| (19) |
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(11) |
EP 0 947 600 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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12.03.2003 Patentblatt 2003/11 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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06.10.1999 Patentblatt 1999/40 |
| (22) |
Anmeldetag: 21.01.1999 |
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| (51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 8/22 |
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
04.04.1998 DE 19815233
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| (71) |
Anmelder: ALD Vacuum Technologies Aktiengesellschaft |
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63450 Hanau (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Schmitt, Günther
63454 Hanau (DE)
- Preisser, Friedrich Dr.
63654 Büdingen (DE)
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| (54) |
Verfahren zur Vakuumaufkohlung unter Behandlungsgas |
(57) Bei einem Verfahren zur Vakuumaufkohlung unter Behandlungsgas, bei der Stahl im Grobvakuum
bei Gasdrücken bis zu etwa 20 mbar unter Verwendung von Propan (C
3H
8) als Kohlenstoffspender bei einer Temperatur von etwa 250 °C aufgekohlt wird, wird
dem Propan Wasserstoffgas (H
2) in einem Verhältnis von etwa 1 : 1 bis etwa 1 : 2 (Wasserstoffüberschuß) zugemischt,
wobei das Absaugen der Zersetzungsprodukte des Propans über einen mit der Behandlungskammer
verbundenen Pumpstand erfolgt.