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EP 0 000 866 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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20.05.1981 Patentblatt 1981/20 |
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Anmeldetag: 28.06.1978 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)3: H01J 49/42 |
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Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
Process for manufacturing an analysing system for a multipole-mass filter
Procédé de fabrication d'un système analyseur pour filtre de masse multipôles
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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BE FR GB NL SE |
(30) |
Priorität: |
23.08.1977 DE 2737903 25.11.1977 DE 2752674
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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07.03.1979 Patentblatt 1979/05 |
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Anmelder: Bruker Franzen Analytik GmbH |
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D-28277 Bremen (DE) |
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Erfinder: |
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- Franzen, Jochen, Dr.rer.nat.
D-2878 Wildeshausen (DE)
- Weiss, Gerhard, Dipl.-Phys.
D-2801 Stuhr 4, Varrel I (DE)
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(74) |
Vertreter: Goddar, Heinz J., Dr. et al |
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FORRESTER & BOEHMERT
Franz-Joseph-Strasse 38 80801 München 80801 München (DE) |
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem ersten Teil des Patentanspruches 1.
[0002] Das Wirkungsprinzip eines hochpräzisen und formstabilen Analysatorsystems für ein
Multipol-Massenfilter, das dem Fachmann allgemein als Multipol-Massenfilter nach Paul
bekannt ist, ist in der DE-C 9 44 900 beschrieben.
[0003] Ein Multipol besteht überlicherweise aus der Anzahl der Pole entsprechenden elektrisch
leitfähigen Rund- oder Hyperbolstäben; insbesondere besteht also ein Quadrupol aus
vier parallelen, elektrisch leitfähigen Rund- oder Hyperbolstäben. Die Stäbe sind
dabei durch ein oder mehrere, sie außen umfassende, elektrisch isolierende Montageteile
in Form von Ringen oder Käfigen parallel zueinander gehalten, wobei die Stabmitten
im Schnitt quadratisch angeordnet sind. Die Anforderungen an die Parallelität, die
Verwindungsfreiheit, die Gleichheit der Abstände sich diagonal gegenuberliegender
Stäbe und die Rechtwinkeligkeit dieser Diagonalen sind insbesondere für solche Massenfilter,
die in höheren Massenbereichen bei Massen, die größer sind als 500 atomare Masseneinheiten
(m
> 500 u), verwendet werden sollen, außerordentlich hoch.
[0004] Die vom Quadrupol-Filter durchgelassene lonenmasse m hängt nach der Gleichung
(q = const x 0,7) von der Amplitude V und der Kreisfrequenz w der angelegten Hochfrequenzspannung
sowie vom Scheitelabstand der jeweiligen Stäbe 2 r ab. Damit bei einer eingestellten
Durchlaßmasse m = 1.000 u an zwei beliebigen Stellen im Quadrupolfilter die Differenz
der durchgelassenen Masse nicht größer als 0,1 u ist, darf die relative Abweichung
des Scheitelabstands
höchstens 1/20.000 betragen. Dies ergibt bei einem diagonalen Scheitelabstand 2r
o von üblicherweise 8 mm eine Genauigkeitsforderung von 0,4
jum. Dieser Wert wird für zylindrische Stäbe bei einer Zweipunkt-Auflage bereits durch
die natürliche Durchbiegung unter dem Einfluß der Schwerkraft überschritten. Eine
derartige Anordnung eines Multipol-Filters mit Polstäben und getrennten isolierenden
Haltern kann daher die erforderlichen Genauigkeitsbedingungen nur schwer erfüllen.
