in
Matrixform zur elektronischen Fokussierung;
Fig. 3 ein praktisches Ausführungsbeispiel für einen gemäß der Erfindung hergestellten
Ringschwinger und Diagramme, die den mit diesem Ringschwinger erreichten Verlauf der
lateralen Auflösung über der Eindringtiefe im Vergleich mit Verläufen von nach herkömmlichen
Verfahren hergestellten Ultraschallschwingern aufzeigen;
Fig. 4 einen Ultraschallschwinger in Form eines Ultraschall-Arrays mit einer Mischform
aus mechanischer und elektrischer Ausnehmung.
[0007] Die Fig. 1 zeigt einen Ringschwinger 1 aus z.B. piezokeramischem Material. Im vorliegenden
Fall weist der Ringschwinger 1 ein durchgehendes Loch 2 als mechanische Ausnehmung
auf. Ebensogut kann anstelle eines durchgehenden Loches eine Aussparung in einer Kontaktschicht
3 vorhanden sein. Der mit der Ausnehmung 2 versehene Ringschwinger 1 ist mit dem Krümmungsradius
R mechanisch gekrümmt. Anstelle dieser mechanischen Krümmung kann selbstverständlich
auch ein Planarschwinger mit elektronischer Krümmung oder eine Mischform aus beidem
gewählt werden. In den beiden letzteren Fällen muß zur Erzeugung der für die elektronische
Krümmung (elektronische Fokussierung) erforderlichen Verzögerungszeiten das kompakte
Wandlerformteil in Einzelsegmente 4 unterteilt sein. Dieser Sachverhalt ist z.B. in
der Fig. 2 angedeutet.
[0008] Ein Schwinger der Fig. 1 bzw. 2 wird nun gemäß der Erfindung wie folgt hergestellt:
Zuerst werden für den jeweils erwünschten Anwendungsfall Fokusbreite FB und Fokusabstand FA in ihren optimalen Werten vorgegeben. Die Fokusbreite FB ist jedoch, wie auch der Fokusabstand FA, eine Funktion vom Krümmungsradius R der Fokussierung und der äußeren Abmessung 2a0 des Schwingers. Damit ergibt sich die Beziehung für die Fokusbreite (bezogen auf
eine bestimmte Anzahl von Schwingungen innerhalb des Erregungs- und/oder Echoimpulses)
zu
[0009] Dasselbe gilt auch für den Fokusabstand F
A mit der Beziehung
[0010] Aus ① ergibt sich durch Umrechnung auf a
O die Beziehung
oder
[0011] Aus ② in Verbindung mit ③ ergibt sich dann
oder aus ② in Verbindung mit ④
[0012] Aus Gründen der Vereinfachung empfiehlt sich die Ermittlung zuerst von ③ in Abhängigkeit
von einem normierten Radius R
N, der wie folgt definiert ist:
[0013] In diesem Falle bestimmen sich bei völliger Frequenzunabhängigkeit automatisch aus
R
N die relative Fokusbrei-
te F
B/a
0 und der normierte
Fokus
abs
tand F
A/ 0 . Somit wird aber auch automatisch das richtige Maß für die Außenabmessung 2a
0 in Abhängigkeit von R
N festgelegt. Aus dem Vergleich des vorgegebenen Fokusabstandes F
A mit dem in Abhängigkeit von R
N bei vorgegebener Betriebsfrequenz erhaltenen Fokusabstand F
A läßt sich dann aber der notwendige Wert R
N festlegen. Damit ist jedoch auch die Außenabmessung 2a
0 festgelegt, so daß sich aus den Größen R
N und 2a
0 jetzt der tatsächliche Krümmungsradius R erhalten läßt. Der sich mit den festgelegten
Werten für Außenabmessung und Krümmungsradius ergebende Maximalwert des Öffnungswinkels
des Schallstrahlungsfeldes hinter dem Fokus kann nun in einfacher Weise durch Abstimmung
der Größe 2a
i der Aussparung in der Aktivfläche des Ultraschallschwingers so eingeengt werden,
daß sich ein der Gerätekonzeption entsprechendes optimales Verhältnis zwischen Öffnungswinkel
und Nebenkeulen des Schallstrahlungsfeldes ergibt.
