[0001] Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik
und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind
[0002] Die Erfindung bezieht sich auf eine Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der
eine Beobachtungsoptik und eine Laserlichtoptik sowie eine Ionenoptik auf derselben
Seite der Probe angeordnet sind. Unter "Festkörper
proben" sollen. absorbierende, transparente, leitende oder nichtleitende Proben verstanden
werden. Auch der Ausdruck "Bulkproben" hat sich durchgesetzt.
[0003] Lasermikrosonden erlauben eine Analyse von Probenbereichen in der Größenordnung von
wenigen µm. Es ist deshalb erstrebenswert, die Probe mit hoher örtlicher Auflösung
beobachten und anregen zu können. Außerdem sollte die Lasermikrosonde eine möglichst
hohe absolute und relative Nachweisempfindlichkeit haben und entweder nahezu zerstörungsfrei
arbeiten oder Schichtanalysen mit großer Tiefenauflösung erlauben. Flugzeitmassenspektrometer
haben sich in dieser Hinsicht bei Lasermikrosonden als vorteilhaft erwiesen, da sie
empfindlich sind und extrem schnell Informationen über große Massenbereiche liefern.
[0004] Aus den beschriebenen Gründen besteht bei Lasermikrosonden generell das Problem der
optimalen Zuordnung der einzelnen Bauteile des Gerätes zur Probe. Um die Probe mit
hoher Auflösung sowohl beobachten als auch durch Laserlichtimpulse anregen zu können,
müssen die jeweiligen Objektive möglichst nahe bei der Probe angeordnet sein. Diese
Forderung gilt wegen der Forderung nach hoher Empfindlichkeit auch für die Bauteile,
die die Eintrittsöffnung eines Massenanalysators bilden oder dieser vorgelagert sind
(Ionenoptik, Beschleunigungselektrode oder dgl.). Schließlich ist es wünschenswert,
wenn die Achsen aller dieser Geräteteile jeweils senkrecht auf der Probenoberfläche
stehen.
[0005] Die gleichzeitige Erfüllung sämtlicher Forderungen ist bei der Untersuchung von Bulkproben
nicht möglich. Bei Proben dieser Art muß von ein- und derselben Seite aus beobachtet
und angeregt werden; außerdem muß von der gleichen Seite aus das Absaugen der durch
die Anregung entstandenen Ionen in Richtung Massenanalysator erfolgen. Der Entwickler
von Lasermikrosonden ist deshalb gezwungen, bei der Zuordnung der einzelnen.Geräteteile
zum Probenort Kompromisse einzugehen.
[0006] Aus J.Anal.Chem. USSR 29,15/16(1974) ist eine Auflicht-Lasermikrosonde mit schräger
Beobachtung und schräger Anregung der ProBe durdh separate Objektive sowie mit senkrechter
Absaugung der Ionen bekannt. Diese Anordnung setzt relativ langbrennweitige Fokussierungen
voraus, was insbesondere für die Beobachtung der Probe eine geringe laterale und axiale
Auflösung bedeutet. Auflösungen von weniger als 1 µm, wie sie z. B. bei der Lasermikroanalyse
dünner Proben bekannt sind, können damit bei weitem nicht erzielt werden. Bei der
Analyse dünner Proben besteht nämlic der Vorteil, daß das sowohl der Beobachtung als
auch der Fokussierung der Laserlichtimpulse dienende Objektiv und der Massenanalysator
auf unterschiedlichen Seiten der Probe angeordnet werden können (vgl. DE-PS 21 41
387 und DE-OS 27 34 918).
[0007] Bei einer aus der DE-OS 29 22 128 vorbekannten Lasermikrosonde dieser Art ist unmittelbar
in Front der Probe ein Objektiv vorgesehen, das sowohl der Beleuchtung und Beobachtung
der Probe als auch der Fokussierung des Laserlichtes auf die Probe dient. Diese Anordnung
hat zwar den Vorteil, daß das der Beobachtung und Anregung der Probe dienende Objektiv
näher bei der Probe angeordnet sein kann als bei schräger Beobachtung und Anregung
durch separate Objektive. Nachteilig ist aber, daß die durch den Laserbeschuß entstehenden
und zu analysierenden Ionen entweder "um die Probe herum" oder "um das Objektiv herum"
auf die Eintrittsöffnung eines Massenanalysators umgelenkt werden müssen. Das geschieht
beim Gegenstand der DE-OS 29 22 128 mit Hilfe eines Energiefilters vom elektrostatischen
Spiegeltyp mit Zylindergeometrie, mit dem die unter verschiedenen Winkeln aus der
Probe austretenden Ionen auf den Eingang des Massenanalysators fokussiert werden.
