SYSTEM ZUR PULSATIONSFREIEN FÖRDERUNG VON FLÜSSIGKEITEN

Beschreibung

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Flüssigkeitsförderssystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten, das für hochreine, flüssige Chemikalien in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.

[0002] In Produktionsverfahren der Halbleiterindustrie werden üblicherweise hochreine Chemikalien eingesetzt, an die sehr hohe Anforderungen bezüglich der Partikelfreiheit gestellt werden. Da es sich bei den verwendeten Chemikalien häufig um stark ätzende oder oxidierende Substanzen handelt werden entsprechend hohe Ansprüche an die Reinheit bzw. Resistenz der mit den Chemikalien in Berührung kommenden Materialien gestellt. Besonders kritisch bezüglich der Partikelfreisetzung sind in diesem Zusammenhang Stellen, an denen die Chemikalien mit beweglichen Teilen im System in Berührung kommen. Die Anforderungen an die Partikelfreiheit wachsen ständig und bisher bekannte Vorrichtungen können diese neuen Anforderungen nicht in zufriedenstellender Weise erfüllen.

[0003] Aus WO86/03263 ist ein Flüssigkeitsfördersystem bekannt, das die Merkmale des Oberbegriffs von Anspruch 1 zeigt und das eine Anordnung zur Dämpfung von Schwingungen in geschlossenen Flüssigkeitsfördersystemen aufweist. Es weist in einem Zirkulationssystem eine Vorlaufleitung, einen Verbraucher, eine Rücklaufleitung und eine Umwälzpumpe auf. Zum Auffangen von Druckstößen beim Ausfall der Umwälzpumpe sind außerhalb des eigentlichen Zirkulationssystems vor der Umwälzpumpe in Reihe geschaltete, mit Rückschlagventilen versehene Dämpfungsbehälter angeschlossen. In diesem System wird die eigentliche Förderung der Flüssigkeiten durch die Umwälzpumpe bewirkt.

[0004] Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher, ein System zur Verfügung zu stellen, welches möglichst wenige bewegliche Teile, wie z. B. Pumpen aufweist.

[0005] Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch ein Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung, welches Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf fördert und mindestens einen Zwischenbehälter aufweist.

[0006] Insbesondere erfolgt die Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabe durch ein Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten nach Anspruch 1.

[0007] Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein solches pulsationsfreies Flüssigkeitsfördersystem in seinen besonderen Ausgestaltungen, wie es durch die Ansprüche 2 bis 7 charakterisiert ist, ebenso wie ein Verfahren zum Betrieb eines Flüssigkeitskreislaufs in diesem Fördersystem, welches durch die Ansprüche 8 bis 14 charakterisiert ist.

[0008] In diesem erfindungsgemäßen System sind also mindestens zwei parallel geschaltete kleine Druckbehälter eingebunden, welche mittels einer Druckdifferenz zum Speicherbehälter die flüssigen Chemikalien fördern und eine Pumpe ersetzen.

[0009] Von diesen zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehältern (D1, D2) wird der eine mittels einer Pumpe befüllt, während der andere mit einem Überdruck im Vergleich zum Lagerbehälter (B1) beaufschlagt wird und die Flüssigkeit von ihm ausgehend im Kreislauf fördert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuerbare Ventile erfolgt.

[0010] Charakteristisch ist für dieses Fördersystem, daß der kleine Behälter (D1 oder D2), welcher den höheren Druck aufweist, einen Überdruck von 2 bis 6 bar besitzt, und daß die beiden kleinen Behälter der Anlage im Betrieb abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird.

[0011] In einer Ausgestaltung der Erfindung weist der eine der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) im befüllten Zustand einen Druck auf, welcher sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m zwischen dem Lagertank (B1) und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, die sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank. Jeweils einer der kleinen Druckbehälter wird aus dem mit ihm verbundenen Lagerbehälter befüllt, und zwar aufgrund einer Druckdifferenz, die sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m zwischen dem Lagerbehälter und den parallel geschalteten Druckbehältern, welche sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank, ergibt, während der andere kleine Druckbehälter mit einem Überdruck beaufschlagt wird und die Flüssigkeit von ihm ausgehend im Kreislauf gefördert wird, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektronisch steuerbare Ventile erfolgt.

