(19)
(11) EP 0 768 498 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.11.1999  Patentblatt  1999/47

(43) Veröffentlichungstag A2:
16.04.1997  Patentblatt  1997/16

(21) Anmeldenummer: 96107219.6

(22) Anmeldetag:  07.05.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: F24F 7/00, F24F 3/16
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL

(30) Priorität: 13.10.1995 DE 19538040

(71) Anmelder: JENOPTIK Aktiengesellschaft
D-07743 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • Schneider, Heinz
    07747 Jena (DE)
  • Schultz, Klaus
    07745 Jena (DE)

(74) Vertreter: Geyer, Werner, Dr.-Ing. et al
Patentanwälte GEYER & FEHNERS Perhamerstrasse 31
80687 München
80687 München (DE)

   


(54) Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume


(57) Bei einer Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume besteht die Aufgabe, die Bautiefe einer Luftaufbereitungsanlage zu verringern und außerdem in einfacher Weise eine Schwingungsübertragung von luftstromerzeugenden Mitteln auf eine zu versorgende Geräteeinheit weitgehend zu vermeiden.
Gemäß der Erfindung ist einem, in einer Plenumkammer untergebrachten Filter an der Seite des Eintrittes ungereinigter Luft die Plenumkammerwand benachbart, die einer Auslaßöffnung in der Plenumkammer gegenüberliegt. Zwischen der Wand und dem Filter bleibt ein Raum frei, der mit dem übrigen Raum der Plenumkammer in Verbindung steht und der vorwiegend zur Ausbildung des Plenums dient.
Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar.






Recherchenbericht