(19)
(11) EP 1 093 132 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.06.2004  Patentblatt  2004/23

(43) Veröffentlichungstag A2:
18.04.2001  Patentblatt  2001/16

(21) Anmeldenummer: 00115803.9

(22) Anmeldetag:  22.07.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01C 17/24
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 15.10.1999 DE 19949607

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • Emili, Walter
    72810 Gomaringen (DE)
  • Goebel, Herbert
    72766 Reutlingen (DE)
  • Wanka, Harald
    72766 Reutlingen (DE)

   


(54) Planarer Abgleichwiderstand, Anwendungen und Verfahren zu seiner Herstellung


(57) Ein Abgleichwiderstand wird hergestellt durch Abscheiden einer Widerstandsschicht (3) auf einem Substrat (1), einer Passivierungsschicht (5) mit Fenstern (4) und einer Kontaktschicht (6), die mit der Widerstandsschicht (3) durch die Fenster (4) in Kontakt steht. Ein Abgleich erfolgt durch Unterbrechen der Kontaktschicht (6) an Engstellen (7). Anwendung für die Herstellung von Hochdrucksensoren.






Recherchenbericht