[0012] In einer besonderen Ausführungsform ist der eine der parallel geschalteten kleinen Behälter mit einem Druck beaufschlagt, der sich aus einer Höhendifferenz von 1 m zwischen dem Lagertank und den beiden parallel geschalteten Behältern ergibt.

[0013] Gemäß einer Weiterbildung kann die Befüllung der Druckbehälter aus dem Lagerbehälter erfolgen, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kommunizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.

[0014] Am Ende des Rezirkulationskreislaufs (RK) des Fördersystems wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter (B1) reduziert wird.

[0015] Diese Druckreduzierung kann durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung erfolgen.

[0016] Eine Weiterbildung der Erfindung kann insbesondere durch ein Fördersystem erfolgen, dessen Lagerbehälter einen Überdruck von größer gleich 0,05 bar aufweist, wobei die kleinen Druckbehälter als Behälter für hohen Druck ausgelegt sind.

[0017] Im gesamten Rezirkulationskreislauf fällt der Druck in Abhängigkeit von dem Förderstrom ab. Der Restdruck kann, wie oben gesagt, durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung auf den Innendruck des Speicher- oder Lagerbehälters reduziert werden.

[0018] Das erfindungsgemäße Flüssigkeitsfördersystem ermöglicht die Förderung von Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf, wobei nur ein größerer Speicherbehälter oder Lagerbehälter (Day-Tank) benötigt wird.

[0019] Ein besonderer Vorteil dieses Fördersystems ist, daß eine Pumpe durch zwei parallel geschaltete, kleine Druckbehälter ersetzt wird. Diese Druckbehälter besitzen, ein Volumen von 1-200 l. Während der eine Druckbehälter durch die Druckdifferenz, die sich aus der statische Höhendifferenz (> 0,5 m) des Speicher- oder Lagerbehälters (B1) zu den Druckbehältern (D1, D2) ergibt, oder mittels einer Pumpe befüllt wird, fördert der andere durch Anlegen eines höheren Überdrucks (2 -6 bar) zum Speicherbehälter die Flüssigkeit im Kreislauf. Dies läßt sich durch entsprechendes Schalten von elektronisch steuerbaren Ventilen bewerkstelligen. Am Ende des Rezirkulationskreislaufes wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter B1 mittels eines Ventils, einer Blende oder Rohrverengung vermindert. Die Befüllung des Lagertanks von außen kann mittels Pumpen (Semi-Pumpsystem) oder auch durch Druck (Drucksystem erfolgen).

[0020] Die Befüllung der Druckbehälter D1 bzw. D2 aus dem Speicherbehälter B1 läßt sich auch durch einen leichten Überdruck in B1 (>0.05 bar) bewerkstelligen (s.o.). In diesem Fall muß aber B1 der Druckbehälterverordnung genügen.

[0021] Durch den hier beschriebenen Aufbau des erfindungsgemäßen Fördersystems ergeben sich folgende Vorteile gegenüber herkömmlichen Systemen:

[0022] Das System kombiniert die Vorteile von Pumpsystemen, durch die ein größerer Druckbehälter eingespart werden kann, mit denen der Drucksysteme. Letztere zeichnen sich durch einen kontinuierlichen Fluß und durch das Fehlen von beweglichen Verschleißteilen aus. Dieses System ist vorteilhaft im Einsatz als Versorgungssystem von Elektronikchemikalien, da besonders bei der Partikelreduktion deutliche Verbesserungen gegenüber Pumpsystemen gefunden wurden. Ein anderer wesentlicher Vorteil gegenüber bekannten Versorgungssystemen ist die pulsationsarme Fahrweise des gesamten Systems.