[0005] Daher wurde in der GB-B-13 67 638 ein Filter beschrieben, das aus einem rohrförmigen,
verwindungsfreien und durchbiegungsarmen Isolator mit leitfähigen Oberflächenbelegungen
besteht, wobei dieses Filter aus einem extrudierten Keramikrohr durch nachfolgendes
Brennen und teilweises Belegen der inneren Oberflächen mit einer leitfähigen Schicht
hergestellt wird. Das Brennen bewirkt jedoch eine Schrumpfung des Rohres von etwa
10% und läßt daher die oben beschriebenen Maßgenauigketis-Anforderungen nicht zu;
daher liegt die Verwendung derartiger Quadrupol-Filter als Restgasanalysatoren nur
im unteren Massenbereich.
[0006] In der DE-B-12 97 360 ist ein Verfahren nach dem ersten Teil des Patentanspruches
1 beschrieben, welches die Herstellung hochpräziser Glasrohre auf einem Formkern mit
anschließender Metallisierung der eingebuchteten inneren Oberflächen zur Verwendung
als Quadrupol-System gestattet. Dabei wird dem erweichungsfähigen Rohrmaterial die
Struktur des Formkerns, speziell eine Quadrupol-Struktur, aufgeprägt, woraufhin durch
anschließende Metallisierung der Einbuchtungen das Massenfilter hergestellt wird.
In der FR-A-22 75 877 ist ein Analysatorsystem für ein Multipol-Massenfilter beschrieben,
bei dem nach dem bekannten KPG-Verfahren ein Träger aus formstabilem Material, insbesondere
Glas, hergestellt wird, der dann geschliffene Polstäbe aufnimmt. Auch hierbei läßt
sich keine hinreichend hohe Präzision des Quadrupolabstandes erzielen.
[0007] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren nach dem ersten Teil des
Patentanspruchs 1 dahingehend zu verbessern, daß eine hochpräzise und äußerst glatte
Oberfläche der Metallschicht unter ausgezeichneter Haftung derselben an dem Rohrmaterial
erreicht wird.
[0008] Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei dem gattungsgemäßen Verfahren durch die im
Kennzeichen des Patentanspruches 1 aufgeführten Merkmale gelöst.
[0009] Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeichnet sich dadurch aus,
daß als Lagen Metallfolien verwendet werden, die in die Nuten des Formkerns eingelegt
werden. Dabei kann insbesondere vorgesehen sein, daß als Rohrmaterial Glas und als
Folienmaterial ein hochduktiles Material verwendet wird. Alternativ hierzu kann auch
vorgesehen sein, daß als Rohrmaterial Glas und als Folienmaterial ein Metall mit weitgehend
gleichem thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das Rohrmaterial verwendet wird.
[0010] Als Folienmaterial eignen sich beispielsweise Gold und Platin. Die Erfindung sieht
gegebenenfalls weiterhin vor, daß die Folienoberfläche vor Einlegen in die Nuten des
Formkerns zur Erleichterung des Verschmelzens mit einem schmelzfähigen Überzug, insbesondere
aus Glas, versehen wird. Hierdurch wird das Verschmelzen der Metallfolien mit dem
Rohrmaterial erleichtert.
[0011] Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann weiterhin vorgesehen sein, daß die Metallfolien
vor dem Einbringen mit sich von der dem Formkern abgewandten Folienfläche forterstreckenden
Vorsprüngen, insbesondfere in Form von umgebogenen Flanschen, Einkerbungen, auf den
Folien aufgelöteten oder aufgeschweißten Rippen oder an die Folien angelöteten Drähten,
versehen werden, die sich beim Verschmelzen von Lagenmaterial und Rohrmaterial in
das weiche Rohrmaterial eingraben.
[0012] Alternativ zu den vorstehend beschriebenen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen
Verfahrens, bei denen Metallfolien als Lagen verwendet werden, kann auch vorgesehen
sein, daß als metallische Komponenten eine Beschichtung mit einer Leitmetall-Zusammensetzung,
insbesondere Leitlack, auf die Innenseite des Rohres aufgebracht und anschließend
getrocknet wird, wobei als Leitmetalle vorzugsweise Gold, Silber oder Kupfer verwendet
werden können.
