(19)
(11) EP 1 096 152 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.05.2001  Patentblatt  2001/18

(21) Anmeldenummer: 00122662.0

(22) Anmeldetag:  18.10.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 29/52, F04D 29/08
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 28.10.1999 DE 19951954

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Lotz, Heinrich
    35578 Wetzlar (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (10) und Statorscheiben (14), welche abwechselnd hintereinander angeordnet sind und durch ihr Zusammenwirken einen Pumpeffekt erzeugen. Jeweils eine Statorscheibe (14) bildet mit einem Distanzring (16), welcher den Abstand zwischen den Statorscheiben fixiert, und einem Teil (17) des zylindrischen Gehäuses ein einstückiges Statorelement (12). Die Rotorscheiben (10) werden mit Klemmvorrichtungen (24) auf der Rotorwelle (4) befestigt. Dadurch wird eine Montage mit ungeteilten Statorscheiben ermöglicht.






Recherchenbericht