[0001] La présente invention concerne un dispositif de distribution de solides pulvérulents
à la surface d'un substrat, notamment en verre, afin de le revêtir de couches minces
susceptibles de lui conférer des propriétés optiques, thermiques ou électriques.
[0002] Ce dispositif permet notamment de déposer ces couches minces par une technique dite
de pyrolyse de poudre consistant à projeter lesdits solides pulvérulents (en général
des composés organo-métalliques), en suspension dans un gaz, en direction d'un substrat
chauffé à haute température, de manière à ce qu'ils se décomposent (en général sous
forme d'oxyde métallique) à son contact. Le substrat peut prendre la forme d'un ruban
de verre continu dit float, au sortir de l'enceinte de flottage du verre, le dispositif
comprenant alors usuellement une buse comportant une cavité qui la traverse de part
en part et qui se termine en une fente de distribution au-dessus du ruban et transversalement
à son axe de défilement, la buse étant équipée de moyens d'alimentation en poudre
appropriés.
[0003] On peut ainsi obtenir, en continu, des couches minces présentant en règle générale
une adhérence élevée au substrat et une qualité ainsi qu'une durabilité satisfaisantes.
[0004] Cependant, le ruban de verre float à recouvrir (ou tout autre substrat de grandes
dimensions que l'on chercherait à recouvrir) présente usuellement une largeur d'au
moins 2 mètres, notamment de l'ordre de trois à quatre mètres. C'est donc sur cette
largeur, qui est considérable, que les buses ont à répartir la suspension gaz/poudre
de la manière la plus homogène possible pour assurer, au moins transversalement à
l'axe de défilement du ruban, une certaine constance dans la qualité et/ou l'épaisseur
du revêtement déposé. Beaucoup d'études ont déjà été effectuées, visant soit la conception
même de la buse, soit son mode d'alimentation en poudre, pour garantir au mieux cette
homogénéité.
[0005] Ainsi, le brevet EP-B-0 130 919 a mis au point un moyen de répartition efficace permettant
de subdiviser de manière assez uniforme une veine de poudre en suspension véhiculée
dans un conduit d'amenée unique en une pluralité de veines de poudre véhiculées dans
autant de conduits secondaires venant alimenter la buse sur toute sa largeur par l'intermédiaire
d'organes d'alimentation appelés injecteurs dans lesquels ils débouchent. Il est cependant
difficile de garantir que chacune des veines présente une parfaite identité avec toutes
les autres, en terme de débit de poudre transportée, et que l'ensemble des veines
va pouvoir se « fondre » en un courant de poudre parfaitement homogène au niveau de
la fente de distribution de la buse.
[0006] C'est pourquoi les brevets EP-B-0 125 153 et EP-B-0 374 023 ont proposé de compléter
ce mode d'alimentation en prévoyant chacun des moyens d'amenée de gaz sous pression
dans la cavité visant à faciliter, homogénéiser l'écoulement de la suspension poudre-gaz
issue des injecteurs au travers de la buse, sans parvenir encore à supprimer tout
risque d'irrégularité d'épaisseur dans la couche déposée et à « corriger » véritablement
les éventuelles légères disparités entre les différentes veines de gaz arrivant dans
les injecteurs.
[0007] Le brevet EP-B-0 392 902 a alors proposé un dispositif permettant de modifier automatiquement
les positions relatives des injecteurs disposés en ligne à l'entrée de la buse, en
écartant ou rapprochant les injecteurs concernés dès qu'est détectée une variation
d'épaisseur locale dans le revêtement déposé en « aval » de la buse. Cette solution
donne des résultats intéressants, mais n'est pas encore totalement optimale, d'abord
parce qu'elle peut paraître un peu compliquée à mettre en oeuvre, ensuite et surtout
parce qu'elle tente de compenser les éventuelles disparités de débit des veines secondaires
sans les corriger véritablement.
[0008] L'invention a alors pour but d'améliorer encore le mode de fonctionnement des dispositifs
de distribution de poudre de ce type, et notamment de parvenir à optimiser l'homogénéité
de l'écoulement de la suspension poudre-gaz dans la buse sans trop sacrifier à la
simplicité de mise en oeuvre, afin d'obtenir des revêtements de qualité, particulièrement
en terme de régularité d'épaisseur.