Bei einer solchen Umlenkung treten für Ionen gleicher Masse, die aus der Probenoberfläche
unter verschiedenen Winkeln austreten, erhebliche Laufzeitunterschiede auf. Die Verwendung
eines Flugzeitmassenspektrometers als Massenanalysator ist deshalb bei einer Einrichtung
dieser Art unzweckmäßig, da aufgrund der bereits beim Eintritt in das Flugzeitrohr
vorhandenen Laufzeitunterschiede ein definitiver Startzeitpunkt nicht existiert, was
für die Flugzeitmassenspektrometrie eine schlechte Auflösung zur Folge hat. Außerdem
ist bekannt (vgl. "A coaxial combined electrostatic objective and anode lens for microprobe
mass analysers", Vacuum, Volume 22, No 11, Seiten 619 ff), daß es schwierig ist, mit
derartigen elektrostatischen Umlenksystemen die bei Lasermikrosonden erwünschten Genauigkeiten
zu erzielen. Schließlich muß wegen der Ionenbahnen ein Mindestabstand zwischen Probe
und Objektiv eingehalten werden, so daß die erzielbare Auflösung bei der Beobachtung
der Probe nicht optimal gut. ist.
[0008] Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lasermikrosonde der eingangs
genannten Art zu schaffen, die bei Anwendung der Flugzeitmassenspektroskopie den besten
Kompromiß der Zuordnung der einzelnen Bauteile zur Probenhalterung bzw. zur Probe
darstellt.
[0009] Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Probenhalterung einerseits
und zumindest die Ionenoptik sowie die Beobachtungsoptik andererseits derart relativ
zueinander bewegbar sind, daß in einer ersten Position (Beobachtungsposition) die
Beobachtungsoptik und in einer zweiten Position (Meßposition) die Laserlichtoptik
sowie die Ionenoptik der Probe derart zugeordnet sind, daß ein in der Beobachtungsposition
mittels der Beobachtungsoptik ausgesuchter Probenbereich in der Meßposition im Fokus
der Laserlichtoptik liegt. Der Vorteil einer solchen Anordnung liegt darin, daß jedes
der Systeme - Probenbeobachtung, Laserfokussierungseinrichtung und Ionenabsaugung
- für sich allein justierbar und optimierbar sind. In der Beobachtungsposition kann
eine optimale Zuordnung des Beobachtungs- objekti
vszur Probe (in unmittelbarer Nähe und senkrecht zur Probenoberfläche) gewählt werden.
Die ionenoptischen Bauteile, die in der Meßposition möglichst nahe bei der Probe angeordnet
sein müssen, stören dabei nicht. In der Meßposition können für das Laserlichtobjektiv
und für die dem Absaugen der Ionen dienenden Elektroden optimale Zuordnungen-gewählt
werden.
[0010] In der
Meßposition steht zweckmäßigerweise die Achse der Ionenoptik senkrecht auf der Probenoberfläche,
während die Achse des Laserobjektivs mit der Probenoberfläche einen Winkel kleiner
90 bildet, wobei sich die beiden Achsen auf der Probenoberfläche schneiden. In dieser
Position ergibt sich die einzige Abweichung von den eingangs genannten "Ideal"-Forderungen,
nämlich daß das Laserobjektiv und die Eintrittsöffnung des Massenanalysators nicht
beliebig nahe an die Probenoberfläche herangebracht werden können. Von allen anderen
Abweichungen stellt diese diejenige mit den geringsten nachteiligen Folgen dar. Das
Fokussieren eines Laserstrahls auf eine schräge Oberfläche ist auch bei etwas längerer
Brennweite mit hoher Auflösung möglich, insbesondere dann, wenn auf im UV-Bereich
liegende Wellenlängen übergegangen wird. Demgegenüber würde die schräge Anordnung
der Ionenoptik wegen der auftretenden Laufzeitunterschiede Verschlechterungen der
Meßergebnisse zur Folge haben. Beim Ionennachweis würde sich zudem ein unerwünschtes
Selektieren erzeugter Ionen nach Anfangsenergie und/oder Anfangsimpuls ergeben. Dies
mindert die Nachweisempfindlichkeit und kann zur Verfälschung von Meßergebnissen führen.
