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EP 0 381 996 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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27.07.1994 Patentblatt 1994/30 |
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Anmeldetag: 24.01.1990 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)5: H01R 4/50 |
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Ionenerzeugende Einrichtung
Ion generating device
Dispositif générateur d'ions
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE ES FR GB IT LI NL SE |
(30) |
Priorität: |
10.02.1989 CH 489/89
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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16.08.1990 Patentblatt 1990/33 |
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Patentinhaber: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
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9496 Balzers (LI) |
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Erfinder: |
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- Kunz, Anton
FL-9497 Triesenberg (LI)
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Vertreter: Scheidegger, Werner & Co. |
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Siewerdtstrasse 95 8050 Zürich 8050 Zürich (CH) |
(56) |
Entgegenhaltungen: :
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft eine ionenerzeugende Einrichtung mit besonders gestalteter
Verbindung des Heizdrahts zur Erzeugung eines Ionenstroms mit einem Anschlussstromleiter.
Wenn beispielsweise in einer Einrichtung zur Vakuumbeschichtung ein Ionenstrom bis
300 Ampere mit dem Heizdraht erzeugt wird, tritt eine Erhitzung auf eine sehr hohe
Temperatur von ca. 2500°C auf. Bei derart hohen Temperaturen sind die bisher üblichen
Befestigungsarten mittels einer Klemmschraube nicht mehr zuverlässig, wenn die Schraube
und die Gewindebohrung in dem hocherhitzten Bereich liegen. Auch andere vorgeschlagene
Verbindungsarten wie eine Konusklemmeinrichtung, die sich bei Erhitzung lockert, sind
nicht geeignet, um das Unbrauchbarwerden der Verbindung nach einer gewissen Zeit oder
Störungen im Stromübergang zu verhindern.
[0002] Die Aufgabe der Erfindung bestand daher darin, die zum Festklemmen dienende Schraube
von dem hoch erhitzten Bereich etwas weiter weg und an einer Stelle anzuordnen, die
besser gekühlt werden kann, und darüber hinaus die mit der Schraube bewirkbare Anspresskraft
auf eine kleine Fläche zu konzentrieren.
[0003] Aus der FR-A-2 206 031 ist eine Vorrichtung bekannt, bei welcher normale, d.h. nicht
besonderen Temperaturbedingungen unterworfene elektrische Leiter mittels einer besonderen
mechanischen Verbindung an einen Anschlussstromleiter angeschlossen sind.
[0004] Es hat sich nun überraschenderweise gezeigt, dass eine im wesentlichen die Merkmale
dieser bekannten elektrischen Verbindung aufweisende Konstruktion die gesuchte Verbindung
des Heizdrahtes mit einem Anschlussstromleiter bei einer ionenerzeugenden Einrichtung
zu lösen vermag.
[0005] Zur Lösung der gestellten Aufgabe weist somit bei der ionenerzeugenden Vorrichtung
die Verbindung zwischen Heizdraht und Anschlussstromleiter die Merkmale nach Anspruch
1 auf.
[0006] Das vorzugsweise als Kugel ausgebildete Klemmelement ist dabei gegen einen das Ende
des Heizdrahtes umschliessenden Schuh angedrückt. Eine einwandfreie Stromübertragung
ist gewährleistet.
[0007] Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ausschnittweise einen Vertikalschnitt durch eine einen Heizdraht zur Erzeugung
eines Ionenstroms enthaltende Einrichtung;
Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Verbindung des Heizdrahts mit einem Anschlussstromleiter
in grösserem Massstab.
[0008] Die in Fig. 1 dargestellte Einrichtung 1 enthält einen abgetrennten Raum 2, in der
eine Ionenquelle 3 in Form einer Wendel angeordnet ist, mittels der ein Ionenstrom
bis 300 Ampere erzeugt wird. Der die Ionenquelle bildende Heizdraht 3 weist zwei geradlinige
Enden 4 und 5 auf. Diese sind je mit einem Anschlussstromleiter 6 und 7 zu verbinden.
Die Verbindung derselben mit je einem Ende des Heizdrahts 3 ist bei beiden Enden gleich
ausgebildet und daher in Fig. 1 nur einmal und in Fig. 2 ausschnittweise vergrössert
dargestellt.
[0009] Das geradlinige Ende 5 des Heizdrahts 3 ist von einem Schuh 8 umschlossen, dessen
untere Hälfte einen Längsschlitz 9 aufweist. Der Anschlussstromleiter 7 weist eine
aussermittig liegende axiale Bohrung 10 auf, in die sich der Schuh 8 mit dem darin
angeordneten geradlinigen Heizdrahtende 5 hineinerstreckt. Parallel zur Bohrung 10
erstreckt sich in den Anschlussstromleiter 7 eine weitere Bohrung 11 hinein, die im
Abstand vom oberen Ende in eine Querbohrung 12 mündet und die in geradliniger Fortsetzung
der Bohrung 11 unterhalb der Querbohrung 12 als im Durchmesser kleinere Gewindebohrung
13 ausgebildet ist. In der bis zu der den Schuh 8 aufnehmenden Bohrung 10 sich erstreckenden
Querbohrung 12 befindet sich ein Klemmelement 14 in Form einer Kugel, die gegen den
Schuh 8 anliegt. Eine Schraube 15 weist einen oberen zylindrischen Abschnitt 16 auf,
der sich innerhalb der Bohrung 11 befindet sowie einen daran anschliessenden konischen
Abschnitt 17 und anschliessend daran einen Gewindeabschnitt 18, mit dem die Schraube
15 in die Gewindebohrung 13 eingeschraubt ist, so dass beim Festziehen der Schraube
der konische Abschnitt 17 der Schraube gegen die Kugel 14 angedrückt ist, die ihrerseits
gegen den Schuh 8 angedrückt ist. Beim Festziehen der Schraube wird eine grosse Klemmkraft
erzeugt, dabei ist die Schraube unterhalb der Kugel in der Gewindebohrung 13 und oberhalb
derselben mit den zylindrischen Abschnitt 16 in der Bohrung 11 abgestützt.