[0009] L'invention a pour objet un dispositif de distribution de solide pulvérulent en suspension
dans un gaz, en vue de déposer un revêtement, notamment par pyrolyse, sur un substrat
en défilement, notamment du type ruban de verre float. Ce dispositif comprend d'une
part une buse de distribution dont les parois définissent une cavité qui se termine
par une fente de distribution longitudinale. Il comprend d'autre part un conduit principal
d'amenée de poudre muni d'un moyen de répartition . Une pluralité de conduits secondaires
d'amenée de poudre connectés à ce conduit principal à l'aide des moyens de répartition
permet d'alimenter en poudre la cavité de la buse sur toute sa longueur. Selon l'invention,
au moins une partie des conduits secondaires est équipée d'au moins un moyen pneumatique
apte à moduler le débit de la suspension poudre-gaz que chacun des conduits secondaires
concerné est destiné à véhiculer. De préférence, chacun des conduits est équipé d'un
tel moyen pneumatique. Cette solution présente deux intérêts majeurs : d'une part,
pouvoir moduler le débit dans chacun des conduits va permettre de corriger véritablement
et directement les éventuelles disparités de débit entre les veines de mélange gaz-poudre
qu'ils transportent jusque dans la buse, et ainsi d'assurer une répartition très régulière
dans l'alimentation en poudre au niveau de la buse, sur toute la longueur de sa cavité.
D'autre part, avoir recours à un moyen pneumatique et non mécanique pour opérer ces
modulations de débit est très avantageux. En effet, un moyen mécanique du type vanne
fonctionne sur le principe d'une obturation partielle du conduit, obturation qui,
dans le cas d'un écoulement de poudre, provoque des accumulations locales intempestives
de poudre, des colmatages ou engorgements pouvant provoquer de manière soudaine et
incontrôlée de fortes pertes de charge dans l'écoulement.
[0010] Un moyen pneumatique, au contraire, permet de moduler un débit de mélange poudre-gaz
de manière fine et contrôlée et peut être réglé avec des temps de réponse très brefs,
avec des moyens de réglage appropriés, qui peuvent être manuels ou automatisés. Ces
moyens, si on les choisit automatisés, peuvent faire avantageusement partie d'une
boucle de régulation, sous commande d'une unité de contrôle connectée à au moins un
moyen de mesure de qualité ou d'épaisseur sur le revêtement déposé sur le substrat,
à l'aide de la buse de distribution. S'il s'agit d'un ruban de verre float, la régulation
dans les débits de poudre des conduits secondaires peut être effectuée en continu,
en ajustant très rapidement le débit du ou des conduits secondaires appropriés à l'aide
de leurs moyens pneumatiques dès qu'est détectée une variation d'épaisseur transversale
dans le revêtement déposé sur le ruban juste en aval de la buse. En se servant par
exemple d'abaques préétablies indiquant la correspondance entre une variation d'épaisseur
locale donnée et une variation de réglage du moyen pneumatique adéquat du conduit
secondaire concerné pour la rectifier, on n'a alors même pas besoin de mesurer précisément
les débits de mélange poudre-gaz des conduits et leurs éventuels écarts, on peut effectuer
seulement une corrélation entre les variations d'épaisseur qui sont la conséquence
de ces écarts et les réglages des moyens pneumatiques à effectuer.
[0011] Ces moyens pneumatiques peuvent se présenter simplement sous la forme de conduits
d'amenée auxiliaires débouchant dans les conduits secondaires, amenées auxiliaires
que l'on munit avantageusement d'un moyen de régulation manuel ou automatisé de débit
ou pression de gaz, utilisant par exemple des vannes. Dans la mesure où elles ne véhiculent
que du gaz, ce type de moyen de réglage mécanique n'entraîne aucun problème. Ces amenées
introduisent ainsi dans l'écoulement du mélange poudre-gaz des conduits secondaires
un jet de gaz dont les caractéristiques sont maîtrisées afin d'y créer une perte de
charge contrôlée permettant alors d'en diminuer plus ou moins le débit quand cela
est nécessaire. Grâce à un moyen de répartition approprié, la quantité de poudre qui
n'est plus véhiculée par le conduit du fait de cette diminution provoquée de débit
va pouvoir se répartir homogènement sur tous les autres conduits secondaires.
[0012] Ces conduits secondaires peuvent avantageusement comporter des canalisations, de
préférence souples, connectées au moyen de répartition du conduit d'amenée principal,
canalisations dont les extrémités débouchant à l'entrée de la cavité de la buse sont
constituées par des organes d'alimentation appelés « injecteurs » rigides, et de préférence
métalliques. Les moyens d'amenée de gaz auxiliaires peuvent alors déboucher dans les
conduits secondaires en tout point, soit au niveau de ces canalisations (souples),
en « aval » du moyen de répartition du conduit principal, soit à proximité ou dans
la buse, notamment au niveau de la jonction canalisation-injecteur ou au niveau de
l'injecteur lui-même. C'est cette dernière configuration qui est plus favorable, car
l'injecteur, rigide, permet un « branchement » facile et sûr de l'amenée de gaz auxiliaire.
