[0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumerzeugervorrichtung, mit mindestens einer Ejektoreinheit,
die eine mit einem Speiseanschluss verbundene Strahldüse, eine der Strahldüse nachgeschaltete
Fangdüse und eine im Übergangsbereich zwischen der Strahldüse und der Fangdüse definierte,
über einen Absaugkanal mit einem Absauganschluss verbundene Absaugzone aufweist, und
mit einer Drucküberwachungseinheit, die einen an den Absaugkanal angeschlossenen Drucksensor
aufweist.
[0002] Eine aus der DE 3818381 A1 bekannte Vakuumerzeugervorrichtung dieser Art besitzt
ein Vorrichtungsgehäuse, das eine Ejektoreinheit enthält und an das außen mehrere
Komponenten angesetzt sind, unter denen sich auch eine den Druck im Absaugkanal überwachende
Drucküberwachungseinheit befindet. Die Abmessungen dieser Vakuumerzeugervorrichtung
sind relativ groß, sodass sie sich kaum dafür eignet, direkt an einem zur Handhabung
von Gegenständen dienenden Sauggreifer installiert zu werden. Die Verbindung zu dem
Sauggreifer wird daher regelmäßig über eine gesonderte Leitung hergestellt.
[0003] Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine kompakt bauende Vakuumerzeugervorrichtung
zu schaffen.
[0004] Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einer Vakuumerzeugervorrichtung der eingangs genannten
Art vorgesehen, dass die Ejektoreinheit und die Drucküberwachungseinheit in einem
gemeinsamen Vorrichtungsgehäuse angeordnet sind.
[0005] Die Ejektoreinheit und die Drucküberwachungseinheit verfügen somit über ein gemeinsames
Gehäuse, sodass auf gesonderte Einzelgehäuse verzichtet werden kann und eine Bauweise
mit kompakten Abmessungen möglich ist. Die zur Erzeugung des Vakuums dienende Ejektoreinheit
und die zur Überwachung der Vakuumerzeugung dienende Drucküberwachungseinheit sind
mithin in einem gemeinsamen Gehäuse integriert, wobei durch die erzielbare Platz-
und Gewichtsersparnis eine gute Eignung für die Direktausstattung von Sauggreifern
erreicht wird.
[0006] Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
[0007] Die Drucküberwachungseinheit ist zweckmäßigerweise in einer als Sensoraufnahmekammer
bezeichneten Aufnahmekammer des Vorrichtungsgehäuses untergebracht, wobei die Montage
durch die Realisierung eines Gehäusedeckels stark vereinfacht ist. Lässt sich der
Gehäusedeckel zum Zugänglichmachen der Sensoraufnahmekammer nachträglich wieder entfernen,
ist im Defektfalle ein rascher Austausch der Drucküberwachungseinheit möglich.
[0008] Äußerst montagefreundlich erweist sich die Vakuumerzeugervorrichtung, wenn bei entferntem
Gehäusedeckel eine lösbare Fixierung der Drucküberwachungseinheit in der Sensoraufnahmekammer
möglich ist. Man kann somit zunächst die Drucküberwachungseinheit installieren und
anschließend, ohne die Gefahr eines Herausfallens der Drucküberwachungseinheit, den
Gehäusedeckel anbringen.
[0009] Um eine gegenseitige Beeinflussung auszuschließen, sind die Ejektoreinheit und die
Drucküberwachungseinheit vorzugsweise gesondert voneinander in zum einen einer Ejektoraufnahmekammer
und zum anderen einer Sensoraufnahmekammer des Vorrichtungsgehäuses untergebracht.
Weder die Ejektoreinheit noch die Drucküberwachungseinheit benötigt ein eigenes Gehäuse,
da das Vorrichtungsgehäuse die gemeinsame Gehäusefunktion für beide Einheiten übernimmt.
[0010] Vorzugsweise ist die Drucküberwachungseinheit ausgebildet, um an eine externe elektronische
Steuereinrichtung angeschlossen werden zu können. Zu diesem Zweck verfügt sie über
eine den Anschluss dieser Einrichtung gestattende elektromechanische Schnittstelle.
Diese ist bevorzugt an der gleichen Außenseite des Vorrichtungsgehäuses wie der Speiseanschluss
der Ejektoreinheit platziert, wobei die gleiche Orientierung zu einer erhöhten Anschlussfreundlichkeit
beiträgt.
[0011] Eine besonders kurze Baulänge ergibt sich, wenn die Ejektoreinheit und die Drucküberwachungseinheit
mit Bezug zur Richtung der Hauptachse des Vorrichtungsgehäuses auf gleicher Höhe nebeneinander
platziert sind. Auf diese Weise ergeben sich auch kurze Wege zwischen der Drucküberwachungseinheit
und dem Absaugkanal, was dem Ansprechverhalten des Drucksensors zugute kommt.
