(19) |
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(11) |
EP 1 234 066 B1 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
(45) |
Hinweis auf die Patenterteilung: |
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06.10.2004 Patentblatt 2004/41 |
(22) |
Anmeldetag: 21.11.2000 |
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(51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC)7: D04B 1/00 |
(86) |
Internationale Anmeldenummer: |
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PCT/EP2000/011584 |
(87) |
Internationale Veröffentlichungsnummer: |
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WO 2001/040558 (07.06.2001 Gazette 2001/23) |
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(54) |
REINRAUM-REINIGUNGSTUCH
CLEAN-ROOM CLEANING CLOTH
CHIFFON DE NETTOYAGE POUR SALLE BLANCHE
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
(30) |
Priorität: |
30.11.1999 DE 19957693
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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28.08.2002 Patentblatt 2002/35 |
(73) |
Patentinhaber: Carl Freudenberg KG |
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69469 Weinheim (DE) |
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Erfinder: |
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- GROTEN, Robert
F-68280 Sundhoffen (FR)
- BUERGER, Gernot
Groveland, MA 01834 (US)
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(56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 156 160 WO-A-98/23804 US-A- 5 320 900 US-A- 5 895 710
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EP-A- 0 531 961 US-A- 4 328 279 US-A- 5 783 503
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft die Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff mit Flächengewichten
von 30 bis 300 g/m
2.
[0002] Reinräume finden eine immer breitere Nutzung für die Herstellung, Untersuchung und
Wartung von Präzisionserzeugnissen, bei denen es sehr wichtig ist, daß verschiedene
Arbeitsschritte in einer Umgebung stattfinden, die weitestgehend frei von kleinen
Partikeln ist. Die Verbesserungen bei der Herstellung von Hochtechnologie-Erzeugnissen
wie mikroelektronischen Schaltkreisen, optischen oder pharmazeutischen Erzeugnissen
stellen immer höhere Anforderungen an den Partikelgehalt der Reinräume, der typischer
Weise für einen Reinraum der Klasse 100 im Bereich von bis zu 100 Teilchen in der
Größe von ≥ 0,5 µm pro Kubikfuß Raumluft oder in der äquivalenten metrischen Reinheitsklasse
M 3,5 von nicht mehr als 3530 Teilchen in der Größe von ≥ 0,5 µm pro Kubikmeter Raumluft
[pro Million (parts per million - ppm) oder zunehmend in Teilchen pro Milliarde (parts
per billion - ppb)] gefordert wird. Die integrierten Schaltkreise werden auf sogenannten
"Wafern", dünnen Silizium-Einkristall-Scheiben hergestellt. Die integrierten Schaltkreise
erfordern eine exakte elektrische Verbindung der Transistoren und der anderen elektrischen
Bauelemente untereinander. Die einzelnen Schaltkreis-Bauelemente sind durch einen
elektrisch leitfähigen Film mit einander verbunden, der aus aufgedampften Metall besteht.
In dieser Filmschicht werden die Leiterbahnstrukturen durch einen Photo-Ätzprozeß
erzeugt. Eine Isolationsschicht zwischen den darunterliegenden Halbleiterelementen
und der aufgedampften Metallschicht gestattet eine elektrische Verbindung nur an den
dafür vorgesehenen Stellen. Die Isolationsschicht wird auf der Oberfläche des "Wafers"
aufgebracht, nachdem die einzelnen Bauelemente erzeugt, aber bevor der "Wafer" zur
Herstellung der Leiterbahnstruktur mit dem leitfähigen Metall bedampft wird. Verunreinigungen
wie Faserbruchstücke oder Staubteilchen können zu Kurzschlüssen zwischen den Bauelementen
und damit zumindest zu einem teilweisen Ausfall der vorgesehenen Schaltkreisfunktionen
führen. Deshalb besteht eine Grundforderung darin, alle Oberflächen und Werkstücke
so frei wie möglich von diesen Verunreinigungen zu halten.
