(19)
(11) EP 1 101 944 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(43) Veröffentlichungstag A2:
23.05.2001  Patentblatt  2001/21

(21) Anmeldenummer: 00124676.8

(22) Anmeldetag:  11.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 29/08
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 22.11.1999 DE 19956015

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Lotz, Heinrich
    35578 Wetzlar (DE)
  • Stanzel, Jörg
    35583 Wetzlar (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit Rotor (10) und Statorscheiben (14). Das zylindrische Gehäuse der Pumpe besteht aus mindestens zwei entlang der Zylinderachse (5) getrennten Teilen, welche mit den entsprechend getrennten Teilen der Statorscheiben (14) jeweils eine einstückige Baueinheit (12, 12') bilden.






Recherchenbericht