[0010] Die Schraube 15 befindet sich gemäss Fig. 1 nahe bei einem innerhalb der Einrichtung
ausgebildeten Kanal 20 mit einem darin enthaltenen Kühlmedium, so dass auch bei hoher
Erhitzung die Klemmwirkung sicher erhalten bleibt.
1. Ionenerzeugende Einrichtung, bei welcher die Verbindung des Heizdrahts (3) zur Erzeugung
eines Ionenstroms mit einem Anschlussstromleiter (6,7) derart gestaltet ist, dass
das geradlinige Ende (4,5) des Heizdrahts (3) sich in eine axiale Bohrung (10) am
Ende des Anschlussstromleiters (6,7) hineinerstreckt und in einer dazu parallelen
Gewindebohrung (13) im Anschlussstromleiter (6,7) eine Schraube (15) mit einem konischen
Abschnitt (17) eingeschraubt ist und dass in einer dazwischen befindlichen Ausnehmung
(12) im Anschlussstromleiter ein Klemmelement (14) angeordnet ist, das durch den konischen
Abschnitt (17) der Schraube (15) bei deren Festziehen gegen den Endabschnitt des Heizdrahts
(3) angedrückt ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Endabschnitt (4,5) des
Heizdrahts (3) von einem im Klemmbereich längsgeschlitzten Schuh (8) umschlossen ist,
gegen den das Klemmelement (14) angedrückt ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Klemmelement (14) als
Kugel ausgebildet ist.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
die Schraube (15) den konischen Abschnitt (17) zwischen einem unteren Gewindeabschnitt
(18) und einem oberen zylindrischen Abschnitt (16) aufweist und unterhalb wie oberhalb
des Klemmelements (14) auf der diesem gegenüberliegenden Seite innerhalb des Anschlussstromleiters
(6,7) abgestützt ist.
1. An ion-generating apparatus in which the connection of the heating wire (3) for generating
an ion flow to a connecting current conductor (6, 7) is such that the straight end
(4, 5) of the heating wire (3) extends into an axial bore (10) at the end of the connecting
current conductor (6, 7) and screwed in a screwthreaded bore (13), which is parallel
thereto, in the connecting current conductor (6, 7) is a screw (15) having a conical
portion (17), and that arranged in a recess (12) disposed therebetween in the connecting
current conductor is a clamping element (14) which is pressed against the end portion
of the heating wire (3) by the conical portion (17) of the screw (15) upon tightening
of the latter.
2. Apparatus according to claim 1 characterised in that the end portion (4, 5) of the
heating wire (3) is enclosed by a shoe (8) which is longitudinally slotted in the
clamping region and against which the clamping element (14) is pressed.
3. Apparatus according to claim 1 characterised in that the clamping element (14) is
in the form of a ball.
4. Apparatus according to one of the preceding claims characterised in that the screw
(15) has the conical portion (17) between a lower screwthreaded portion (18) and an
upper cylindrical portion (16) and is supported below and above the clamping element
(14) on the side opposite same within the connecting current conductor (6, 7).
1. Dispositif générateur d'ions dans lequel la liaison entre le fil chauffant (3) destiné
à générer un courant d'ions et un conducteur de raccordement (6, 7) est conçue pour
que l'extrémité rectiligne (4, 5) du fil chauffant (3) s'étende dans un perçage axial
(10) prévu à l'extrémité du conducteur de raccordement (6, 7) et qu'une vis (15) comportant
une section conique (17) soit vissée dans un perçage fileté (13) parallèle au perçage
(10), dans le conducteur de raccordement (6, 7), et pour qu'il soit prévu, dans un
évidement (12) situé entre les deux, dans le conducteur de raccordement, un élément
de serrage (14) qui est pressé contre la section d'extrémité du fil chauffant (3)
par la section conique (17) de la vis (15) lorsque celle-ci est serrée.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la section d'extrémité
(4, 5) du fil chauffant (3) est entourée par un sabot (8) qui est fendu longitudinalement
dans la zone de serrage et contre lequel l'élément de serrage (14) est pressé.
3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de serrage (14)
est conçu comme une sphère.
4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la vis
(15) comporte la section conique (17) définie entre une section filetée inférieure
(18) et une section cylindrique supérieure (16), et est supportée à l'intérieur du
conducteur de raccordement (6, 7), au-dessus et au-dessous de l'élément de serrage
(14), sur le côté opposé à celui-ci.