[0003] Aus den Dokumenten US 4,888,229 und US 5,229,181 sind gewebte oder gestrickte Reinigungstücher
bekannt, die durch die spezielle Einfassung ihrer Kanten, die Freisetzung von Fusseln
oder Faserbruchstücken verhindern sollen. Weiterhin sind aus den Dokumenten US 4,328,279
und 5,736,469 Reinraum-Reinigungstüchern bekannt, die aus Vliesstoffen bestehen. Auf
die Oberfläche der die Vliesstoffe bildenden Fasern wird zur Verringerung der Menge
an extrahierbaren Ionen oder zur Verringerung der elektrostatischen Aufladung eine
chemische Schlichte aufgebracht. Die Dokumente US 5,320,900 und US 5,645,916 beschreiben
Reinraum-Reinigungstüchern, die aus Fasermischungen bestehen und mittels einer Wasserstrahlbehandlung
zu Vliesstoffen verfestigt wurden. Als Fasern werden synthetische Fasern wie Polyester
und Zellulose- oder Zelluloseregeneratfasern angegeben. Nachteilig an den bekannten
Reinraum-Reinigungstüchem ist, daß sie keinem Waschprozeß unterzogen werden können,
ohne den die höchsten Reinraumklassen 10 oder besser, nicht erreicht werden kann.
Deshalb können diese Klassen heute nur mit Geweben oder Gestricken kontinuierlicher
Filamente bedient werden.
[0004] Aus dem Dokument EP-A 933 459 sind splittfähigen Stapelfasern erhaltene Vliesstoffe
und deren Verwendung als Reinigungstücher nicht jedoch Reinraum-Reinigungstüchern
bekannt. Das Dokument WO 98/23804 offenbart aus gesplitteten Mikrofilamenten bestehende
Vliesstoffe. Einen Hinweis auf die erfindungsgemäße Verwendung ist diesen Dokumenten
daher nicht zu entnehmen.
[0005] Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, preiswertes, waschbares Reinraum-Reinigungstuch,
welches den Anforderungen der Reinraumklasse 100 entspricht, sowie ein Verfahren zu
seiner Herstellung anzugeben. Durch einen nachfolgenden Reinraumwaschprozess kann
das erfindungsgemäße Reinraum-Reinigungstuch auf Mikrofilamentspinnvliesstoffbasis
in der Reinraumklasse 10 oder besser Anwendung finden.
[0006] Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff
mit Flächengewichten von 30 bis 300 g/m
2 gelöst, wobei der Vliesstoff aus schmelzgesponnenen, aerodynamisch verstreckten und
unmittelbar zu einem Vlies abgelegten Mehrkomponenten-Endlosfilamenten mit einem Titer
von 1,5 bis 5 dtex besteht und die Mehrkomponenten-Endlosfilamente zumindest zu 80
% zu Mikro-Endlosfilamenten mit einem Titer von 0,1 bis 1,0 dtex gesplittet und verfestigt
sind, wobei er den Ansprüchen industrieller Reinraumwaschbarkeit und den Anforderungen
für die Reinraumklasse 10 oder besser genügt. Ein solches Reinraum-Reinigungstuch
weist eine Oberflächenstruktur auf, in die Staubteilchen und Flüssigkeiten gut eindringen
und darin festgehalten werden. Darüber hinaus liegen nur auf Grund der Bildung aus
Endlosfilamenten nur sehr wenige Faserenden im Reinraum-Reinigungstuch vor. Es werden
fusselfreie Reinigungstücher erhalten, deren Kanten nicht extra umgenäht oder eingefaßt
werden müssen.
[0007] Vorzugsweise wird als Reinraum-Reinigungstuch ein Mikrofilament-Vliesstoff verwendet,
bei dem der Vliesstoff aus schmelzgesponnenen, aerodynamisch verstreckten und unmittelbar
zu einem Vlies abgelegten Mehrkomponenten-Endlosfilamenten mit einem Titer 2 bis 3
dtex besteht und die Mehrkomponenten-Endlosfilamente zumindest zu 80 % zu Mikro-Endlosfilamenten
mit einem Titer von 0,1 bis 0,3 dtex gesplittet und verfestigt sind.
[0008] Vorzugsweise wird als Reinraum-Reinigungstuch ein Mikrofilament-Vliesstoff verwendet,
bei dem das Mehrkomponenten-Endlosfilament ein Bikomponenten-Endlosfilament aus zwei
inkompatiblen Polymeren, insbesondere einem Polyester und einem Polyamid, ist. Ein
solches Bikomponenten-Endlosfilament weist eine gute Spaltbarkeit in Supermikro-Endlosfilamenten
auf und bewirkt ein günstiges Verhältnis von Festigkeit zu Flächengewicht auf.
