[0001] Die Erfindung betrifft ein Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach dem Oberbegriff
des Anspruch 1.
[0002] Bei Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometern gibt es generell mindestens zwei Flugstrecken,
auf welchen Ionen durch ihre unterschiedlichen Flugzeiten ihrer Masse nach aufgetrennt
werden. Dabei bildet immer der Endort der vorangehenden Flugstrecke den Startort der
folgenden.
[0003] Üblicherweise wird mittels der ersten Flugstrecke eine bestimmte Ionenmasse vorselektiert,
welche entweder vor oder nach der Selektion einer beliebigen Wechselwirkung unterworfen
wird. Diese Wechselwirkung kann z.B. die Einwirkung eines Laserstrahls sein, das Kreuzen
mit einem zweiten Ionenstrahl oder auch das Durchfliegen einer Zelle mit Kollisionsgas
sein.
[0004] Die Selektion bzw. Auswahl einer bestimmten Ionenmasse am Endort einer Flugstreckekann
nach dem Stand der Technik durch eine Reihe von Methoden bewirkt werden:
- Sind die Flugstrecken orthogonal zueinander angeordnet, so kann die Selektion am Ende
der einen bzw. am Anfang der folgenden Flugstrecke dadurch bewirkt werden, daß zum
Ankunfts-Zeitpunkt einer bestimmten Ionenmasse die an diesem Ort plazierte Ionenquelle
des folgenden Flugzeit-Massenspektrometers angeschaltet wird, was die Ablenkung und
den Einschuß genau dieser Ionenmasse in das folgende Flugzeit-Massenspektrometer bewirkt.
- Sind die Flugstrecken kolinear zueinander angeordnet, so kann am Ende der einen bzw.
am Anfang der folgenden Flugzstrecke eine Vorrichtung zum gepulsten Ablenken der Ionen
vorgesehen werden:
a) Eine solche Vorrichtung kann z.B. aus zwei zueinander parallel angeordneten Platten
bestehen, welche normalerweise auf unterschiedlichen Potentialen liegen, wodurch die
hindurchfliegenden Ionen abgelenkt werden. Werden diese Platten nun kurzzeitig auf
gleiches Potential gelegt, so kann nur die Ionenmasse passieren, welche sich gerade
kurz vor den Platten befindet und während der Passage kein ablenkendes Feld spürt.
b) Eine solche Vorrichtung kann auch durch zwei kammartige Strukturen bewirkt werden,
deren Zähne aus feinen Drähten bestehen, wobei die Zähne der einander gegenüberliegenden
kammartigen Strukturen mittig ineinander greifen und alle zu jeweils einer kammartigen
Struktur gehörenden Zähne elektrisch leitend miteinander verbunden sind. Werden diese
beiden Strukturen auf Potentiale gelegt, die in ihrem Wert symmetrisch zum Potential
der Driftstrecke sind, so heben sich die von den beiden kammartigen Strukturen erzeugten
elektrischen Felder schon in sehr kurzem Abstand auf. Ein solches Ionenschaltgitter
kann schon mit vergleichsweise geringen Spannungen durchtretende Ionen so stark ablenken,
daß sie den Bahnbereich der Flugstrecken verlassen. Außerdem beeinflußt dieses Schaltgitter
nur die Ionen in seiner allernächsten Nähe, was eine Selektion mit hoher Massenauflösung
der gewünschten Ionenmasse bewirkt. Ein solches Ionenschaltgitter ist beispielsweise
in der Veröffentlichung von D.J. Beussman et al. beschrieben. (Analytical Chemistry,
Bd. 67, Seiten 3952 - 3957,1995)
[0005] Durch die nach oder vor der Selektion ausgeführte Wechselwirkung wird der innere
Zustand der selektierten Ionenmasse geändert. Meist wird Energie zugeführt, um einen
Zerfall dieser Ionenmasse in Bruchstücke zu bewirken. Die Massen dieser Bruchstücke
lassen dann oft Rückschlüsse auf den Aufbau der ursprünglichen Ionenmasse zu und dienen
so der Strukturaufklärung komplexer Moleküle. Die Massen dieser Bruchstücke werden
nun durch Messen der Flugzeit in der zweiten Flugstrecke des Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometers
bestimmt.