[0014] Die Fig. 3 zeigt ein praktisches Ausführungsbeispiel für einen Ringschwinger gemäß
der Fig. 1, der z.B. für die Betriebsfrequenz von f = 3,5 MHz einen Außendurchmesser
2a0 = 40 mm und eine innere Ausnehmung mit einem Durchmesser von 2a
. = 13 mm aufweist. Der Krümmungsradius ist mit R = 242 mm bestimmt. Die links daneben
gezeigten Diagramme zeigen von oben nach unten für die -6dB-Keule, die -20dB-Keule
und die -40dB-Keule des Schallstrahlungsfeldes die sich mit diesem Schwinger gemäß
der Erfindung ergebenden Verläufe der lateralen Auflösung La (mm) über der Eindringtiefe
Te (cm) des Ultraschalles im Untersuchungsgebiet. Es ist deutlich zu ersehen, daß
der die Erfindung betreffende Verlauf I der lateralen Auflösung in sämtlichen drei
Diagrammen im interessierenden Eindringtiefenbereich von etwa 0 bis 13 cm deutlich
besser verläuft als die Verläufe II und III solcher Ultraschallwandler, die nach herkömmlichen
Verfahren hergestellt wurden.
[0015] Die Fig. 4 zeigt ein Alternativbeispiel zu den Fig. 1 und 2. Gemäß diesem Alternativbeispiel
kann der Ultraschallschwinger in Form eines Arrays 5 aus einer Vielzahl von nebeneinander
angeordneten Einzelelementen 6 (z.B. zwischen 60 und 160 Elementen)aufgebaut sein.
Bei derartigen Ultraschallschwingern in Array-Form geschieht die zeilenweise Fortführung
des Ultraschallstrahles zum Aufbau eines Ultraschallbildes durch Fortschaltung der
Einzelelemente 6 in Gruppen. Beim Array der Fig. 4 sind derartige Gruppen beispielsweise
mit 7 bezeichnet. Die Festlegung der inaktiven Fläche kann elektronisch oder mechanisch
erfolgen.Im Ausführungsbeispiel der Fig. 4 liegt eine Mischform vor. So ist z.B. jede
fortzuschaltende Gruppe 7 durch elektrische Abschaltung von Einzelelementen innerhalb
der Gruppe mit einer inneren Aussparung 8 versehen. Diese Aussparung 8 verläuft jeweils
quer zur Längsrichtung des Arrays. Eine weitere Aussparung 9, die im vorliegenden
Fall jedoch nicht elektronisch, sondern mechanisch ausgelegt ist, verläuft in Längsrichtung
des Arrays. Die Abmessungen 2a
01, 2a
i1 bzw. 2a
02, 2a
i1 beider Aussparungen 8 bzw. 9 bestimmen sich gemäß Schritt c) des erfindungsgemäßen
Verfahrens. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 4 bestimmt die Gruppe 7 an Einzelelementen
in Verbindung mit der elektrischen Aussparung 8 den Krümmungsradius der Fokussierung
gemäß der Erfindung in der z, x-Ebene des eingezeichneten Koordinatensystems. Die
Fokussierung in der z,y-Ebene ist durch die gezeichnete mechanische Krümmung der Array-Einzelelemente
in Verbindung mit der mechanischen Aussparung 9 gemäß der Erfindung vorbestimmt. Anstelle
der mechanischen Krümmung kann zum Zwecke der Fokussierung selbstverständlich auch
eine elektronische Fokussierung vorgenommen werden. In diesem Falle muß lediglich
das Array in den Einzelelementen matrixartig entsprechend dem Ausführungsbeispiel
der Fig. 2 aufgebaut sein.