[0009] Vorzugsweise wird als Reinraum-Reinigungstuch ein Mikrofilament-Vliesstoff verwendet,
bei dem die Mehrkomponenten-Endlosfilamente einen Querschnitt mit orangenartiger oder
auch "Pie" genannten Multisegment-Struktur aufweisen, wobei die Segmente alternierend
jeweils eines der beiden inkompatiblen Polymeren enthalten. Neben dieser orangenartigen
Muttisegment-Struktur der Mehrkomponenten-Endlosfilamente ist auch eine side-by-side
(s/s) Anordnung der inkompatiblen Polymeren im Mehrkomponenten-Endlosfilament möglich,
die vorzugsweise zur Erzeugung gekräuselter Filamente genutzt wird. Solche Anordnungen
der inkompatiblen Polymeren im Mehrkomponenten-Endlosfilament haben sich als sehr
gut spaltbar erwiesen.
[0010] Vorzugsweise wird als Reinraum-Reinigungstuch weiterhin ein Mikrofilament-Vliesstoff
verwendet, bei dem mindestens eines der das Mehrkomponenten-Endlosfilament bildenden
inkompatiblen Polymeren ein Additiv, wie Farbpigmente, permanent wirkende Antistatika
und/oder die hydrophilen oder hydrophoben Eigenschaften beeinflussende Zusätze maximal
in den Mengen enthält, die den Anforderungen an die zulässigen Extrahierbarkeitswerte
in Wasser und Isopropanol genügen. Das aus spinngefärbten Filamenten bestehende Reinraum-Reinigungstuch
weist eine sehr gute Waschbeständigkeit auf. Weiterhin können durch die Zusätze statische
Aufladungen vermindert bzw. vermieden und die Feuchtigkeits-Transporteigenschaften
verbessert werden.
[0011] Der erfindungsgemäß als Reinraum-Reinigungstuchs verwendete Mikrofilament-Vliesstoff
wird in der Weise hergestellt, daß Mehrkomponenten-Endlosfilamente aus der Schmelze
ersponnen, aerodynamisch verstreckt und unmittelbar zu einem Vlies abgelegt werden,
gegebenenfalls eine Vorverfestigung erfolgt und der Vliesstoff durch Hochdruck-Fluidstrahlen
verfestigt wie gleichzeitig in Mikro-Endlosfilamente mit einem Titer von 0,1 bis 1,0
dtex vorzugsweise mit einem Titer von 0,1 bis 0,3 dtex gesplittet wird. Das so erhaltene
Reinraum-Reinigungstuch ist sehr gleichmäßig hinsichtlich seiner Dicke, es weist eine
isotrope Fadenverteilung auf, besitzt keine Neigung zum Delaminieren und ist durch
hohe Modulwerte ausgezeichnet.
Das erfindungsgemäße Reinraum-Reinigungstuch zeichnet sich überdies durch seine gute
spezifische Wasseraufnahme und eine geringe Trockenzeit aus.
[0012] Erfindungsgemäß ist das Reinraum-Reinigungstuch als Wisch- oder Staubtuch mehrfach
einsetzbar.
Beispiel 1
[0013] Aus einem Polyethylenterephthalat-Poly(hexamethylendiaminadipad) (PET-PA66)-Bikomponenten-Endlosfilament
wird ein "Pie"-Filamentflor mit einem Flächengewicht von 57 g/m
2 erzeugt und einer Wasserstrahlvernadelung mit Drücken bis 250 bar beidseitig unterzogen.
Die Bikomponenten-Endlosfilamente weisen nach der Wasserstrahlvemadelung, die zu einer
gleichzeitigen Splittung der Ausgangsfilamente führt, einen Titer von ca. 0,1 dtex
auf.
Beispiel 2
[0014] Aus einem Polyethylenterephthalat-Poly(hexamethylendiaminadipad) (PET-PA66)-Bikomponenten-Endlosfilament
wird ein (s/s)-Filamentflor mit einem Flächengewicht von 65 g/m
2 erzeugt und einer Wasserstrahlvemadelung mit Drücken bis 250 bar beidseitig unterzogen.