Eine schräge Anordnung des Beobachtungsobjektivs würde nicht nur eine Auflösungsverschlechterung,
sondern auch ein teilweise unscharfes Gesichtsfeld bedeuten. Gerade die Beobachtung
der Probe ist aber bei der Lasermikroanalyse von besonderer Bedeutung, da vielfach
die mikroskopische Untersuchung der bei der Laseranregung entstehenden Krater, insbesondere
der Kraterwände, von Interesse ist. Da für das Laserlicht und für die Beobachtung
unterschiedliche Objektive vorhanden sind, können diese den jeweils benutzten Wellenlängen
in optimaler Weise angepaßt werden.
[0011] Zweckmäßigerweise sind zusätzlich Mittel zur Beobachtung der Probe in der Meßposition
durch das Laserobjektiv vorhanden. Diese Beobachtung ist zwar nur mit geringer Auflösung
und mit teilweise unscharfem Bild möglich, erlaubt aber einerseits eine schnelle Analysenfolge,
wenn es auf eine sehr genaue Zuordnung von Analysenort und Probenstruktur nicht ankommt,
und verschafft andererseits direkten Zugang zu weiteren analytischen Informationen,
wie Lichtemission oder Fluoreszenzemission des angeregten Probenvolumens.
[0012] Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren
1 bis 6 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen:
Figuren 1 und 2 schematisch die wensentlichen Bauteile einer Lasermikrosonde nach
der Erfindung in der Beobachtungsposition bzw. in der Meßposition,
Figuren 3 und 4 eine Lasermikrosonde nach der Erfindung mit drehbar gehalterter Probe
und
Figuren 5 und 6 mechanische Einzelteile eines translatorisch verschiebbaren Schlittens.
[0013] In den Figuren 1 und 2 sind die Probe mit 1, die Probenhalterung mit 2, das Beobachtungsobjektiv
mit 3, das Laserobjektiv mit 4 und die Achsen dieser Objektive mit 5 und 6 bezeichnet.
Die im Flugzeitrohr 7 mit dem nachgeordneten Ionendetektor 8 vorgelagerte Ionenoptik
9 wird von Rohrlinsen gebildet und umfaßt drei Rohrabschnitte 11, 12 und 13 auf einer
gemeinsamen Achse 14. Die Probenhalterung ist in x-, y- und z-Richtung justierbar
(schematisch dargestellt durch das Koordinatenkreuz 10).
[0014] In Fig. 1 ist die Beobachtungsposition dargestellt. Das Beobachtungsobjektiv 3 hat
eine optimale Zuordnung zur Probe 1, d. h., es befindet sich sehr nahe bei der Probe
1, und seine Achse 5 steht senkrecht auf der Probenoberfläche. Das zur Beleuchtung
der Probe notwendige Licht wird von der Lampe 15 erzeugt und mit Hilfe des teildurchlässigen
Spiegels 16 in den Beobachtungsweg eingespiegelt. Das von der Probe 1 ausgehende Licht
wird mit Hilfe des Spiegels 17 in Richtung (Pfeil 18) eines nicht dargestellten Mikroskoptubus
gelenkt. Durch Einschalten geeigneter (nicht dargestellter) Blenden kann die Probenbeobachtung
im Hell- und Dunkelfeld erfolgen. In dieser Position stellt die Achse 5 des Beobachtungsobjektivs
3 eine Verlängerung der Achse 19 des Flugzeitrohres 7 dar.
[0015] Die Objektive 3 und 4, die Spiegel 16 und 17 sowie die Ionenoptik 9 sind auf einem
in den schematischen Figuren 1 und 2 nicht dargestellten Schlitten gehaltert und entsprechend
dem Doppelpfeil 21 seitlich verschiebbar.
