(19)
(11) EP 0 283 773 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.02.1990  Patentblatt  1990/06

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.09.1988  Patentblatt  1988/39

(21) Anmeldenummer: 88103116.5

(22) Anmeldetag:  02.03.1988
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4H01J 43/10, H01J 9/12, H01J 43/22
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH FR GB IT LI NL SE

(30) Priorität: 20.03.1987 DE 3709298

(71) Anmelder: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
D-76050 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • Ehrfeld, Wolfgang, Dr.
    D-7500 Karlsruhe 41 (DE)
  • Moser, Herbert, Dr.
    D-7500 Karlsruhe 41 (DE)
  • Münchmeyer, Dietrich, Dr.
    D-7513 Stutensee (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Mikro-Sekundärelektronenvervielfacher und Verfahren zu seiner Herstellung


    (57) Die Erfindung betrifft einen Sekundärelektronenvervielfacher mit diskreten Dynoden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zu­grunde, gegenüber dem aufgezeigten Stand der Technik einen Mikro-Sekundärelektronenvervielfacher und Arrays davon zu schaffen die einen äußerst geringen Platzbedarf, eine hohe Zeitauflösung, eine große Empfindlichkeit und eine hohe Flexibilität bei der Formgebung aufweisen. Die Aufgabe wir dadurch gelöst, daß die Dynoden mikrostrukturiert und auf einer isolierenden Substratplatte, die mit elektrischen Leiterbahnen zum Anschluß der Dynoden versehen ist, angebracht ist.





    Recherchenbericht