[0006] Müssen noch mehr Einzelheiten als nur die Massen der Bruchstücke bestimmt werden,
so können die Bruchstücke selbst einer weiteren Wechselwirkung unterworfen werden,
man kann nach Durchfliegen der zweiten Flugstrecke eine bestimmte Ionenmasse herausfiltern,
deren Bruchstücke man dann in der dritten Flugstrecke bestimmt.
[0007] Soll der selektierten Ionenmasse durch Wechselwirkung mit einem Kollisionsgas Energie
zugeführt werden, so werden in den meisten Fällen die Gase Helium, Stickstoff, oder
Argon verwendet, wobei sich in vielen Untersuchungen Helium als das günstigste Kollisionsgas
erwiesen hat. Zum Stand der Technik finden sich zwei Anordnungen, welche Kollisionsgas
in einem Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer zur Erzeugung von Fragment-Ionen verwenden:
a) B. Spengler et al. (Journal of Physical Chemistry, Bd. 96, Seiten 9678 - 9684,
1992) untersuchen die Fragmentation des Moleküls Cytochrom C, indem sie verschiedene
Gase bis zu einem Druck von 4·10-5 mbar in die Flugstrecke ihres Flugzeit-FlugzeitMassenspektrometers einlassen.
b) T.J. Cornish et al. (Rapid Communications in Mass Spectrometry, Bd. 7, Seiten 1037
- 1040, 1993) untersuchen die Fragmentation von Molekülen in ihrem Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer,
indem sie mittels einer gepulsten Düse Argon oder Helium in eine Kollisionszelle einlassen,
welche sich zwischen den beiden Flugstrecken ihrer Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer-Anordnung
befindet.
[0008] B. Spengler et al. haben hierbei die einfachste Ausführungsform gewählt. Das Kollisionsgas
einfach in die Driftstrecke des Flugzeit-Massenspektrometers einzulassen, stellt die
billigste, und am leichtesten zu realisierende Möglichkeit dar, Fragmente durch Stöße
mit Gasmolekülen oder -Atomen zu erzeugen. Nachteilig ist allerdings, daß bei Helium,
dem am häufigsten verwendeten Kollisionsgas nicht soviel Gas in die Driftstrecke eingelassen
werden kann, so daß eine ausreichende Anzahl der Primärionen fragmentierbar wäre.
Der Helium-Gasdruck, der notwendig für eine ausreichende Fragmentation wäre, würde
elektrische Entladungen im Flugzeit-Massenspektrometer hervorrufen, welche seine Funktion
beeinträchtigen würden, unter Umständen auch zur Zerstörung von Komponenten, insbesondere
des Detektors führen könnten.
[0009] Bei Vielkanalplatten, welche häufig in den Detektoren der Flugzeit-Massenspektrometer
verwendet werden, wird als maximaler Arbeitsdruck 10
-4 mBar angegeben. Elektrische Entladungen an hochspannungsführenden Bauteilen können
ab einem Druck von ca. 10
-3 mBar auftreten.
[0010] T.J. Cornish et al. können auch mit Helium als Kollisionsgas ausreichende Fragmentation
bei den zu untersuchenden Ionenmassen hervorrufen. Dies wird hier erreicht, indem
sie mit einer gepulsten Düse einen Heliumstrahl hoher Dichte in die Kollisionszelle
einlassen. Durch ausreichende Wartezeit bis zum nächsten Primärionenpuls wird ein
Druckanstieg im Flugzeit-Massenspektrometer verhindert, der elektrische Entladungen
bzw. Zerstörungen an Komponenten des Instruments hervorrufen könnte.
