(19) |
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(11) |
EP 0 283 773 A3 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
(88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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07.02.1990 Patentblatt 1990/06 |
(43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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28.09.1988 Patentblatt 1988/39 |
(22) |
Anmeldetag: 02.03.1988 |
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT CH FR GB IT LI NL SE |
(30) |
Priorität: |
20.03.1987 DE 3709298
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(71) |
Anmelder: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
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D-76050 Karlsruhe (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- Ehrfeld, Wolfgang, Dr.
D-7500 Karlsruhe 41 (DE)
- Moser, Herbert, Dr.
D-7500 Karlsruhe 41 (DE)
- Münchmeyer, Dietrich, Dr.
D-7513 Stutensee (DE)
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(56) |
Entgegenhaltungen: :
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(54) |
Mikro-Sekundärelektronenvervielfacher und Verfahren zu seiner Herstellung |
(57) Die Erfindung betrifft einen Sekundärelektronenvervielfacher mit diskreten Dynoden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, gegenüber dem aufgezeigten Stand der Technik
einen Mikro-Sekundärelektronenvervielfacher und Arrays davon zu schaffen die einen
äußerst geringen Platzbedarf, eine hohe Zeitauflösung, eine große Empfindlichkeit
und eine hohe Flexibilität bei der Formgebung aufweisen. Die Aufgabe wir dadurch gelöst,
daß die Dynoden mikrostrukturiert und auf einer isolierenden Substratplatte, die mit
elektrischen Leiterbahnen zum Anschluß der Dynoden versehen ist, angebracht ist.