[0013] Eine wiederum abgewandelte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die metallischen
Komponenten mittels Reduktionsmetallisierung, zum Beispiel von im Tauchverfahren aufgebrachtem
Zinnoxid, hergestellt werden.
[0014] Ein wesentlicher Bestandteil des Erfindungsgedankens liegt also darin, daß beim abschließenden
Formgebungsprozeß des Rohres aus erweichungsfähigem Material gleichzeitig die Metallelektroden
mitgeformt - insbesondere durch Aufliegen der Nuten des Formkerns - und durch das
umgebende Rohrmaterial dort aufgepreßt werden, wodurch sich eine hochpräzise und äußerst
glatte Oberfläche der Metallschicht ergibt. Bei dem gattungsgemäßen Verfahren wird
im Gegensatz hierzu die Metallisierung erst nach Formen des Analysatorrohres auf dem
Formkern durchgeführt, wobei, wie dargelegt, keine ausreichende Genauigkeit gewährleistet
ist.
[0015] Nachstehend sind Wege zur Ausführung der Erfindung anhand der Zeichnung im einzelnen.
Dabei zeigt:
Fig. 1 ein herkömmliches Quadrupolsystem aus vier zylindrischen Stäben, die durch
isolierende Ringe gehalten sind;
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen bei einem Weg zur Ausführung der Erfindung verwendeten
Formkern mit eingeschliffenen Nuten, eingelegten Metallfolien und übergezogenem Glasrohr;
Fig. 3 einen Querschnitt durch den Formkern mit angeschmiegtem Glasrohr und mit ihm
verschmolzenen Folien;
Fig. 4 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr mit aufgeschmolzenen Folien;
Fig. 5 in ähnlicher Darstellung wie bei dem in den Figuren 2 bis 4 gezeigten Weg zur
Aufführung der Erfindung einen Querschnitt durch einen Formkern mit eingeformten Nuten
bei einem abgewandelten Weg zur Ausführung der Erfindung mit eingelegten Folien und
übergezogenem Glasrohr;
Fig. 6 den Querschnitt durch den Formkern von Fig. 5 mit angeschmiegtem Glasrohr und
mit ihm verschmolzenen Folien; und
Fig. 7 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr von Fig. 5 und 6 mit angeschmolzenen
Folien.
[0016] Beim in Fig. 1 dargestellten herkömmlichen Quadrupolsystem werden vier zylindrische
leitende Stäbe, insbesondere aus Metall, durch zwei oder mehr isolierende Ringe gehalten.
Durch mechanisches Justieren ist bestenfalls eine Genauigkeit von etwa 3 bis 4 J.Lm
zu erhalten. Durch die natürliche Schwerkraft, durch Erschütterungen, und beim Aufheizen
des Systems besteht die Gefahr, daß sich die Stäbe verbiegen. Außerdem kann sich das
System verwinden.
[0017] Bei einem Weg zur Ausführung der Erfindung wird entsprechend Fig. 2 ein vorbearbeiteter
Formkern, der im dargestellten Fall aus geschliffenem Spezialstahl und in den halbkreisförmige
Nuten 3 eingeschliffen sind, mit Metallfolien 5, insbesondere Goldfolien, versehen,
indem die Metallfolien 5 in die halbkreisförmigen Nuten 3 eingelegt werden. Anschließend
wird über den mit Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 ein Glasrohr 7 gezogen und
gegebenenfalls verschlossen und evakuiert. Daraufhin wird das mit dem Formkern 1 gefüllte
Glasrohr 7 zum Beispiel in einem Ofen auf eine etwas oberhalb des Transformationspunktes
des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das Glasrohr 7 auf die den Nuten
3 befindlichen Metallfolien 5 legt und mit diesen verschmilzt (Fig. 3). Beim Abkühlen
zieht sich der Formkern 1 stärker zusammen als das geformte Glasrohr 7, so daß der
Formkern 1 leicht aus dem geformten Glasrohr 7 herausziehbar ist.