[0023] Weiterhin ist dieses System erheblich preisgünstiger als andere übliche Drucksysteme, bei denen z. B. mit zwei größeren Lagerbehältern (Druckbehältern, > 3 bar) gearbeitet wird, da hier nur ein druckloser Lagerbehälter und zwei kleine Druckbehälter ( >2 bar) benötigt werden.

[0024] Der durch das System erzeugte kontinuierliche, gleichmäßige Flüssigkeitsfluß ist mit einer Partikelreduktion verbunden. Dadurch arbeiten in den Kreislauf eingebaute Filter effektiver, weil dieses System im Gegensatz zu mit Membran- oder Faltenbalgpumpen aufgebauten System pulsationsfrei läuft. Es unterliegt auch der Druck an den Entnahmestellen (POU) keiner Pulsation und läßt sich sehr stabil halten.

[0025] Ein ganz besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Systems besteht in der Reduktion mechanisch beweglicher Teile:

• Das Fördersystem besitzt außer den Ventilen keine beweglichen Teile. Auf Pumpen wird innerhalb des Rezirkulationskreislaufes verzichtet. Auf diese Weise ist das System im Betrieb deutlich sicherer in Bezug auf Störungsanfälligkeit. Es ist weniger Service notwendig und es ergeben sich geringere Standzeiten, in denen Verschleißteile wie z.B. Pumpenteile ausgetauscht werden müssen
• Da die Flüssigkeit nicht durch die mechanisch beweglichen Teile der Pumpe gefördert wird , wie z.B. beim Faltenbalg-, beziehungsweise bei Membran- oder Kreiselpumpen, werden weniger Partikel in die Flüssigkeit abgegeben, was bei der Förderung von Elektronikchemikalien von besonderem Vorteil ist.

[0026] Vergleicht man das erfindungsgemäße System mit herkömmlichen Pumpsystemen, ergeben sich demnach folgende Vorteile:

[0027] Bei Einsatz von Pumpsystemen mit Rezirkulationskreislauf sind die Pumpen in der Halbleiterindustrie rund um die Uhr im betrieb (typischer Wert: 99,9 % up-time im Jahr). Durch diesen Dauereinsatz, oft noch dazu in Gegenwart sehr aggressiver Chemikalien bedürfen die Pumpen ständiger Wartung. Um Unterbrechungen bei der Chemikalienförderung zu vermeiden, müssen die Pumpen immer redundant ausgelegt sein, d. h. es müssen im Störfall parallel Pumpen vorhanden sein, die automatisch ersatzweise eingeschaltet werden.

[0028] Im Vergleich dazu weist das erfindungsgemäße Semipumpsystem wesentlich weniger Verschleißteile auf und der Wartungsaufwand ist entsprechend geringer.

[0029] Desweiteren werden von der Halbleiterindustrie fast nur noch Druckluftpumpen, d. h. Membran- und Faltenbalgpumpen, aus Kunststoff (meist PTFE) eingesetzt. Diese Pumpen verursachen mehr oder weniger starke Pulsationen in der zu fördernden Flüssigkeit (Druckschwankungen), was die Filtrationsleistung von Membranfiltern deutlich mindert. Außerdem geben, wie oben schon erwähnt, mechanisch bewegliche Teile der Pumpen (Ventile, Membran, Faltenbalg) unerwünschte Partikel in das zu fördernde Medium ab.

[0030] im Vergleich zu Vakuum-Druck-Systemen weist das erfindungsgemäße System folgende Vorteile auf:

[0031] Zum Befüllen der Druckbehälter in Vakuum-Druck-Systemen ist das Anlegen eines Vakuums notwendig, wodurch die flüssige Chemikalie von einem Speicherbehälter in die Druck- bzw. Vakuumbehälter befördert wird. Dieses Prinzip ist begrenzt durch die Förderleistung der Vakuumpumpenleistung. Auch kann bei Verwendung von gesättigten Lösungen von Gasen (z. B. NH₄OH 28 %, HCI 36 % usw.) nur ein sehr schwacher Unterdruck angelegt werden, da die sonst ein Ausgasen verursacht wird, was mit einer Konzentrationsänderung verbunden wäre.

