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(11) | EP 1 087 422 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Gasentladungslampe mit kapazitiver Einkoppelstruktur |
(57) Die Erfindung bezieht sich auf eine Gasentladungslampe mit einem mit einem Füllgas
mit einem Füllgasdruck p gefüllten Gasentladungsgefäß und wenigstens einer kapazitiven
Einkoppelstruktur. Um die Effizienz der Gasentladungslampe zu verbessern, wird vorgeschlagen,
dass eine mit dem Gasentladungsgefäß verbundene und wenigstens einen Hohlraum mit
einer Oberfläche A und einem Volumen V gemäß p·V/A < 10 cm Torr umschließende Elektrode
aus einem dielektrischen Material mindestens eine kapazitive Einkoppelstruktur bildet.
Eine solche dielektrische oder kapazitive Elektrode ist erfindungsgemäß derart geformt,
dass sie einen Hohlraum besitzt, der bis auf eine Verbindung zum Gasentladungsgefäß
vakuumdicht abgeschlossen ist. Er besitzt auf der Innenseite der Elektrode eine Oberfläche
A und umschließt ein Volumen V. Für die Dimensionierung des Hohlraums gilt p·V/A <
10 cm Torr, wobei der Füllgasdruck p in Torr angegeben ist. |