[0018] In Fig. 4 ist das vollständig hergestellte Analysatorsystem für ein Quadrupol-Massenfilter
als mit Rohreinbuchtungen 9 versehenes Glasrohr 7 dargestellt, wobei im Inneren des
Glasrohres 7 auf die Rohreinbuchtungen 9 die Metallfolien 5 aufgeschmolzen sind.
[0019] Bei dem in den Figuren 5 bis 7 wiedergegebenen, zweiten Weg zur Ausführung der Erfindung
wird entsprechend Fig. 5 ein vorbearbeiteter Formkern 1, beim dargestellten Ausführungsbeispiel
aus geschliffenem Spezialstahl bestehend, in .den halbkreisförmige Nuten 3 eingeschliffen
sind, mit Metallfolien 5 versehen, indem diese in die halbkreisförmigen Nuten 2 eingelegt
werden. Die Metallfolien 5 sind auf der dem Formkern 1 abgewandten Seite mit sich
längs erstreckenden, senkrecht zur Metalloberfläche stehenden Flanschen 6 versehen.
Über den mit den Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 wird ein Glasrohr 7 gezogen
und gegebenenfalls verschlossen und evakuiert. Anschließend wird das mit dem Formkern
1 gefüllte Glasrohr 7 zum Beispiel in einem Ofen, auf eine etwas oberhalb des Transformationspunktes
des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das Glasrohr 7 auf die in den Nuten
3 befindlichen Metallfolien legt. Dabei graben sich die Flansche 6 in das weiche Material
des Glasrohres ein (Fig. 6). Beim Abkühlen zieht sich der Formkern 1 stärker zusammen
als das geformte Glasrohr 7, so daß der Formkern 1 leicht aus dem geformten Glasrohr
7 herausziehbar ist.
[0020] Dabei bleiben die Metallfolien 5 fest mit über den Nuten 3 des Formkerns 1 gebildeten
Rohreinbuchtungen 9 des Glasrohrs 7 verbunden, wobei der Halt insbesondere durch die
in das Glasrohr 7 eingeschmolzenen Flansche 6 der Metallfolien 5 verstärkt wird.
[0021] In Fig. 7 ist das vollständig hergestellte Analysatorsystem für ein Quadrupol-Massenfilter
als mit den Rohreinbuchtungen 9 versehenes Glasrohr dargestellt, wobei im Inneren
des Glasrohres 7 auf die Rohreinbuchtungen 9 die Metallfolien 5 aufgebracht und insbesondere
mittels ihrer Flansche 6 mit dem Rohrmaterial verschmolzen sind.
[0022] Die selben Verfahrensschritte werden durchgeführt, wenn statt der Metallfolien vor
Einbringen des Formkerns in das Glasrohr an den Stellen der zu formenden Rohreinbuchtungen
in bekannter Weise Glanzmetallpaste, Leitlack oder eine Leitschicht aufgebracht und
anschließend in bekannter Weise metallisiert wird, wobei gegebenenfalls bei einer
Leitschicht noch eine zusätzliche Metallschicht in herkömmlicher Weise aufgalvanisiert
wird.
[0023] Der Formkern 1 wird dann in das mit den Metallbeschichtungen versehene Rohr 7 derart
eingebracht, daß die Metallbeschichtungen sich über den Nuten 3 des Formkerns befinden
und nach den oben beschriebenen Verfahrensschritten im Inneren des Glasrohres 7 auf
den gebildeten Rohreinbuchtungen 9 aufliegen.