[0013] Un mode de réalisation préféré de l'invention consiste ainsi en un dispositif de
distribution, où chacun des conduits secondaires destinés à véhiculer les suspensions
poudre-gaz est muni à son extrémité d'un injecteur, les injecteurs étant régulièrement
disposés en ligne dans l'orifice d'entrée de la cavité de la buse sur toute sa longueur
et étant tous munis d'une arrivée de gaz auxiliaire à débit variable. En outre, la
cavité de la buse est également munie de moyens d'injection de gaz sous pression pour
entraîner la suspension poudre-gaz émise par les injecteurs dans la cavité, moyens
d'injection de préférence disposés symétriquement de part et d'autre de la ligne d'injecteurs.
Ainsi, l'alimentation en poudre de la buse se trouve doublement optimisée. On la corrige
d'abord « à la source », grâce aux moyens pneumatiques de l'invention permettant de
supprimer ou à tout le moins d'atténuer très significativement toutes les disparités
de débit entre les jets de mélange poudre-gaz émis dans la buse par les injecteurs.
On l'homogénéise ensuite, dans la buse, grâce à des gaz sous pression qui vont permettre
de « transformer » la pluralité de jets de mélange individualisés s'écoulant dans
la buse en un « rideau » de poudre uniforme en sortie de la fente transversale.
[0014] L'invention a également pour objet le procédé de mise en oeuvre du dispositif précédemment
décrit, et notamment les diverses manières de contrôler et réguler les moyens pneumatiques
équipant les conduits secondaires. Quand ces moyens pneumatiques se présentent sous
la forme d'arrivées de gaz auxiliaires débouchant dans les conduits, on peut ainsi
régler chacun des débits de jets de gaz auxiliaire séparément pour chacun d'entre
eux, et ceci dans une gamme de débit pouvant aller par exemple entre 0 et 100% d'une
valeur de débit prédéterminée. Il faut en effet que ces jets de gaz aient une action
de « freinage » de l'écoulement de poudre dans le conduit, afin d'y créer une perte
de charge et non une dépression qui provoquerait une accélération de l'écoulement.
Les débits, vitesses et directions d'injection de ces jets de gaz auxiliaire par rapport
à ceux de l'écoulement de mélange poudre-gaz doivent donc être soigneusement sélectionnés.
[0015] Une première possibilité est de fonctionner en « tout ou rien ». Si aucune disparité
locale des débits des conduits, se traduisant par une variation locale d'épaisseur
du revêtement, est détectée, le débit de ces jets de gaz auxiliaire est nul. Si une
disparité apparaît, provoquant localement des surépaisseurs dans le revêtement, le
moyen pneumatique du ou des conduits secondaires impliqués intervient pour délivrer
un jet de gaz auxiliaire de débit adapté ne pouvant dépasser une certaine valeur,
afin de diminuer suffisamment le débit de poudre du ou des conduits pour supprimer
cette surépaisseur.
[0016] Une seconde possibilité est de faire fonctionner en permanence l'ensemble des moyens
pneumatiques, qui émettent tous, quand aucune disparité n'est détectée, un jet de
gaz auxiliaire de débit donné. Ils exercent donc tous un certain effet de « freinage
» permanent sur les écoulements de mélange poudre-gaz dans les conduits, que l'on
peut compenser si besoin en adaptant en conséquence le débit de mélange poudre-gaz
dans le conduit d'amenée principal. On peut ainsi effectuer la régulation du débit
des jets de gaz auxiliaire autour de cette valeur de débit donnée. Ce mode de fonctionnement
est plus souple et laisse plus de marge de manoeuvre, puisque l'on peut aussi bien
rectifier des surépaisseurs locales de revêtement (en augmentant le débit d'émission
du jet de gaz auxiliaire approprié) que des diminutions locales d'épaisseur dudit
revêtement (en diminuant cette fois le débit d'émission du jet de gaz auxiliaire approprié).
[0017] Dans ce mode de fonctionnement, il est avantageux que la valeur de débit autour de
laquelle on régule le débit de chacun des jets de gaz auxiliaire soit d'environ 20
à 60% du débit de gaz moyen de la suspension poudre-gaz véhiculée par chacun des conduits
secondaires. De préférence, on choisit une valeur d'environ 50%, avec une régulation
du débit de chacun des jets de gaz auxiliaire de ± 50% autour de cette valeur. On
entend par débit « moyen », leur débit théorique, si aucune disparité de débit entre
conduits ne pouvait exister.
[0018] Comme précédemment mentionné, le plus simple et le plus efficace est de réguler ces
débits de jet de gaz auxiliaire non en fonction des écarts évalués quantitativement
entre les débits des conduits secondaires, ce qui serait délicat à faire, mais directement
en fonction des variations d'épaisseur détectées dans le revêtement « en aval » de
la buse de distribution. On corrige ainsi les écarts de débit indirectement.