[0011] Insbesondere dadurch, daß T.J. Cornish et al. die Austrittsöffnung ihrer gepulsten
Düse mit einer Hohl-Nadel bis zur Kollisionszelle verlängern (Analytical Chemistry,
Bd. 65, Seiten 1043 - 1047, 1993), erreichen sie einen hohen Gasdruck im Bereich der
Kollisionszelle, wobei gleichzeitig der Druckanstieg im restlichen Bereich des Massenspektrometers
sich in zulässigen Grenzen hält.
[0012] Trotzdem ist in jedem Falle, um einen unzulässigen Druckanstieg zu vermeiden, eine
niedrige Repetitionsfrequenz der Düse notwendig, was infolge der langen Wartezeiten
zwischen Primärionenpulsen jedoch die Empfindlichkeit des Flugzeit-Massenspektrometers
in kaum vertretbarer Weise herabgesetzt. Außerdem stellt eine gepulste Düse ein Bauteil
mit großem Verschleiß dar, d.h. es wird ein öfteres Auswechseln erforderlich sein.
[0013] Dementsprechend ist es Aufgabe der Erfindung, ein Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer
anzugeben, bei welchem mit vertretbarem technischen Aufwand und ohne Einbußen bei
der Massenauflösung oder Empfindlichkeit ein ausreichender Druck des Kollisionsgases
für die verschiedenen Möglichkeiten der Fragmentation zur Verfügung steht. Insbesondere
ist es Aufgabe der Erfindung, bei einem zur Fragmentation ausreichendem Druck, keine
Entladungen an den spannungsführenden Teilen des Massenspektrometers entstehen zu
lassen.
[0014] Diese Aufgaben werden durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
[0015] Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird vor der Kammer, welche den Reflektor enthält,
eine weitere Kammer, im folgenden Streukammer genannt, angeordnet, welche dann die
Kollisionszelle enthält. Zwischen Streukammer und Reflektorkammer befinden sich eine
oder mehrere Gas-Strömungsimpedanzen, wodurch in der Kollisionszelle eine sehr hohe
Gasdichte erzielbar ist, bei gleichzeitig nur geringfügigem Druckanstieg in der Reflektorkammer.
[0016] Hierbei werden die Streukammer und die Reflektorkammer in verschiedenen, separat
gepumpten Raumbereichen angeordnet, die ihre jeweils eigenen Pumpstutzen aufweisen,
und die durch eine Gas-Strömungsimpedanz verbunden sind. Damit der Gasdruck in der
Reflektorkammer deutlich niedriger als in der Streukammer ist, muß der Gas-Leitwert
der Verbindung zwischen den beiden Kammern deutlich niedriger sein als das Saugvermögen
der Pumpe, welche an der Reflektorkammer pumpt.
[0017] Im einfachsten Fall handelt es sich bei einer Gas-Strömungsimpedanz um eine Öffnung
bestimmten Querschnitts in der Trennwand zwischen Bereichen verschiedenen Druckes.
Rohre oder rohrähnliche Gebilde haben jedoch einen wesentlich kleineren Gasleitwert
als Öffnungen gleichen Querschnitts und sind darum in vielen Fällen vorzuziehen. Vorteilhafterweise
wird der Querschnitt einer Gas-Strömungsimpedanz immer so klein gewählt, daß der Ionenstrahl
gerade eben nicht blockiert wird. So erzielt man maximale Empfindlichkeit des Massenspektrometers
bei minimalem Gas-Leitwert der Strömungsimpedanz.
[0018] Es ist auch möglich, die Streukammer und die Reflektorkammer in einer gemeinsamen
Vakuumkammer aufzubauen, und durch Trennwände solcherart voneinander zu trennen, daß
sich Raumgebiete ergeben, welche nur durch Öffnungen mit kleinem Gas-Leitwert verbunden
sind, und für jeden dieser Bereiche einen eigenen Pumpstutzen vorsehen.