[0032] Zum besseren Verständnis und zur Verdeutlichung wird im folgenden beispielhaft ein Fließschema eines solchen Fördersystems gegeben.

[0033] Fig. 1 zeigt eine Skizze eines Chemikalienförder- bzw. Chemikalienversorgungssystems mit Chemikalienrezirkulationseinheit, worin B1 einen Speicherbehälter oder Mischbehälter darstellt, der durch Pumpen oder Druck befüllt werden kann. B1 und die Druckbehälter D1 und D2 befinden sich auf verschiedenen Ebenen, so daß sich zwischen dem Füllstandsniveau von D1 _max (D2)_max und dem des Behälters B1_min eine minimale statische Höhendifferenz ergibt, die ausreicht um den Druckbehälter zu befüllen.

[0034] Fig. 2 zeigt eine Pumpeneinheit, mit der das erfindungsgemäße Fördersystem versehen sein kann. Es handelt sich um einen Ausschnitt der Fig 1.

C1

Chemikalienzuleitung (aus Misch- und Transportbehälter)

RK

Rezirkulationskreislauf

B1

Lagerbehälter (Day-Tank)

D1, D2

Druckbehälter (5 bis 200 I, bis 6 bar)

V1.1, V1.2

Befüllungsventile

V2.1, V2.2

Ventile auf Druckseite

V3.1, V3.2

N₂-Einlaßventile

V4.1, V4.2

N₂-Entlüftungsventile

V5

Ventil zum Steuern der Durchflußmenge oder des Durchflusses

V6

Ventil zum POU

POU

Chemikalienabnahmestelle (point of use)

F

Filtrationselemente

S

Füllstandssensor (optional)

Ansprüche

1. Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten mit einem Rezirkulationskreislauf, einem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und mit mindestens zwei parallel geschalteten Druckbehältern (D1, D2), dadurch gekennzeichnet, dass der Rezirkulationskreislauf (RK)

a) den Speicher- oder Lagerbehälter (B1) sowie

b) die mindestens zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehälter (D1, D2), welche ein Volumen von 1-200 l aufweisen und welche mittels einer Druckdifferenz zum Speicher- oder Lagerbehälter die Flüssigkeit fördern und eine Pumpe ersetzen, wobei die beiden kleinen Druckbehälter im Betrieb abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird und wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuerbare Ventile (V 1.1, V 1.2, V 2.1, V 2.2, V 5 , V 6) erfolgt,

enthält.

2. Fördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass der Rezirkulationskreislauf (RK) ein Mittel zur Druckreduzierung im Rücklauf zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) aufweist.

3. Fördersystem gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß sich zur Reduzierung des Drucks im Rezirkulationskreislauf (RK) ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung im Rücklauf zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) befindet.

4. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 - 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Speicher- oder Lagerbehälter (B1) für einen Überdruck größer gleich 0,1 bar ausgelegt ist und die Druckbehälter (D1 und D2) als Behälter zum Betrieb bei Überdruck von 2 bis 6 bar ausgelegt sind.

5. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 - 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Rezirkulationskreislauf (RK) Filter (F) eingebaut sind.

6. Fördersystem gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Speicher- oder Lagerbehälter (B1) auf einer höheren Ebene steht als die parallel geschalteten Behälter (D1 und D2), so dass sich zwischen dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und den parallel geschalteten Behältern (D1 und D2) eine Höhendifferenz ergibt.

7. Verfahren zum Betrieb eines Flüssigkeitskreislaufs in dem Flüssigkeitsfördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von den mindestens zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehältem (D1, D2) ein Druckbehälter befüllt wird, während der andere mit einem Überdruck im Vergleich zum Speicher- oder Lagerbehälter (B1) beaufschlagt wird und die Flüssigkeit im Kreislauf fördert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch die elektrisch steuerbaren Ventile erfolgt.