[0019] Le dispositif et procédé de mise en oeuvre de ce dernier peuvent être avantageusement
utilisés en vu de déposer des revêtements à base d'oxyde métallique, par pyrolyse
sur un ruban de verre float chaud, notamment des revêtements d'oxydes dopés du type
SnO
2:F, par exemple à partir d'une poudre de difluorure de dibutylétain (D.B.T.F.) ou
du type ITO à partir de poudre de formiate d'indium et de dibutyloxyde d'étain.
[0020] Les détails et caractéristiques avantageuses du dispositif de distribution selon
l'invention vont maintenant ressortir d'un mode de réalisation non limitatif illustré
à l'aide des figures suivantes :
- figure 1 : une vue schématique d'ensemble d'une installation de dépôt d'un revêtement par pyrolyse
de poudre sur un substrat,
- figure 2 : une vue en coupe transversale de la buse de distribution de l'installation selon
la figure 1.
[0021] L'installation telle que montrée dans son ensemble en figure 1 permet de distribuer
de manière régulière des solides pulvérulents de toutes natures sur des substrats
divers, notamment de grandes dimensions. Dans le cadre de cet exemple non limitatif,
on l'utilise pour distribuer une poudre de composés organo-métalliques sur un ruban
1 de verre float chaud au sortir de l'enceinte du bain flottage, ruban défilant sur
un lit de rouleaux 2 selon un axe donné à une vitesse uniforme. La poudre mis ainsi
au contact de la surface du verre chaud s'y décompose pour laisser un revêtement à
base d'oxyde(s) métallique(s).
[0022] Cette installation est une optimisation de celle décrite dans le brevet européen
EP-B-0 130 919 précité dans la mesure où elle comporte en plus les moyens pneumatiques
22 spécifiques de la présente invention.
[0023] La buse 24 de l'installation représentée en figure 2 est de la même manière une optimisation
de celle décrite dans le brevet EP-0 374 023. On s'attache ci-après à décrire plus
particulièrement les caractéristiques ayant spécifiquement trait à l'invention. Pour
plus de renseignements concernant le fonctionnement de l'installation en général et
de la buse en particulier, on se rapportera donc avantageusement à ces deux brevets,
ainsi qu'aux autres brevets précédemment cités.
[0024] L'installation selon la figure 1 représente donc une trémie 3 de stockage de poudre
4 à distribuer, un mélangeur 5 dans lequel est réalisé le mélange poudre-gaz, en général
de l'air en vue de constituer une suspension aussi homogène que possible de la poudre
dans le gaz à l'aide d'une arrivée d'air 25 et d'une vis sans fin 26 alimentée en
poudre par la trémie 3. Un conduit principal d'admission 6 achemine la suspension
poudre-gaz à la sortie du mélangeur 5, un moyen de répartition 7 subdivisant la veine
unique de suspension poudre-gaz amenée par le conduit 6 en une pluralité de veines
secondaires aussi uniformes que possible, une pluralité de conduits secondaires 8
souples véhiculant celles-ci jusqu'à la buse de distribution 24. Cette buse est disposée
transversalement à l'axe de défilement du ruban de verre 2 et définit une cavité transversale
dont la longueur correspond à la largeur du ruban à revêtir. Les conduits secondaires
8 débouchent dans des injecteurs métalliques 9 disposés en ligne à l'entrée de cette
cavité.
[0025] Si on se reporte à la figure 2, on voit effectivement l'un de ces injecteurs 9 venant
projeter une veine de mélange gaz-poudre à l'entrée 10 de la cavité 11 définie par
les parois 12 intérieures de la buse, parois planes et légèrement convergentes jusqu'à
la fente de distribution 13 située à quelques millimètres de la surface du ruban de
verre 1. Des moyens d'injection de gaz sous pression sont par ailleurs prévus de part
et d'autre de la ligne des injecteurs 9, afin de faciliter la répartition en « rideau
» de poudre et l'entraînement des jets de suspension poudre-gaz issus des injecteurs
9. Ces moyens sont formés par une série de chambres 14 situées symétriquement dans
le corps de buse et reliées par une rampe 15 à une source de gaz, de l'air en général.
Ces chambres sont reliées entre elles par une cloison 16 formant entretoise, munie
d'un moyen de passage du gaz par exemple à l'aide de matériaux poreux et par des orifices
17. Les chambres 18 situées en partie supérieure de la buse débouchent dans la cavité
11 par des fentes 19 à proximité des injecteurs 9, de manière à injecter le gaz sous
pression sensiblement parallèlement aux parois 12, fentes limitées par des lèvres
20, de configuration appropriée.