[0012] An der Außenseite des Vorrichtungsgehäuses, insbesondere an einem abnehmbaren Gehäusedeckel,
befinden sich zweckmäßigerweise optische Anzeigemittel, die in der Lage sind, mindestens
einen Betriebszustand der Drucküberwachungseinheit anzuzeigen, also beispielsweise
das Einhalten eines gewünschten Vakuums.
[0013] Aufgrund der Platzierung im gemeinsamen Vorrichtungsgehäuse benötigt die Drucküberwachungseinheit
kein eigenes Gehäuse. Sie besteht zweckmäßigerweise im Wesentlichen aus einer Platine,
die mit dem Drucksensor und einer geeigneten Auswerteelektronik bestückt ist und die
zweckmäßigerweise auch mit einer elektromechanischen Schnittstelle für den Anschluss
einer externen Einrichtung ausgestattet ist. Wenn die Auswerteelektronik einen Mikrocontroller
enthält, können sehr bequem variable Einstellungen vorgenommen werden, beispielsweise
um die Ansprechschwellen, bei denen Sensorsignale ausgegeben werden, anwendungsspezifisch
vorgeben zu können. Dies lässt sich auch vor Ort sehr bequem erledigen, wenn die Vakuumerzeugervorrichtung
über von außen her zugängliche Betätigungsmittel verfügt. Diese können beispielsweise
mindestens eine die Wand des Vorrichtungsgehäuses durchsetzende Taste aufweisen.
[0014] Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert.
Die einzige Figur zeigt einen Längsschnitt einer bevorzugten Ausführungsform der Vakuumerzeugervorrichtung.
[0015] Die in der Zeichnung allgemein mit Bezugsziffer 1 versehene Vakuumerzeugervorrichtung
verfügt über eine Ejektoreinheit 2 und eine Drucküberwachungseinheit 3, die beide
für sich allein gesehen jeweils gehäuselos ausgebildet sind und stattdessen in einem
gemeinsamen Vorrichtungsgehäuse 4 der Vakuumerzeugervorrichtung 1 angeordnet sind.
Prinzipiell wäre eine Mehrfachausstattung des Vorrichtungsgehäuses 4 mit mehreren
Ejektoreinheiten 2 und/oder mehreren Drucküberwachungseinheiten 3 möglich. Beim Ausführungsbeispiel
ist eine derzeit als optimal angesehene Einzahl beider Einheiten 2, 3 vorgesehen.
[0016] Das Vorrichtungsgehäuse 4 ist mit zwei Aufnahmekammern versehen, die im Folgenden
als Ejektoraufnahmekammer 5 und Sensoraufnahmekammer 6 bezeichnet seien, wobei die
Ejektoraufnahmekammer 5 die Ejektoreinheit 2 und die Sensoraufnahmekammer 6 die Drucküberwachungseinheit
3 beinhaltet.
[0017] Die Ejektoreinheit 2 enthält eine Strahldüse 7 mit einem Strahldüsenkanal 8 sowie
eine Fangdüse 12 mit einem Fangdüsenkanal 13. Beim Ausführungsbeispiel ist die Ejektoreinheit
2 patronenartig ausgebildet, wobei die Strahldüse 7 und die Fangdüse 12 zweckmäßigerweise
axial ineinandergesteckt sind. Insgesamt hat die Ejektoreinheit 2 eine längliche Gestalt.
[0018] Die Ejektoreinheit 2 ist koaxial in die bevorzugt zylindrische Ejektoraufnahmekammer
5 eingesteckt. Die Einsteckmontage geschieht durch eine in Verlängerung der Ejektoraufnahmekammer
5 ausgebildete Montageöffnung 14 des Vorrichtungsgehäuses 4 hindurch, in der anschließend
eine einen Speiseanschluss 15 definierende Anschlussvorrichtung 16 fixiert wird. Der
Speiseanschluss 15 kommuniziert somit mit der Strahldüse 7. Die Anschlussvorrichtung
16 ist ausgebildet, um eine mit einer Druckquelle verbindbare Druckluftleitung unter
Abdichtung anschließen zu können.
[0019] Die Fangdüse 12 ist stromab der Strahldüse 7 platziert. Sie kommuniziert auslassseitig
mit der Atmosphäre, wobei sie beim Ausführungsbeispiel mit einer Auslassöffnung 17
des Vorrichtungsgehäuses 4 verbunden ist, die mit einem Schalldämpfer 19 bestückt
ist.