8. Verfahren gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die kleinen Druckbehälter (D1 und D2) abwechselnd mit Druck beaufschlagt werden, wodurch ein kontinuierlicher Flüssigkeitsstrom erzeugt wird.

9. Verfahren gemäß der Ansprüche 7, bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die kleinen Behälter (D1 und D2) abwechselnd mit einem Überdruck von 2 bis 6 bar beaufschlagt werden.

10. Verfahren gemäß der Ansprüche 7 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der in einem der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) einen Druck eingestellt wird, der sich aus einer Höhendifferenz zwischen dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, welche sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank.

11. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem der parallel geschalteten kleinen Behälter (D1 oder D2) ein Druck eingestellt wird, der sich aus einer Höhendifferenz von mindestens 0,5 m ergibt.

12. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der eine der parallel geschalteten kleinen Behältern (D1 oder D2) einen Druck aufweist, der sich aus einer Höhendifferenz von bis zu 1 m ergibt.

13. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Befüllung der Druckbehälter (D1, D2) aus dem Speicher- oder Lagerbehälter (B1) erfolgt, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kommunizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.

Claims

1. Liquid-delivery system for pulsation-free delivery of liquids, having a recirculation circuit, a storage tank (B1) and at least two pressure tanks (D1, D2) connected in parallel, characterized in that the recirculation circuit (RK) contains

a) the storage tank (B1) and

b) the at least two small pressure tanks (D1, D2) connected in parallel, which have a volume of 1 - 200 1 and which by means of a pressure difference relative to the storage tank deliver the liquid and replace a pump, the two small pressure tanks being alternately pressurized during operation, as a result of which a continuous liquid flow is produced, the liquid flow being controlled by electrically controllable valves (V 1.1, V 1.2, V 2.1, V 2.2, V 5, V 6).

2. Delivery system according to Claim 1, characterized in that the recirculation circuit (RK) has a means of reducing pressure in the return to the storage tank (B1).

3. Delivery system according to Claim 2, characterized in that a valve, a restrictor or a pipe constriction is located in the return to the storage tank (B1) in order to reduce the pressure in the recirculation circuit (RK).

4. Delivery system according to Claims 1 to 2, characterized in that the storage tank (B1) is designed for a positive pressure of greater than or equal to 0.1 bar, and the pressure tanks (D1 and D2) are designed as tanks for operating at a positive pressure of 2 to 6 bar.

5. Delivery system according to Claims 1 to 2, characterized in that filters (F) are fitted in the recirculation circuit (RK).

6. Delivery system according to one or more of Claims 1 to 5, characterized in that the storage tank (B1) is at a higher level than the tanks (D1 and D2) connected in parallel, so that a height difference results between the storage tank (B1) and the tanks (D1 and D2) connected in parallel.

7. Method for operating a liquid circuit in the liquid-delivery system according to Claim 1, characterized in that, of the at least two small pressure tanks (D1, D2) connected in parallel, one pressure tank is filled, whereas the other is pressurized with a positive pressure compared with the storage tank (B1) and delivers the liquid in the circuit, the control of the liquid flow being effected by the electrically controllable valves.

8. Method according to Claim 7, characterized in that the small pressure tanks (D1 and D2) are alternately pressurized, as a result of which a continuous liquid flow is produced.

9. Method according to Claims 7 to 8, characterized in that the small tanks (D1 and D2) are alternately pressurized with a positive pressure of 2 to 6 bar.

10. Method according to Claims 7 to 8, characterized in that in one of the small tanks (D1 or D2) connected in parallel a pressure is set, which pressure results from a height difference between the storage tank (B1) and the height of the small tanks, which are located at a lower level than the storage tank.

11. Method according to Claim 10, characterized in that in one of the small tanks (D1 or D2) connected in parallel a pressure is set, which pressure results from a height difference of at least 0.5 m.