[0026] Selon l'invention, chacun des injecteurs 9 est constitué schématiquement d'un cylindre
métallique creux dans lequel débouche chacun des conduits secondaires 8 de manière
étanche. Ces injecteurs comprennent en outre une arrivée de gaz du type air sous forme
d'un conduit auxiliaire 22 venant y déboucher, avec de préférence une configuration
telle entre injecteur 9 et conduit 22 que le jet de mélange poudre-gaz dans l'injecteur
et le jet de gaz que peut émettre le conduit 22 dans l'injecteur 9 fassent entre eux
un angle a compris entre 5 et 90°, de préférence d'environ 30°. Il est en effet préférable
que cet angle reste inférieur à 90° afin d'éviter tout risque de voir des traces de
poudre s'infiltrer dans le conduit 22, traces pouvant notamment perturber le bon fonctionnement
des moyens de réglage de débit qui l'équipent. Chaque conduit auxiliaire 22 est alimenté
par une source de gaz appropriée non représentée.
[0027] On peut moduler le débit de jet de gaz véhiculé par chacun des conduits 22 dans l'écoulement
poudre-gaz de chacun des injecteurs, de manière individualisée, à l'aide de boucle
de régulation. Chacun des conduit relié à une source de gaz, notamment de l'air, extérieure
à la buse, est munie d'un moyen de réglage de débit du type électrovanne. Ce moyen
de réglage, (par exemple du type débit-mètre associé à une vanne magnétique) est commandé
par une unité de contrôle en fonction des variations d'épaisseur détectées en aval
de la buse sur le revêtement 23. Cette détection peut être réalisée en continu ou
par intervalle de temps donné à l'aide d'un ou plusieurs moyens de mesure d'épaisseur
du type réflectomètres (soit un réflectomètre monté mobile au-dessus du ruban de verre
afin de « balayer » la largeur du revêtement, soit plusieurs réflectomètres disposés
en ligne au-dessus du ruban.
[0028] Le mode de fonctionnement de la buse 24 est explicité à l'aide d'un exemple de mise
en oeuvre, consistant à déposer une couche de SnO
2:F de 200 nm d'épaisseur à partir d'une poudre de dibutyldifluorure d'étain (D.B.T.F.).
Le débit massique de poudre de D.B.T.F. véhiculée dans le conduit principal d'amenée
6 est compris entre 3 et 10 kg/heure/mètre linéaire de buse. Le débit volumique du
gaz dans lequel elle est en suspension est compris entre 3 et 80 m
3/heure/mètre linéaire de buse. Le débit de gaz sous pression injecté par les fentes
19 dans la cavité est compris entre 200 et 500 m
3/h/mètre linéaire de buse.
[0029] Si le moyen de répartition 7 et la conception des conduits 6 et 8 étaient parfaits,
chaque conduit secondaire véhiculerait une veine gazeuse dont les débits massiques
en D.B.T.F. et volumique en gaz seraient exactement égaux au rapport de ceux de la
suspension véhiculée dans le conduit principal d'amenée sur le nombre de conduits
secondaires. Or il s'avère que des écarts de débit peuvent apparaître entre les jets
de mélange poudre-gaz issus de chacun des injecteurs 9, écarts conduisant à des surépaisseurs
ou au contraire des diminutions locales de l'épaisseur de revêtement déposé par rapport
à l'épaisseur moyenne de 200 nm recherchée. Ces variations transversales dans l'épaisseur
du revêtement sont préjudiciables à sa qualité, car elles peuvent, notamment, engendrer
des défauts optiques, du type irisations, peu esthétiques.
[0030] En fonctionnement normal, en l'absence de détection par le ou les réflectomètres
d'une variation locale d'épaisseur de revêtement dépassant un seuil de tolérance donné,
par exemple pas plus de 3% d'écart par rapport à l'épaisseur moyenne voulue de 200
nm, passe en permanence par chacun des injecteurs 9 un écoulement poudre-gaz provenant
du conduit secondaire 8, présentant un débit volumique de gaz d'environ 2 m
3/h et un jet de gaz émis par le conduit auxiliaire 22 d'un débit volumique en gaz
donné, notamment d'environ 1 m
3/h.
[0031] Dès qu'un réflectomètre détecte une diminution locale d'épaisseur franchissant le
seuil de 3% prédéfini, l'unité de contrôle commande la vanne du (des) conduit(s) 22
des injecteurs 9 concernés pour diminuer le débit du jet de gaz auxiliaire. Dans le
cas où il s'agit d'une surépaisseur, il faudra alors au contraire augmenter ce débit.
Ainsi, en partant d'une valeur moyenne de 1 m
3/h, le débit de chacun des jets de gaz auxiliaire peut varier entre par exemple 0,5
et 1,5 m
3/h. Plus le débit de jet de gaz auxiliaire augmente et plus il va diminuer celui de
l'écoulement poudre-gaz, et donc diminuer localement l'épaisseur du revêtement déposé.
L'unité de contrôle (ou l'opérateur) peut se servir d'abaques donnant les correspondances
directes entre variation d'épaisseur dans le revêtement et variation de débit dans
les conduits 22, sans même avoir à mesurer précisément les débits de poudre qui passent
dans les conduits 8 puis les injecteurs 9.