[0019] Dadurch, daß die Kollisionszelle auf diese Weise nun vergleichbar nahe am Abzugsvolumen
des Flugzeit-Massenspektrometers angeordnet ist, können auch bei großer Divergenz
der Ionenbahnen die Querschnitte der Strömungsimpedanzen kleiner gewählt werden, ohne
die Empfindlichkeit des Massenspektrometers herabzusetzen.
[0020] Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
[0021] Als besonders vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung gemäß den Unteransprüchen
können somit bereits vorhandene Komponenten des Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometers
als Gas-Strömungsimpedanzen verwendet werden, um einen möglichst großen Druckunterschied
zwischen Reflektorkammer bzw. Ionenquellenkammer und der Streukammer bzw. der Kollisionszelle
hervorzurufen.
[0022] Im Folgenden wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele
die Erfindung näher beschrieben und erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 eine weitere Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 3 eine Ausführungsform der Kollisionszelle mit integriertem Ionenselektor.
[0023] Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung. Gezeigt sind die
Ionenquellenkammer 1 mit der Ionenquelle 21, und dem darin enthaltenen Abzugsvolumen
11. Die Ionenquellenkammer ist mit einer Pumpe 6 verbunden, die ein Vakuum, vorzugsweise
unterhalb 10
-6 mBar erzeugt. Zum Start-Zeitpunkt der Massenanalyse werden von dem zu untersuchenden
Gas- bzw. Ionenstrahl 10 die am Detektor 34 nachzuweisenden Ionen aus dem Abzugsvolumen
heraus auf ihrer Bahn 12 ins Flugzeit-Massenspektrometer gestartet.
[0024] Kurz hinter der Ionenquellenkammer ist die Streukammer 2 angeordnet, verbunden über
das Verbindungsrohr 4, welches gleichzeitig als Strömungsimpedanz zwischen beiden
Kammern dienen kann. In der Streukammer befindet sich die Kollisionszelle 22. Über
eine Gasleitung 24 und das Dosierventil 25 wird das Kollisionsgas zugeführt. Die Streukammer
ist mit einer Pumpe 7 verbunden, die ein Vakuum, vorzugsweise unterhalb 10
-5 mBar erzeugt. Innerhalb der Kollisionszelle kann zusätzlich ein Ionenselektor 23
angeordnet sein.
[0025] Über das Verbindungsrohr 5 ist die Reflektorkammer 3 angeschlossen. Um die eingeschossenen
Ionen gegenüber Streufeldern des Detektors 34 abzuschirmen, kann man entweder ein
Abschirmblech 31 zwischen der Ionenbahn und dem Detektor oder ein Einschußrohr 32
verwenden. Das Einschußrohr 32 wirkt mit dem Verbindungsrohr 5 zusammen als Gasströmungsimpedanz.
Es kann, wie in Fig. 1 dargestellt, einen geringeren Querschnitt als das Verbindungsrohr
5 aufweisen. Es kann aber auch ein größerer Querschnitt gewählt werden. Durch Auswahl
eines Einschußrohrs 32 mit vorgegebenem Querschnitt kann somit die Gasströmungsimpedanz
in einem gewissen Bereich eingestellt werden. Die Ionen werden im Reflektor 33 um
180° umgelenkt und treffen auf einen Detektor 34, der sich in relativer Nähe zur Eintrittsöffnung
der Reflektorkammer befindet. Die Reflektorkammer ist mit einer Pumpe 8 verbunden,
die ein Vakuum, vorzugsweise unterhalb 10
-6 mBar erzeugt.