1. Verfahren zum Herstellen eines hochpräzisen und formstabilen Analysatorsystems
für ein Multipol-Massenfilter, bei dem ein Rohr (7) aus elektrisch schlecht leitendem,
thermisch erweichungsfähigem Material über einen maßpräzisen Formkern (1) mit höherem
Ausdehnungskoeffizienten als das Rohr und zueinander parallelen Nuten (3) gezogen
wird, woraufhin das Rohr evakuiert und gemeinsam mit dem Formkern derart erhitzt wird,
daß sich das Rohrmaterial den Nuten des Formkerns anschmiegt und anschießend nach
verfestigender Abkühlung mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen vom Formkern abgezogen
wird und bei dem auf die Innenseite des Rohres im Bereich der Nuten Lagen aus elektrisch
gut leitfähigen, metallischen Komponenten (5) aufgebracht werden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lagen vor dem Erhitzen des Rohres zwischen Formkern und Rohr eingebracht werden,
und daß das Lagenmaterial beim Erweichen und Anschmiegen des Rohres an die Nuten mit
dem Rohrmaterial verschmolzen und durch das umgebende Rohrmaterial verformt und gegen
die Nuten gepreßt wird, so daß beim Abziehen des so geformten verfestigten Rohres
die mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen verschmolzenen Lagen mit vom Formkern abziehbar
sind.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Lagen Metallfolien verwendet
werden, die in die Nuten des Formkerns eingelegt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Rohrmaterial Glas und
als Folienmaterial ein hochduktiles Metall verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Rohrmaterial glas und
als Folienmaterial ein Metall mit weitgehend gleichem thermischen Ausdehnungskoeffizienten
wie das Rohrmaterial verwendet wird.
5. Verfahren npch einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Folienoberfläche
vor Eirtiegen in die Nuten des Formkerns zur Erleichterung des Verschmelzens mit einem
schmelzfähigen Überzug, insbesondere aus Glas, versehen wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallfolien
vor dem Einbringen mit sich von der dem Formkern abgewandten Folienfläche forterstreckenden
Vorsprüngen, insbesondere in Form von umgebogenen Flanschen, Einkerbungen, auf den
Folien aufgelöteten oder auf- geschweißten Rippen oder an die Folien angelöteten Drähten,
versehen werden, die sich beim Verschmelzen von Lagenmaterial und Rohrmaterial in
das weiche Rohrmaterial eingraben.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als metallische Komponenten
eine Beschichtung aus einer metallhaltigen Paste, insbesondere aus Gianzgold oder
aus Glanzsilber, auf die Innenfläche des Rohres aufgebracht wird, die beim Erhitzen
des Rohres in Metall umgewandelt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als metallische Komponenten
eine Beschichtung mit einer Leitmetall-Zusammensetzung, insbesondere Leitlack, auf
die Innenseite des Rohres aufgebracht und aschließend getrocknet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Leitmetalle Gold, Silber
oder Kupfer verwendet werden.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die metallischen Komponenten
mittels Reduktionsmetallisierung, zum Beispiel von im Tauchverfahren aufgebrachtem
Zinnoxid, hergestellt werden.
1. A method of producing a high-precision deformation-resistant analyzer system for
a multipole mass filter, in which a tube (7) of thermally softenable material which
is a poor electrical conductor is drawn over a forming core (1) formed with parallel
grooves (3), said core being of accurate dimensions and having a higher coefficient
of expansion than the tube, whereupon the tube is evacuated and so heated together
with the core that the tube material adjusts to the grooves in the core and after
solidifying as a result of cooling the tube together with the indentations impressed
therein is removed from the core, layers of metallic components (5) which are good
electrical conductors being applied to the inside of the tube in the region of grooves,
characterised in that the layers are introduced between the core and the tube before
the latter is heated and on the softening and adjustment of the tube to the grooves
the layer material fuses with the tube material and undergoes deformation and is pressed
against the tube by the surrounding tube material so that when the resulting solidified
tube is removed the layers fused to ,the impressed indentations are also removable
from the core.
2. A method according to claim 1, characterised in that the layers used are metal
foils placed in the core grooves.
3. A method according to claim 2, characterised in that the tube material used is
glass and the foil material used is a highly ductile metal.
4. A method according to claim 2, characterised in that the tube material used is
glass and the foil material used is a metal having substantially the same coefficient
of thermal expansion as the tube material.