[0016] Fig. 2 zeigt die Meßposition, in der die Achse 14 der Ionenoptik 9 eine Verlängerung
der Achse 19 des Flugzeitrohres 7 darstellt. Gleichzeitig ist das Laserobjektiv 4
der Probe 1 zugeordnet, d. h., seine Achse 6 schneidet sich mit der Achse 14 der Ionenoptik
9 auf der Oberfläche der Probe 1. Der Anregung der Probe 1 mitLaserlichtimpulsen dient
der Pulslaser 22, dessen Licht mit Hilfe des Spiegels 23 in die Achse 6 des Objektivs
4 umgelenkt wird. Die durch die Anregung entstehenden Ionen werden von der ersten
Elektrode 11 der Ionenoptik 9 in Richtung Flugzeitrohr 7 abgesaugt. Da die Achse 14
der Ionenoptik 9 senkrecht (Winkel α) auf der Probenoberfläche steht, ist der Flugzeitmassenspektrometer-Betrieb
in optimaler Weise möglich. Die Achse 6 des Laserobjektivs 4 bildet mi der Probenoberfläche
einen Winkel? , der kleiner 90° ist. Bei mechanisch günstigen Anordnungen kann dieser
Winkel 45° bis 70
0 betragen, so daß selbst die mit schrägem Laserlichteinfall verbundenen Nachteile
nur wenig in Erscheinung treten. Mit 20 und 30 sind noch optische Einrichtungen (teildurchlässige
Platten, Lichtquelle Beobachtungsoptik) bezeichnet, mittels deren eine Beobachtung
der Probe 1 durch das Laserobjektiv 4 in der Meßposition möglich ist.
[0017] Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem im Gegensatz zu den Figuren 1 und 2
die Probenhalterung 2 bewegbar, d. h. drehbar ausgebildet ist, während die übrigen
Bauteile fest angeordnet sind. Dargestellt ist die Meßposition. Die Probenhalterung
ist als Teller ausgebildet und um die Achse 24 drehbar. In der Beobachtungsposition
nimmt die Probe die gestrichelt dargestellte und mit 1' bezeichnete Stellung ein.
Die exakte Positionierung der Probe in ihren beiden Positionen kann mit Hilfe von
Anschlägen 25 (Fig. 4) realisiert werden. Darüber hinaus besteht die Möglichkeit,
die Vorrichtung zur Drehung und Fixierung der Probe nach Art eines Mikroskoprevolvers
aufzubauen. Es ist bekannt, daß die Achsen verschiedener, drehbar angeordneter Objektive
eines Mikroskops mit einer Genauigkeit von 1 um reproduzierbar ineinander übergeführt
werden können.
[0018] Die Figuren 5 und 6 zeigen ein Ausführungsbeispiel für einen Schlitten 26 und seiner
Aufhängung 27. Diese umfaßt ein U-förmiges Bauteil 28 mit Führungsstangen 29, denen
entsprechende, den Schlitten 26 durchsetzende Hülsen 31 und 32 zugeordnet sind. Mittels
der Zylinder-Kolben-Einrichtung 33 und der Zugstange 34 ist der Schlitten 26 zwischen
zwei Endstellungen hin- und herbewegbar (Doppelpfeil 21). Der Angriffspunkt der Zugstange
34 am Schlitten 26 ist nur in Fig. 4 dargestellt und mit 35 bezeichnet. Das gesamte
System ist am Flansch 36 montiert.
[0019] Der Übersichtlichkeit wegen ist nur ein Teil der in den Figuren 1 und 2 schematisch
dargestellten Bauteile, die auf dem Schlitten angeordnet sind und mit diesem der Probe
1 jeweils zugeordnet werden können, eingezeichnet. Fig. 5 zeigt die Beobachtungsposition,
in der das Beobachtungsobjektiv 3 mit seiner Achse 5 der Probe 1 zugeordnet ist. Von
unten (Pfeil 37) erfolgt die Zuführung des der Beleuchtung der Probe dienenden Lichts.