Die Bikomponenten-Endlosfilamente weisen nach der Wasserstrahlvernadelung, die zu
einer gleichzeitigen Splittung der Ausgangsfilamente führt, einen Titer von ca. 1,0
dtex auf.
Beispiel 3
[0015] Aus einem Polyethylenterephthalat-Poly(hexamethylendiaminadipad) (PET-PA66)-Bikomponenten-Endlosfilament
mit einem Gewichtsverhältnis von PET zu PA66 von 60 zu 40 wird ein (s/s)-Filamentflor
mit einem Flächengewicht von 80 g/m
2 erzeugt und einer Wasserstrahlvemadelung mit Drücken bis 250 bar beidseitig unterzogen.
Die Bikomponenten-Endlosfilamente weisen nach der Wasserstrahlvernadelung, die zu
einer gleichzeitigen Splittung der Ausgangsfilamente führt, einen Titer von ca. 0,8
dtex und eine gekräuselte Filamentstruktur auf.
Beispiel 4
[0016] Aus einem Polyethylenterephthalat-Poly(caprolactam) (PET-PA6)-Bikomponenten-Endlosfilament
wird ein (PIE)-Filamentflor mit einem Flächengewicht von 70 g/m
2 erzeugt und einer Wasserstrahlvemadelung mit Drücken bis 250 bar beidseitig unterzogen.
Die Bikomponenten-Endlosfilamente weisen nach der Wasserstrahlvernadelung, die zu
einer gleichzeitigen Splittung der Ausgangsfilamente führt, einen Titer von ca. 0,1
dtex auf.
1. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff mit Flächengewichten von 30 bis 300 g/m2, wobei der Vliesstoff aus schmelzgesponnenen, aerodynamisch verstreckten und unmittelbar
zu einem Vlies abgelegten Mehrkomponenten-Endlosfilamenten mit einem Titer von 1,5
bis 5 dtex besteht und die Mehrkomponenten-Endlosfilamente zumindest zu 80 % zu Mikro-Endlosfilamenten
mit einem Titer von 0,1 bis 1,0 dtex gesplittet und verfestigt sind, dadurch gekennzeichnet, daß er als Reinraum-Reinigungstuch verwendet wird, wobei er den Ansprüchen industrieller
Reinraumwaschbarkeit und den Anforderungen für die Reinraumklasse 10 oder besser genügt.
2. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vliesstoff aus schmelzgesponnenen, aerodynamisch verstreckten und unmittelbar
zu einem Vlies abgelegten Mehrkomponenten-Endlosfilamenten mit einem Titer von 2 bis
3 dtex besteht und die Mehrkomponenten-Endlosfilamente gegebenenfalls nach einer Vorverfestigung
zumindest zu 80 % zu Mikro-Endlosfilamenten mit einem Titer von 0,1 bis 0,3 dtex gesplittet
und verfestigt sind.
3. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Mehrkomponenten-Endlosfilament ein Bikomponenten-Endlosfilament aus zwei inkompatiblen
Polymeren, insbesondere einem Polyester und einem Polyamid, ist.
4. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrkomponenten-Endlosfilamente einen Querschnitt mit orangenartiger Multisegment-Struktur
aufweisen, wobei die Segmente alternierend jeweils eines der beiden inkompatiblen
Polymeren enthalten und/oder eine "side-by-side"-Struktur besitzen.
5. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Seiten des Reinigungstuch eine unterschiedliche Segment-Struktur besitzen.
6. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Seite aus einem Mehrkomponenten-Endlosfilament mit einer "Pie"-Segmentstruktur
und die andere Seite aus einem Mehrkomponenten-Endlosfilament mit einer "side-by-side"-Segmentstruktur
besteht.
7. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrkomponenten-Endlosfilamente spinngefärbt sind.
8. Verwendung eines Mikrofilament-Vliesstoff nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß er als Wisch- oder Staubtuch mehrfach einsetzbar ist.
1. The use of a microfilament nonwoven fabric having a basis weight from 30 to 300 g/m2, the nonwoven fabric consisting of continuous multicomponent filaments having a linear
density from 1.5 to 5 dtex which are melt-spun, aerodynamically stretched and directly
laid down to form a web, and the continuous multicomponent filaments being at least
80% split into continuous microfilaments having a linear density from 0.1 to 1.0 dtex
and consolidated, characterized in that the nonwoven fabric is used as a clean-room cleaning cloth, meeting the requirements
of industrial clean-room washability and achieving or bettering the ratings for clean-room
class 10.