[0032] A noter qu'il est important que ces jets de gaz auxiliaire, au vu des débits envisagés
et des diamètres des conduits 22, conservent une vitesse suffisamment peu élevée par
rapport à celle de l'écoulement poudre-gaz dans les injecteurs 9 pour éviter de créer
une aspiration qui viendrait brutalement l'entraîner au lieu d'en moduler le débit.
[0033] Toute irrégularité dans l'épaisseur du revêtement peut ainsi être rapidement corrigée,
à distance, de manière manuelle, automatisée ou semi-automatisée. La régulation de
débit de l'écoulement de la suspension poudre-gaz provenant de chacun des conduits
secondaires 8 s'effectue par le jet de gaz auxiliaire de chacun des conduits 22, sans
aucun problème d'engorgement ou colmatage du conduit secondaire ni d'incidence préjudiciable
sur l'alimentation des autres conduits secondaires. Ainsi, si, grâce au réglage du
jet de gaz auxiliaire on diminue le débit de poudre dans le conduit secondaire 8 adhoc
pour rectifier une surépaisseur dans le revêtement, « l'excès de poudre » non délivré
par le conduit dont on a diminué le débit va se répartir régulièrement sur tous les
autres conduits au niveau du moyen de répartition.
[0034] Par ailleurs, il ressort de la description précédente que le mode d'alimentation
en poudre utilise les moyens pneumatiques de l'invention en vue d'améliorer l'uniformité
dans l'épaisseur du revêtement déposé. Mais on pourrait tout aussi bien, sans sortir
du cadre de l'invention, utiliser ces moyens pneumatiques pour créer, cette fois de
manière volontaire et contrôlée, des gradients dans l'épaisseur du revêtement déposé,
à tout le moins transversalement à l'axe de défilement du substrat, si cela s'avérait
utile ou avantageux de fabriquer des revêtements présentant de telles caractéristiques.
1. Dispositif de distribution de solide pulvérulent en suspension dans un gaz, en vue
de déposer un revêtement (23), notamment par pyrolyse, sur un substrat en défilement,
notamment du type ruban de verre float (1), ce dispositif comprenant une buse de distribution
(24) dont les parois (12) définissent une cavité (11) qui se termine par une fente
de distribution (13) longitudinale, et un système d'alimentation en poudre de ladite
buse comportant un conduit principal d'amenée de poudre (6) muni d'un moyen de répartition
(7) et une pluralité de conduits secondaires (8) d'amenée de poudre connectés audit
conduit principal à l'aide dudit moyen de répartition et permettant d'alimenter en
poudre la cavité (11) sur toute sa longueur, caractérisé en ce qu'au moins une partie des conduits secondaires (8) est équipée d'au moins un moyen pneumatique
(22) apte à moduler le débit de la suspension poudre-gaz que chacun des conduits secondaires
concernés est destiné à véhiculer.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen pneumatique est apte à générer une perte de charge contrôlée par des moyens
de réglage, manuels ou automatisés, dudit moyen pneumatique.
3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de réglage du moyen pneumatique font partie d'une boucle de régulation,
sous commande d'une unité de contrôle connectée à au moins un moyen de mesure de qualité
ou d'épaisseur du revêtement déposé sur le substrat.
4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le moyen pneumatique qui équipe les conduits secondaires (8) comporte au moins un
conduit d'amenée de gaz auxiliaire (22) qui débouche dans chacun desdits conduits.
5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que chaque conduit d'amenée de gaz auxiliaire (22) est muni d'un moyen de réglage de
débit ou pression de gaz.
6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les conduits secondaires (8) comportent des canalisations, de préférence souples,
dont les extrémités débouchant à l'entrée de la cavité de la buse sont constituées
par des injecteurs (9) rigides, notamment métalliques.
7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens pneumatiques comportent des amenées de gaz auxiliaires (22) qui débouchent
dans les conduits secondaires (8) en tout point de la canalisation ou au niveau de
la jonction canalisation-injecteur ou au niveau de l'injecteur (9).
8. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que chacun des conduits secondaires (8) destinés à véhiculer la suspension poudre-gaz
est muni à son extrémité d'un injecteur (9), les injecteurs des conduits étant régulièrement
disposés en ligne dans l'orifice d'entrée de la cavité (11) de la buse sur toute sa
longueur et étant tous munis d'une arrivée de gaz auxiliaire (22) à débit de gaz variable
et en ce que la cavité (11) de la buse (24) est également munie de moyens d'injection de gaz sous
pression (19) pour entraîner la suspension poudre-gaz émise par les injecteurs (9),
moyens d'injection de préférence disposés symétriquement de part et d'autre de la
ligne d'injecteurs.
9. Procédé de mise en oeuvre du dispositif selon l'une des revendications précédentes,
caractérisé en ce que les moyens pneumatiques introduisent un jet de gaz dans chacun des conduits secondaires
(8) et en ce qu'on règle séparément le débit de chacun desdits jets, ce débit pouvant prendre toute
valeur entre 0 et 100% d'un débit donné.
