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(11) | EP 1 103 985 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Optisches Fokussierelement und Messsystem |
(57) Die Erfindung betrifft ein optisches Element zur Fokussierung von elektromagnetischen
Strahlen (20, 21) oder Strahlen von Elementarteilchen, insbesondere von Röntgenstrahlen,
umfassend eine Fresnelsche Zonenplatte (30) mit Ringzonen, die durchlässig für die
Strahlen (20, 21) sind und Ringzonen, die für die Strahlen (20, 21) un-durchlässig
sind und ferner ein Meßsystem, insbesondere zum Vermessen von inneren Bereichen dreidimensionaler
Proben mit hoher Ortsauflösung und einer Apparatur zur Veränderung der physikalischen,
chemischen und/oder biologischen Eigenschaften eines Bereichs einer Probe, insbesondere
eines Innenbereichs einer Probe. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß das
optische Element dadurch weitergebildet ist, daß die für die Strahlen (20, 21) durchlässigen
Ringzonen der Fresnelschen Zonenplatte (30) teilweise für die Strahlen (20, 21) undurchlässig
sind. Die Erfindung zeichnet sich ferner dadurch aus. daß das Meßsystem und die Apparatur
zur Veränderung der Eigenschaften eines Bereichs einer Probe wenigstens ein entsprechendes
optisches Element umfassen. |