Der Spiegel 16 ist nicht gesondert dargestellt. Das von der Probe 1 reflektierte Licht
wird mehrfach innerhalb des Schlittens umgelenkt und dem nicht dargestellten Mikroskoptubus
(Pfeil 18) zugeführt. Dazu sind entsprechende Bohrungen und Spiegel im Schlittenblock
26 untergebracht, auf deren Darstellung jedoch verzichtet wurde. Der Lichtweg wurde
lediglich strichpunktiert eingezeichnet.
[0020] Die Meßposition wird dadurch erreicht, daß der Schlitten 26 entsprechend dem Doppelpfeil
21 verschoben wird. In dieser Position schneiden sich die Achsen 6 und 14 des Laserobjektivs
4 bzw. der Ionenoptik 9 im Bereich der diesen Bauteilen zugewandten Oberfläche der
ortsfesten Probe 1. Die Zuführung des Laserlichts erfolgt ebenfalls über mehrere Bohrungen
im Schlitten 26 mit entsprechenden Spiegeln. Nur der Spiegel 23 ist dargestellt; ansonsten
ist der Weg des Laserlichts ebenfalls lediglich strichpunktiert eingezeichnet und
mit dem Pfeil 38 versehen. Wie zu Fig. 2 erwähnt und darin schematisch dargestellt,
können zusätzlich optische Einrichtungen vorgesehen sein, die eine Beobachtung der
Prcbe 1 in der Meßposition durch das Laserobjektiv 4 ermöglichen.
[0021] Das Justieren des Schlittens 26 in seinen beiden Endstellungen ist von besonderer
Bedeutung, da die Achsen 5 und 14 jeweils ineinander überzuführen sind. Seitlich am
Schlitten 26 sind deshalb Platten 41 und 42 befestigt, die unterschiedlich geformte
Anschlagflächenbereiche 43, 44 und 45 aufweisen (Fig. 4). Diesen Anschlagflächen sind
Gewindestifte 46 zugeordnet, deren Gegengewinde sich in den Schenkeln des U-förmigen
Bauteils 28 befinden (Fig. 3). Von den drei Anschlagflächen 43, 44 und 45 hat die
Anschlagfläche 43 die Form einer Konusbohrung und die Anschlagfläche 44 die Form eines
Konusschlitzes. Die Anschlagfläche 45 ist eben gestaltet. Die Gewindestifte 46 haben
im Bereich ihres Anschlags 47 die Form einer Kugel. Sämtliche Anschlagflächen sind
gehärtet. Infolge der beschriebenen Gestaltung der Anschlagflächen wird eine besonders
genaue Justierungsmöglichkeit und vor allem eine exakte Reproduzierbarkeit erreicht,
so daß das Überführen der beiden Achsen 5 (des Beobachtungsobjektivs) und 14 (der
Ionenoptik) mit einer lateralen Genauigkeit von <1 möglich ist.
[0022] Beim Arbeiten mit einem der beschriebenen Ausführungsbeispiele wird zunächst in der
Beobachtungsposition mit Hilfe der Beobachtungsoptik 3 der gewünschte Analysenort
durch Justieren der Probe in x-, y- und z-Richtung ausgesucht. Die Position der Beobachtungsoptik
ist durch andere Bauteile nicht beeinträchtigt, so daß eine optimale Darstellung des
Analysenortes über das Beobachtungsobjektiv möglich ist. Nach der Relativbewegung
in die Meßposition ist gewährleistet, daß der Laserstrahl mit der geforderten lateralen
und axialen Genauigkeit auf den gewünschten Analy
senort fokussiert ist und auch die ionenoptischen Komponenten auf diesen Ort ausgerichtet
sind. Das Beobachtungsobjektiv stört dabei nicht, da es sich in der Meßposition nicht
mehr in der Nähe der Probe befindet. Insgesamt lassen sich Auflösungen und Bildqualitäten
erreichen, wie sie z. B. in der Metallauflichtmikroskopie-üblich sind.
