(57) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Messung der Schichtdicke
d eines nichtleitenden Materials (2), welches auf einem Trägermaterial (1) angeordnet
ist, mit einem Sensor (3).
Um zu erreichen, daß einerseits die Genauigkeit der Schichtdickenmessung weitgehend
unabhängig von der jeweiligen Position des Sensors (3) ist daß und andererseits die
Nachteile von Ultraschallmeßgeräten bzw. von Verfahren, die ionisierende Strahlen
verwenden, nicht auftreten, wird vorgeschlagen, daß der Sensor (3) zwei Abstandssensoren
(31, 32; 33) enthält. Dabei mißt der erste Abstandssensor (31, 32) Signale, die charakteristisch
sind für den Abstand a₁ zwischen Sensor (3) und der dem Sensor (3) zugewandten Oberfläche
der nichtleitenden Schicht (2). Der zweite Abstandssensor (33) mißt hingegen Signale,
die charakteristisch sind für den Abstand a₂ zwischen dem Sensor (3) und der dem Sensor
(3) zugewandten Oberfläche des Trägermaterials (1). Die Schichtdicke d ergibt sich
dann aus der Beziehung d = a₂ - a₁.
Als erster Sensor (31, 32) wird vorteilhafterweise ein optischer und als zweiter Sensor
(33) ein Wirbelstromsensor verwendet, wobei es sich bei Verwendung des Wirbelstromsensors
bei dem Trägermaterial (1) um ein elektrisch leitendes Material handeln muß.
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