2. The use of a microfilament nonwoven fabric according to claim 1, characterized in that the nonwoven fabric consists of continuous multicomponent filaments having a linear
density from 2 to 3 dtex which are melt-spun, aerodynamically stretched and directly
laid down to form a web, and the continuous multicomponent filaments, optionally after
being subjected to a preconsolidating operation, are at least 80% split into continuous
microfilaments having a linear density from 0.1 to 0.3 dtex and consolidated.
3. The use of a microfilament nonwoven fabric according to claim 1 or 2, characterized in that the continuous multicomponent filament is a bicomponent continuous filament of two
incompatible polymers, especially of a polyester and a polyamide.
4. The use of a microfilament nonwoven fabric according to claim 3, characterized in that the continuous multicomponent filaments have a cross section having an orangelike
multisegment structure in which segments each containing one of the two incompatible
polymers alternate and/or possess a side-by-side structure.
5. The use of a microfilament nonwoven fabric according to claim 4, characterized in that the two sides of the cleaning cloth have a different segment structure.
6. The use of a microfilament nonwoven fabric according to claim 5, characterized in that one side consists of a continuous multicomponent filament having a pie segment structure
and the other side consists of a continuous multicomponent filament having a side-by-side
segment structure.
7. The use of a microfilament nonwoven fabric according to any one of claims 1 to 6,
characterized in that the continuous multicomponent filaments are spun dyed.
8. The use of a microfilament nonwoven fabric according to any one of claims 1 to 7,
characterized in that it is repeatedly usable as a wiping or dusting cloth.
1. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments de grammage compris entre 30 et 300
g/m2, le non-tissé étant formé de filaments sans fin multi-composants ayant un titre compris
entre 1,5 et 5 dtex qui sont filés à l'état fondu, étirés de manière aérodynamique
et directement déposés en nappe, et les filaments sans fil multi-composants étant
fractionnés, dans une proportion d'au moins 80%, pour obtenir des micro-filaments
sans fin ayant un titre compris entre 0,1 et 1,0 dtex, puis étant consolidés, caractérisée en ce que le non-tissé est utilisé en tant que chiffon de nettoyage pour salle blanche, ce
non-tissé satisfaisant aux exigences de lavabilité des salles blanches en milieu industriel
et aux exigences requises pour des salles blanches de classe 10 ou meilleur.
2. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon la revendication 1, caractérisée en ce que le non-tissé est formé de filaments sans fin multi-composants ayant un titre compris
entre 2 et 3 dtex qui sont filés à l'état fondu, étirés de manière aérodynamique et
directement déposés en nappe et que les filaments sans fil multi-composants font l'objet,
le cas échéant après une consolidation préalable, d'un fractionnement, dans une proportion
d'au moins 80%, pour obtenir des micro-filaments sans fin ayant un titre compris entre
0,1 et 0,3 dtex, puis d'une consolidation.
3. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que le filament sans fin multi-composants est un filament sans fin bi-composants constitué
de deux polymères incompatibles, notamment d'un polyester et d'une polyamide.
4. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon la revendication 3, caractérisée en ce que les filaments sans fin multi-composants ont une section transversale présentant une
structure à plusieurs segments similaire à une orange, les segments contenant alternativement
à chaque fois un des deux polymères incompatibles et/ou possédant une structure «
side-by-side ».
5. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon la revendication 4, caractérisée en ce que les deux côtés du chiffon de nettoyage possèdent une structure à segments différente.
6. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon la revendication 5, caractérisée en ce qu'un côté est formé d'un filament sans fin multi-composants possédant une structure
à segments en « pie » et l'autre côté est formé d'un filament sans fin multi-composants
possédant une structure à segments « side-by-side ».
7. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon l'une des revendications 1 à 6,
caractérisée en ce que les filaments sans fin multi-composants sont colorés dans la masse.
8. Utilisation d'un non-tissé en micro-filaments selon l'une des revendications 1 à 7,
caractérisée en ce que le non-tissé peut être utilisé en tant que chiffon d'essuyage ou chiffon à poussière
à usage multiple.