1. Verfahren zur Herstellung von Ultraschallwandlern, mit wenigstens einem Ultraschallschwinger,
dessen durch Hilfsmittel künstlich fokussierende Aktivfläche Aussparungen aufweist
und dessen Schallstrahlungsfeld nach Fokusabstand, Fokusbreite und Öffnungswinkel
im Anschluß an den Fokus und Ultraschallfrequenz vorgebbar sein soll, gekennzeichnet
durch die folgenden Schritte:
a) für die vorgebbaren zwei Fokusgrößen Fokusbreite (FB) und Fokusabstand (FA) wird in Abhängigkeit entweder vom;Krümmungsradius (R) des Ultraschallschwingers
(1; 5) dessen Außenabmessung (2a0) oder in Abhängigkeit von der Außenabmessung (2a0) der Krümmungsradius (R) für zuerst eine der beiden Fokusgrößen (z.B. FB) festgelegt;
b) bei der so festgelegten Außenäbmessung oder dem so festgelegten Krümmungsradius
wird dann für die andere der beiden vorgebbaren Fokusgrößen (z.B. FA) die noch nicht bestimmte Größe Krümmungsradius bzw. Außenabmessung festgelegt;
c) der sich für Außenabmessung (2a0) und Krümmungsradius (R) gemäß den Schritten a) und b) ergebende Maximal-. wert des
Öffnungswinkels des Schallstrahlungsfeldes hinter dem Fokus wird schließlich durch
Einbringung einer Aussparung (2; 8, 9) in die Aktivfläche des Ultraschallschwingers
(1; 5) solcher Größe (2ai) so eingeengt, daß sich optimales Verhältnis zwischen Öffnungswinkel und Nebenkeulen
des Schallstrahlungsfeldes ergibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge-kennzeichnet, daß bei Vorgabe einer der beiden
Fokusgrößen die Außenabmessung (2a0) des Ultraschallschwingers (1; 5) in Abhängigkeit vom auf das Verhältnis a02/λ, mit a0 als halbe Außenabmessung des Ultraschallschwingers und X als Ultraschallwellenlänge,
normierten Krümmungsradius (RN = R/ a02 2) festgelegt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei so in Abhängigkeit von
RN festgelegter Außenabmessung (2a0) für die andere vorgegebene Fokusgröße der normierte Krümmungsradius (RN) sowie der tatsächliche Wert 2a0 und aus diesen dann schließlich der wirkliche Krümmungsradius (R) festgelegt wird.
4. Nach einem Verfahren entsprechend den Ansprüchen 1 bis 3 hergestellter Ultraschallwandler,
dadurch gekennzeichnet, daß ein gemäß den Schritten a) und b) in der Außenabmessung
(2a0) und im Krümmungsradius (R) der Fokussierung festgelegtes Schwingerformteil (1; 5)
durch mechanische Ausnehmung (2 oder 9) (z.B. durchgehendes Loch oder oberflächenseitige
Kontaktschichtaussparung) eines Teiles des Schwingermaterials oder ein zumindest elektrisch
in Einzelstrahlflächen (6) unterteilter Schwinger (5) durch elektrische Abschaltung
einzelner Flächenteile (8) in der Aktivfläche ausgespart ist.
5. Ultraschallwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit mechanischer
Ausnehmung (2) versehener Schwinger (1) als Ringschwinger, vorzugsweise in Kreis-
oder Ovalform, ausgebildet ist.
6. Ultraschallwandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringschwinger
(1) in Kompaktform aus einem einzigen Materialteil (Fig.1) gebildet oder durch Aneinanderreihung
von einzelnen Schwingerelementen (Fig. 2) zu einem Ring zusammengesetzt ist.
7. Ultraschallwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein in linearer
oder matrixartiger Aneinanderreihung von Einzelelementen (6) kammförmig aufgebauter
Ultraschallschwinger (5) (Fig.4) in einer Gruppe (8) von Einzelsegmenten innerhalb
der Gesamtzahl aller oder weiterer Gruppen (7) der Einzelsegmente abschaltbar ist,
wobei die ausgeschnittene Gruppe (8) in der Flächenform die Abmessungen der Aussparung
festlegt.
8. Ultraschallwandler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwinger (5)
zusätzlich mechanische Aussparungen (9) in der Aktivfläche aufweist.
9. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß
zur Festlegung des Krümmungsradius (R) der Fokussierung gemäß Schritt b) ein Ultraschallschwinger
mit Aussparung dient, der
a) entweder schon vorab mechanisch mit dem erwünschten Krümmungsradius der Fokussierung
gekrümmt ist (Fig.1),
b) oder planar ausgebildet ist und mit dem Krümmungsradius rein elektronisch fokussiert
ist (Fig. 2),
c)-oder eine Kombination aus mechanischer und elektronischer Fokussierung vorliegt
(z.B. Fig. 4).
10. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß
ein mit der Fokusbreite F
B = f (R, a
0) und dem Fokusabstand F
A = g (R, a
0) vorgebbarer Ultraschallschwinger mit Aussparung in der Aktivfläche wie folgt dimensioniert
ist:
a) die äußere Abmessung beträgt
b) der Krümmungsradius beträgt bei dieser Außenabmessung
c) die Aussparung hat eine innere Abmessung bei diesen Werten von solcher Größe 2ai, bei der das Verhältnis zwischen Öffnungswinkel und Nebenkeulen des Schallstrahlungsfeldes
optimal ist.