10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que les moyens pneumatiques émettent en permanence un jet de gaz dont on régule le débit
autour d'une valeur de débit donnée.
11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que la valeur de débit autour de laquelle on régule le débit de chacun des jets de gaz
émis par les moyens pneumatiques est d'environ 20 à 60%, notamment 50% du débit de
gaz moyen de la suspension poudre-air véhiculée par chaque conduit secondaire (8).
12. Procédé selon l'une des revendications 9 à 11, caractérisé en ce qu'on régule la valeur de débit pour chacun des jets émis par les moyens pneumatiques
en fonction des variations d'épaisseur détectées dans le revêtement (23) déposé en
aval de la buse (24) de distribution.
13. Utilisation du dispositif selon l'une des revendications 1 à 8 ou du procédé selon
l'une des revendications 9 à 12 pour déposer des revêtements (23) d'oxydes métalliques
par pyrolyse sur un ruban de verre float chaud (1), notamment des revêtements d'oxydes
dopés du type SnO2:F à partir de poudre de difluorure de dibutylétain ou du type ITO à partir de poudre
de formiate d'indium et de dibutyloxyde d'étain.
1. Device for the distribution of pulverulent solid suspended in a gas for the deposition
of a coating (23), particularly by pyrolysis, on a moving substrate, more particularly
a float glass ribbon (1), said device comprising a distributing nozzle (24), whose
walls (12) define a cavity (11) terminated by a longitudinal distribution slot (13),
and a system for supplying powder to said nozzle having a main, powder supply pipe
(6) equipped with an apportioning means (7) and a plurality of secondary, powder supply
pipes (8) connected to said main pipe with the aid of said apportioning means and
making it possible to supply powder to the cavity (11) over the entire length thereof,
characterized in that at least part of the secondary pipes (8) is equipped with at
least one pneumatic means (22) able to modulate the powder-gas suspension flow rate
to be transported by each of the secondary pipes in question.
2. Device according to claim 1, characterized in that the pneumatic means is able to
produce a pressure drop controlled by manual or automated regulating means of said
pneumatic means.
3. Device according to claim 2, characterized in that the regulating means of the pneumatic
means form part of a regulating loop, under the control of a control unit connected
to at least one means for measuring the quality or thickness of the coating deposited
on the substrate.
4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the pneumatic
means equipping the secondary pipes (8) has at least one auxiliary gas supply pipe
(22) issuing into each of said pipes.
5. Device according to claim 4, characterized in that each auxiliary gas supply pipe
(22) is equipped with a means for regulating the gas flow rate or pressure.
6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the secondary
pipes (8) incorporate preferably flexible ducts, whose ends issuing at the intake
of the cavity of the nozzle are constituted by rigid injectors (9), particularly metallic
injectors.
7. Device according to claim 6, characterized in that the pneumatic means incorporate
auxiliary gas inlets (22) issuing into the secondary pipes (8) at any point of the
duct or at the level of the duct-injector junction or at the level of the injector
(9).
8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that each of the
secondary pipes (8) for transporting the powder-gas suspension is equipped at its
end with an injector (9), the injectors of the pipes being regularly arranged in line
in the intake orifice of the nozzle cavity (11) over the entire length thereof and
all are provided with an auxiliary gas intake (22) having a variable gas flow rate
and in that the cavity (11) of the nozzle (24) is also equipped with pressurized gas
injection means (19) for transporting the powder-gas suspension discharged by the
injectors (9), the injection means preferably being arranged symmetrically on either
side of the line of injectors.
9. Process for using the device according to one of the preceding claims, characterized
in that the pneumatic means introduce a gas jet into each of the secondary pipes (8)
and in that the flow rate of each of the jets is regulated separately and said rate
can assume any value between 0 and 100% of a given flow rate.
10. Process according to claim 9, characterized in that the pneumatic means permanently
discharge a gas jet, whereof the flow rate is regulated around a given flow rate value.
11. Process according to claim 10, characterized in that the flow rate value around which
the flow rate of each of the gas jets discharged by the pneumatic means is regulated
is approximately 20 to 60%, particularly 50% of the mean gas flow rate of the powder-air
suspension transported by each secondary pipe (8).
12. Process according to one of the claims 9 to 11, characterized in that the flow rate
value for each of the jets discharged by the pneumatic means is regulated as a function
of thickness variations detected in the coating (23) deposited downstream of the distributing
nozzle (24).
13. Use of the device according to one of the claims 1 to 8 or the process according to
one of the claims 9 to 12 for depositing metal oxide coatings (23) by pyrolysis on
a hot float glass ribbon (1), particularly doped oxide coatings of the SnO2:F type, based on dibutyl tin difluoride powder, or of the ITO type based on tin dibutyl
oxide and indium formate powder.