5. A method according to any one of claims 2 to 4, characterised in that the surface
of the foil is provided with a fusible coating, more particularly of glass, before
the foil is placed in the core grooves, in order to facilitate the fusing operation.
6. A method according to any one of claims 2 to 4, characterised in that before they
are introduced the metal foils are provided with projections extending from the surface
remote from the core, said projections being more particularly in the form of bent-over
flanges, notches, ribs soldered or welded to the foils, or wires soldered thereto,
said projections or the like digging into the soft tube material when the layer material
and tube material fuse together.
7. A method according to claim 1, characterised in that the metallic components used
comprise a coating of a metal-containing paste, more particularly in bright-finish
gold or silver paste, which is applied to the inner surface of the tube and which
is converted to metal on heating thereof.
8. A method according to claim 1, characterised in that the metallic components used
comprise a coating consisting of a conductive metal composition, more particularly
a conductive varnish, which is applied to the inside of the tube and then dried.
9. A method according to claim 8, characterised in that gold, silver or copper are
used as conductive metals.
10. A method according to claim 1, characterised in that the metallic components are
produced by reduction metallization, e.g. of tin oxide applied by dipping.
1. Procédé de fabrication d'un système analyseur de haute précision et de forme stable
pour filtre de masse multipolaire, dans lequel un tube (7) en matière mauvaise conductrice
de l'électricité et se ramollissant à la chaleur est mis autour d'un noyau (1) de
cotes précises, ayant un plus grand coefficient de dilatation thermique que le tube
et pourvu de gorges parallèles (3), après quoi le tube est mis sous vide et chauffé"
avec le noyau de façon que la matière du tube épouse les gorges du noyau puis, après
refroidissement produisant la solidification, est séparé du noyau, pourvu de concavités,
et dans lequel des couches d'éléments métalliques (5) bons conducteurs de l'électricité
sont appliquées sur la face intérieure du tube dans la zone des gorges, caractérisé
par le fait que les couches (5) sont placées entre le noyau (1) et le tube (7) avant
le chauffage de ce dernier et que la matière des couches s'unit à celle du tube quan
ce dernier se ramollit et s'applique au fond des gorges (3) et est déformée par la
matière du tube qui l'entoure et serrée contre le fond des gorges, de sorte qu'à l'enlèvement
du tube ainsi façonné solidifié, les couches unies aux concavités formées peuvent
être séparées du noyau avec le tube.
2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on utilise, comme couches, des feuilles
métalliques qui sont placées dans les gorges du noyau.
3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la matière du tube est du verre et
la matière des feuilles un métal de haute ductilité.
4. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la matière du tube est du verre et
celle des feuilles un métal ayant un coefficient de dilatation thermique semblable
à celui de la matière du tube.
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel, avant la
mise des feuilles dans les gorges du noyau, la surface des feuilles, pour que l'union
soit plus facile, est pourvue d'un revêtement fusible en particulier en verre.
6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel les feuilles
métalliques, avant leur mise en place, sont pourvues de saillies partant de leur face
opposée au noyau, en particulier d'ailes rabattues, d'entailles, de nervures ou de
fils soudés à elles, lesquelles saillies s'enfoncent dans la matière molle du tube
lors de l'union de celle-ci et de la matière des couches.
7. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on applique, comme éléments métalliques,
sur la face intérieure du tube, un revêtement constitué d'une pâte contenant du métal,
en particulier d'or ou d'argent brillant, qui se transforme en métal lors du chauffage
du tube.
8. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on applique comme éléments métalliques,
sur la face intérieure du tube, un revêtement de composition à base de métal conducteur,
en particulier de vernis conducteur, qui est ensuite séché.
9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel on utilise comme métal conducteur
de l'or, de l'argent ou du cuivre.
10. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les éléments métalliques sont produits
par métallisation par réduction, par exemple d'oxyde d'étain appliqué au trempé.