[0026] Diese Anordnung schützt den Detektor und Reflektor vor zu hohen Drücken, wobei insbesondere
der Detektor mit seinen Vielkanalplatten ein empfindliches Bauteil darstellt, an welchem
zuerst Probleme durch einen Druck von mehr als 10
-4 mBar entstehen würden. In dieser Ausführungsform befindet sich die Ionenquelle in
einer eigenen Kammer, die einen eigenen Pumpstutzen aufweist, welche über eine Verbindung
mit kleinem Gas-Leitwert an die Streukammer angeschlossen ist. Da auch an der Ionenquelle
mit ihren spannungsführenden Elektroden bei Drücken von mehr als 10
-3 mBar Entladungen auftreten können, kann es notwendig sein, den Restgasdruck in der
Ionenquellenkammer zu reduzieren, wenn die Kollisionszelle mit Stoßgas beaufschlagt
wird.
[0027] Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung. Hier sind die
Ionenquellenkammer und die Streukammer in eine Vakummkammer integriert, die mittels
einer Blende 26, die auch als Elektrode der Ionenquelle dienen kann, in die beiden
Bereiche aufgetrennt wird, welche eigene Pumpstuzen aufweisen, und die nur durch eine
Strömungsimpedanz von kleinem Gas-Leitwert verbunden sind. Diese Strömungsimpedanz
kann auch in eine Elektrode der Ionenquelle bzw. in die Blende eingearbeitet sein.
[0028] Innerhalb des Verbindungsrohrs 5 von der Streukammer 2 zur Refiektorkammer 3 bzw.
des Einschußrohrs 32 in die Reflektorkammer ist ein Rohr 35 angeordnet. Dieses Rohr
dient dazu, den Strömungswiderstand zwischen Streukammer und Reflektorkammer zu erhöhen.
In der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform erstreckt es sich innerhalb sowohl des
Verbindungsrohrs 5 als auch des Einschußrohrs 32 und hat demzufolge einen Durchmesser,
der kleiner ist als die Durchmesser der beiden genannten Rohre. Das Rohr 35 kann sich
aber auch nur innerhalb eines der beiden Rohre befinden. Das Rohr 35 bietet somit
eine weitere Möglichkeit zur Einstellung der Gasströmungsimpedanz.
[0029] Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform einer Kollisionszelle 22 mit integriertem Ionenselektor.
Der Ionenselektor 23 ist hier in der Ausführungsform eines Ionenschaltgitters dargestellt
und wird von den Keramikringen 27 getragen. Die Kollisionszelle selbst besteht aus
den beiden Hälften 22a, 22b, welche durch eine beliebige Vorrichtung zum Klemmen,
die hier nicht gezeigt werden muß, mit den Keramikringen des Ionenselektors zusammengehalten
werden können. Da die beiden Hälften der Kollisionszelle aus Metall gefertigt werden
können, läßt sich diese gesamte Einheit auch auf einfache Weise innerhalb der Streukammer
befestigen und positionieren. Das Kollisionsgas wird über die Gasleitung 24 zugeführt,
die ihren Durchtritt nahe des Ionenselektors hat, welcher in der hier gezeigten Ausführung
in einer zur ionenoptischen Achse senkrechten Ebene angeordnet ist, und die Kollisionszelle
in zwei symmetrische Hälften teilt. Dadurch, daß das Kollisionsgas nahe der Mitte
der Kollisionszelle zugeführt wird, wird in der Mitte der maximal mögliche Druck erzeugt,
gleichzeitig bei minimaler Gasbelastung der Streukammer.
1. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer, mit einer Ionenquelle(21), einem Reflektor(33),
einem Detektor(34), und einer Kollisionszelle(22), in der ein Fremdgas enthalten ist,
durch welches Primärionen infolge der Kollision mit Fremdatomen oder -molekülen in
Fragment-Ionen zerfallen,
dadurch gekennzeichnet,
- daß das Massenspektrometer in Bereiche unterschiedlichen Druckes aufgeteilt ist,
von denen jeder einen Anschluß für eine Vakuumpumpe(6,7,8) aufweist,
- daß diese Bereiche über Gas-Strömungsimpedanzen(4,5,32,35) verbunden sind,
- daß einer dieser Bereiche durch eine, den Reflektor(33) enthaltende Reflektorkammer(3)
gebildet ist,
- daß ein weiterer Bereich durch die, die Kollisionszelle(22) enthaltende Streukammer(2)
gebildet wird, und
- daß dieser Bereich in Flugrichtung der Ionen vor der Reflektorkammer(3) angeordnet
ist.
2. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenquelle(21) in einer Ionenquellen-Kammer(1) angeordnet ist, und die
Ionenquellen-Kammer(1) und die Streukammer(2) jeweils eine eigenen Anschluß für eine
Vakuumpumpe(6,7) aufweisen und über eine Gas-Strömungsimpedanz(4) miteinander verbunden
sind, sodaß die Ionenquellen-Kammer(1) einen niedrigeren Druck als die Streukammer(2)
aufweist, wenn die Kollisionszelle mit dem Fremdgas beaufschlagt ist.
3. Flugzeit-Flugzdt-Massenspektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Reflektor und Detektor in ein- und demselben Bereich enthalten sind.
4. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasströmungsimpedanz(5,32,35) zwischen Streukammer(2) und Reflektorkammer(3)
mindestens teilweise durch ein Verbindungsrohr(5) zwischen beiden Kammern gebildet
ist.
5. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Verbindungsrohr(5) von einer Auslaßöffnung der Streukammer(2) bis zu
einer Einlaßöffnung der Reflektorkammer(3) erstreckt und daß mindestens ein weiterer
Teil der Gasströmungsimpedanz durch ein Einschußrohr(32) gebildet ist, das sich von
der Einlaflöffnung aus in die Reflektorkammer(3) erstreckt.
6. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem oder beiden der Ansprüche 4 und 5,
dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein weiterer Teil der Gas-Strömungsimpedanz durch ein Rohr(35) gebildet
ist, das
- kleineren Durchmesser als das Verbindungsrohr(5) und/oder das Einschußrohr(32) aufweist,
und
- innerhalb eines oder beider dieser Rohre angeordnet ist.
7. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Ionenquelle(21) und Kollisionszelle(22) in ein- und derselben Vakuumkammer untergebracht
sind, die jedoch durch eine innerhalb dieser Kammer angeordnente vakuumtechnische
Trennwand(26) in zwei Teile(1,2) aufgeteilt ist, jeder dieser Teile(1,2) seinen eigenen
Anschluß für eine Vakuumpumpe(6,7) aufweist, und daß eine Öffnung in der Trennwand(26)
als Gas-Strömungsimpedanz zwischen den Teilen(1,2) wirkt.
8. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem oder beiden der Ansprüche 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenquelle(21) Elektroden enthält und daß mindestens ein Teil der Trennwand(26)
in eine der Elektroden integriert ist.
9. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Kollisionszelle(22) ein Ionenselektor(23) angeordnet ist.
10. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kollisionszelle(22) eine Eintritts-(22a) und eine Austritts-Strömungsimpedanz(22b)
enthält, und der Ionenselektor(23) zwischen beiden Strömungsimpedanzen angeordnet
ist.
11. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung des Ionenselektors(23) durch die Eintritts- bzw. Austritts-Strömungsimpedanz(22a,
22b) der Kollisionszelle gebildet ist.
12. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenselektor(23) in einer zur ionenoptischen Achse senkrechten Ebene angeordnet
ist, und die Kollisionszelle in zwei symmetrische Hälften teilt.
13. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenselektor ein Schaltgitter ist, welches aus zwei kammartigen, mittig
ineinandergreifenden Strukturen besteht, bei denen die Zähne jeweils einer Kammstruktur
elektrisch leitend miteinander verbunden sind.
14. Flugzeit-Flugzeit-Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionenselektor aus zwei gegenüberliegenden Platten besteht, die parallel
zur ionenoptischen Achse angeordnet sind.