1. Vorrichtung zur Verteilung eines in einen Gas suspendierten pulverförmigen Feststoffs,
um, insbesondere durch Pyrolyse, auf einem vorbeilaufenden Substrat, speziell einem
Floatglasband (1), eine Beschichtung (23) aufzubringen, wobei die Vorrichtung eine
Verteilerdüse (24), deren Wände (12) einen Hohlraum (11) begrenzen, der in einen Längsverteilerschlitz
(13) ausläuft, und ein System für die Versorgung dieser Düse mit Pulver umfaßt, das
eine Pulver-Hauptzuleitung (6) enthält, die mit einem Verteilungsmittel (7) und einer
Vielzahl von Pulver-Nebenzuleitungen (8) versehen ist, welche an die Hauptzuleitung
mittels des Verteilungsmittels angeschlossen sind und es ermöglichen, den Hohlraum
(11) über dessen gesamte Länge mit Pulver zu versorgen, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil der Nebenzuleitungen (8) mit mindestens einem pneumatischen Mittel
(22) ausgestattet ist, das in der Lage ist, den Durchsatz der Pulver-Gas-Suspension
zu verändern, welche die betreffenden Nebenzuleitungen transportieren.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das pneumatische Mittel einen Druckverlust erzeugen kann, der von manuellen oder
automatisierten Mitteln zur Regelung des pneumatischen Mittels kontrolliert wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Regelung des pneumatischen Mittels Teil eines Regelkreises unter Steuerung
einer Kontrolleinheit sind, die an mindestens ein Mittel zur Messung der Qualität
oder Dicke der auf das Substrat aufgebrachten 3eschichtung angeschlossen ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das pneumatische Mittel, mit welchem die Nebenzuleitungen (8) ausgestattet sind,
mindestens eine Hilfsgaszuleitung (22) enthält, die in jede dieser Leitungen mündet.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jede Hilfsgaszuleitung (22) mit einem Mittel zur Regelung des Gasdurchsatzes oder
-drucks versehen ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Nebenzuleitungen (8) vorzugsweise nachgiebige Leitungen enthalten, deren Ende,
das in den Eingang des Düsenhohlraums mündet, aus einem starren, insbesondere metallischem
Injektor (9) besteht.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die pneumatischen Mittel Hilfsgaszuleitungen (22) enthalten, welche in die Nebenzuleitungen
(8) an einem beliebigen Punkt der Leitung, an der Verbindung Leitung-Injektor oder
am Injektor (9) münden.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Nebenzuleitungen (8), welche die Pulver-Gas-Suspension transportieren, am
Ende mit einem Injektor (9) versehen ist, wobei die Injektoren der Leitungen regelmäßig
nebeneinander in der Eingangsöffnung des Hohlraums (11) der Düse über deren gesamter
Länge angeordnet und mit einer Hilfsgaszuleitung (22) mit veränderbarem Gasdurchsatz
versehen sind, und daß der Bohlraum (11) der Düse (24) ebenfalls mit vorzugsweise symmetrisch auf beiden
Seiten der Injektorlinie angeordneten injektionsmitteln (19) für Druckgas versehen
ist, um die von den Injektoren (9) abgegebene Pulver-Gas-Suspension mitzureißen.
9. Verfahren zur Anwendung der Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die pneumatischen Mittel in die jeweilige Nebenzuleitung (8) einen Gasstrahl blasen,
und daß der jeweilige Durchsatz der Strahlen getrennt geregelt wird und eine Höhe zwischen
0 und 100 % eines vorgegebenen Durchsatzes annehmen kann.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die pneumatischen Mittel ständig einen Gasstrahl abgeben, dessen Durchsatz um eine
vorgegebene Höhe geregelt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe, um welche der Durchsatz jedes Gasstrahls geregelt wird, der von den pneumatischen
Mitteln abgegeben wird, etwa 20 bis 60 % und insbesondere 50 % des mittleren Gasdurchsatzes
der jeweils von den Nebenzuleitungen (8) transportierten Pulver-Gas-Suspension beträgt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe des Durchsatzes jedes der von den pneumatischen Mitteln abgegebenen Strahlen
in Abhängigkeit von den Dickenschwankungen geregelt wird, welche in der Beschichtung
(23) gemessen werden, die nach der Verteilerdüse (24) aufgebracht wird.
13. Anwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 oder des Verfahrens nach
einem der Ansprüche 9 bis 12 zum Aufbringen von Metalloxidbeschichtungen (23), insbesondere
Beschichtungen aus dotierten Oxiden wie SnO2:F ausgehend von Dibutylzinndifluorid-Pulver oder ITO ausgehend von Indiumformiat-
und Dibutylzinnoxidpulver durch Pyrolyse auf ein heißes Floatglasband (1).