12. Method according to Claim 10, characterized in that one of the small tanks (D1 or D2) connected in parallel has a pressure which results from a height difference of up to 1 m.

13. Method according to Claim 10, characterized in that the pressure tanks (D1, D2) are filled from the storage tank (B1) by the liquid being delivered into the pressure tanks through communicating pipelines by means of a slight positive pressure.

Revendications

1. Système de refoulement de liquides, pour le refoulement sans pulsation de liquides, comportant un circuit de recirculation, un récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1), et au moins deux récipients sous pression (D1, D2), montés en parallèle, caractérisé en ce que le circuit de recirculation (RK) contient

a) le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1), ainsi que

b) les au moins deux petits récipients sous pression (D1, D2) montés en parallèle, qui ont un volume de 1 à 200 1 et qui, moyennant une différence de pression, refoulent le liquide vers le récipient d'emmagasinage ou de stockage et remplacent une pompe, les deux récipients sous pression étant soumis à une pression en alternance, ce qui crée un courant continu de liquide, la régulation du courant de liquide étant réalisée par des vannes à commande électrique (V 1.1, V 1.2, V 2.1, V 2.2, V 5, V 6).

2. Système de refoulement selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit de recirculation (RK) comporte un moyen de réduction de la pression dans le circuit de retour allant vers le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1).

3. Système de refoulement selon la revendication 2, caractérisé en ce que, pour réduire la pression dans le circuit de recirculation (RK), une vanne, un diaphragme ou un étranglement se trouve dans le circuit allant vers le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1).

4. Système de refoulement selon les revendications 1-2, caractérisé en ce que le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1) est conçu pour une surpression supérieure ou égale à 0,1 bar, et les récipients sous pression (D1 et D2) sont conçus comme des récipients permettant une exploitation sous une surpression de 2 à 6 bar.

5. Système de refoulement selon les revendications 1-2, caractérisé en ce que des filtres (F) sont placés dans le circuit de recirculation (RK).

6. Système de refoulement selon l'une ou plusieurs des revendications 1-5, caractérisé en ce que le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1) se trouve dans un plan plus élevé que celui des récipients (D1 et D2) montés en parallèle, de sorte qu'il se crée une différence de hauteur entre le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1) et les récipients (D1 et D2) montés en parallèle.

7. Procédé d'exploitation d'un circuit de liquide dans le système de refoulement de liquide selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un récipient sous pression est rempli à partir des au moins deux petits récipients sous pression (D1, D2) montés en parallèle, tandis que l'autre reçoit une surpression par comparaison au récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1), et refoule le liquide dans le circuit, la régulation du courant de liquide étant réalisée par des vannes à commande électrique.

8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que les petits récipients sous pression (D1 et D2) reçoivent une pression en alternance, ce qui produit un courant de liquide continu.

9. Procédé selon les revendications 7 à 8, caractérisé en ce que les petits récipients (D1 et D2) reçoivent en alternance une surpression de 2 à 6 bar.

10. Procédé selon les revendications 7 à 8, caractérisé en ce qu'on ajuste dans l'un des petits récipients (D1 ou D2) montés en parallèle une pression qui résulte d'une différence de hauteur entre le récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1) et la hauteur du petit récipient qui se trouve sur un plan situé plus bas que le réservoir.

11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'on ajuste dans l'un des petits récipients (D1 ou D2) montés en parallèle une pression qui résulte d'une différence de hauteur d'au moins 0,5 m.

12. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'un des petits récipients (D1 ou D2) montés en parallèle présente une pression qui résulte d'une différence de hauteur allant jusqu'à 1 m.

13. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le remplissage des récipients sous pression (D1 et D2) à partir du récipient d'emmagasinage ou de stockage (B1) résulte de ce que le liquide est, moyennant une légère surpression, refoulé dans les récipients sous pression en passant par des canalisations de communication.

Zeichnung