[0023] Bei dem in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Laserobjektiv
4 mit den übrigen Bauteilen verschiebbar. Wenn das schräg zur Probenoberfläche angeordnete
Laserobjektiv 4 in der Beobachtungsposition nicht stört, dann kann auf die Verschiebbarkeit
des Laserobjektivs verzichtet werden. Es kann z. B. derart fest angeordnet sein daß
es der - bis auf die Justiermöglichkeit - festen Probe ständig zugeordnet ist. An
dieser Gestaltungsmöglichkeit ist vorteilhaft, daß auf eine unbedingt exakte Positionierung
der allein mit der Beobachtungsoptik verschiebbaren Ionenoptik in der Meßposition
verzichtet werden kann, da eine derart genaue Zuordnung der Eintrittsöffnung der Ionenoptik
zum Analysenort nicht erforderlich ist.
1. Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik
und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind, dadurch
gekennzeichnet , daß die Probenhalterung (2) mit der Probe (1) einerseits und zumindest
die Ionenoptik (9) sowie die Beobachtungsoptik (3) andererseits derart relativ zueinander
bewegbar sind, daß in einer ersten Position (Beobachtungsposition) die Beobachtungsoptik
(3) und in einer zweiten Position (Meßposition) die Laserlichtoptik (4) sowie die
Ionenoptik (9) der Probe (1) derart zugeordnet sind, daß ein in der Beobachtungsposition
mittels der Beobachtungsoptik ausgesuchter Probenbereich in der Meßposition im Fokus
der Laserlichtoptik liegt.
2. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß in der Meßposition
die Achse (14) der Ionenoptik (9) senkrecht auf der Oberfläche der Probe (1) steht,
daß die Achse (6) der Laserlichtoptik (4) mit der Probenoberfläche einen Winkel β<90°
bildet und daß sich die beiden Achsen auf der Probenoberfläche schneiden.
3. Lasermikrosonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß zusätzlich
Mittel (20, 30) zur Beobachtung der Probe (1) in der Meßposition vorhanden sind.
4. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativbewegung
eine Drehbewegung ist.
5. Lasermikrosonde nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Probe (1) auf
einem drehbaren Probenhalter (2) angeordnet ist.
6. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Relativbewegung
eine translatorische Bewegung ist.
7. Lasermikrosonde nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß ein in einem U-förmigen
Bauteil (28) mit Führungsstangen (29) gehalterter Schlitten (26) die Objektive (3,
4) sowie die Ionenoptik (9) trägt.
8. Lasermikrosonde nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß justierbare Anschläge
auf beiden Seiten des Schlittens (26) vorgesehen sind.
9. Lasermikrosonde nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Anschläge aus
jeweils einer am Schlitten (26) befestigten Anschlagplatte (42, 43) und jeweils drei
in den Schenkeln des U-förmigen Bauteils (28) angeordneten Gewindestiften (46) bestehen.
10. Lasermikrosonde nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , daß den jeweils drei
Gewindestiften (46) drei unterschiedlich geformte Anschlagflächenbereiche (43, 44,
45) auf der Anschlagplatte (42 bzw. 43) zugeordnet sind.
11. Lasermikrosonde nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß eine Anschlagfläche
(43) die Form einer Konusbohrung und eine zweite Anschlagfläche (44) die Form eines
Konusschlitzes hat, während die dritte Anschlagfläche (45) ' eben ausgebildet ist.
12. Lasermikrosonde nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet , daß
sämtliche Anschlagflächen gehärtet sind.
13. Lasermikrosonde nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet , daß
weitere Licht- und optische Komponenten (z. B. Spiegel 16) auf dem bewegten Schlitten
(26) angeordnet sind.
14. Lasermikrosonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet
, daß die optischen Strahlengänge durch geometrische Führung und geeignete Zwischenabbildungen
so angeordnet sind, daß der Analysenort in der Beobachtungsposition durch das Beobachtungsobjektiv
und in der Meßposition durch das Laserobjektiv im gleichen Okulartubus scharf darstellbar
ist.
15. Lasermikrosonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet
, daß die Probe (1) bzw. die Probenhalterung (2) in x-, y- und z-Richtung justierbar
angeordnet ist.
16. Lasermikrosonde nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet , daß bei bewegter Probe
die x-, y-, z-Einstelleinheit für die Probe ganz oder teilweise mitbewegt wird.