[0020] Der Strahldüsenkanal 8 und der Fangdüsenkanal 13 sind zueinander beabstandet, wobei
der sich ergebende Zwischenraum eine Absaugzone 18 definiert. Diese steht über einen
Absaugkanal 22 mit einem Absauganschluss 23 in Verbindung, der beim Ausführungsbeispiel
von einer weiteren, gehäusefest fixierten Anschlussvorrichtung 24 definiert ist, die
den Anschluss einer Druckmittelleitung ermöglicht.
[0021] Die Vakuumerzeugervorrichtung wird insbesondere dazu verwendet, um in einem an den
Absauganschluss 23 angeschlossenen, zu evakuierenden Raum einen Unterdruck in einer
vorbestimmten Höhe zu erzeugen. Der zu evakuierende Raum kann insbesondere vom Innenraum
eines beispielsweise von einem Saugnapf oder einem Saugteller gebildeten Sauggreifers
definiert sein, der zu einer Vakuum-Handhabungseinrichtung gehört, mit deren Hilfe
sich beliebige Gegenstände unterdruckbedingt festhalten und/oder transportieren lassen.
Da die Vakuumerzeugervorrichtung 1 sehr kompakte Abmessungen besitzt, kann sie unmittelbar
an einem solchen Sauggreifer angeordnet werden, sodass der Sauggreifer und die Vakuumerzeugervorrichtung
1 eine Baueinheit bilden.
[0022] Im Betrieb einer derartigen Vakuum-Handhabungseinrichtung wird der erwähnte Sauggreifer
mit seiner offenen Seite voraus an die Außenfläche eines handzuhabenden Gegenstandes
angesetzt, wonach der erwähnte Raum abgesaugt und evakuiert wird, sodass ein Unterdruck
entsteht, der ein Anhaften des Gegenstandes an dem Sauggreifer bewirkt. Durch nachfolgendes
Handhaben des Sauggreifers lässt sich der Gegenstand in beliebiger Weise positionieren.
Um den Gegenstand zu lösen, wird der zu evakuierende Raum wieder belüftet.
[0023] Die Drucküberwachungseinheit 3 verfügt über einen Drucksensor 25, der über einen
Abgriffskanal 26 an den Absaugkanal 22 angeschlossen ist. Der Abgriffskanal 26 durchsetzt
eine die Ejektoraufnahmekammer 5 von der Sensoraufnahmekammer 6 abteilende Trennwand
27 des Vorrichtungsgehäuses 4.
[0024] Der Drucksensor 25 sitzt auf einer Platine 28, die außerdem noch mit einer Auswerteelektronik
32 bestückt ist. Außerdem ist an der Platine 28 eine mit der Auswerteelektronik 32
elektrisch verbundene elektromechanische Schnittstelle 33 fixiert, die beispielsweise
als Steckvorrichtung konzipiert ist und die den Anschluss eines nicht näher gezeigten
elektrischen Kabels ermöglicht, über das die Verbindung zu einer externen elektronischen
Steuereinrichtung herstellbar ist.
[0025] Die Drucküberwachungseinheit 3 des Ausführungsbeispiels setzt sich also aus der Platine
28, dem Drucksensor 25, der Auswerteelektronik 32 und der elektromechanischen Schnittstelle
33 zusammen. Mit Ausnahme der elektromechanischen Schnittstelle 33, die von außen
her zugänglich ist und ein Stück weit über die Außenfläche des Vorrichtungsgehäuses
4 vorstehen kann, sind sämtliche Komponenten der Drucküberwachungseinheit 3 im Innern
des Vorrichtungsgehäuses 4 untergebracht und zur Umgebung hin abgeschirmt.
[0026] Im Betrieb der Vakuumerzeugervorrichtung 1 misst der Drucksensor 25 den im Absaugkanal
22 herrschenden Druck, wobei die Auswerteelektronik 32 auf Basis der Messwerte ein
Sensorsignal erzeugt, das an der elektromechanischen Schnittstelle 33 abgegriffen
werden kann. Auf diese Weise ist ein vom momentan im Absaugkanal 22 herrschenden Druck
abhängiges Ansteuern der Ejektoreinheit 2 möglich. Es kann beispielsweise die Druckluftzufuhr
zum Speiseanschluss 15 unterbrochen werden, wenn und solange im Absaugkanal 22 ein
gewünschter Unterdruck herrscht.
[0027] Es ist von Vorteil, wenn die Auswerteelektronik 32 einen Mikrocontroller 34 enthält.
Dieser ermöglicht eine variable Programmierung und gestattet insbesondere die Vorgabe
bestimmter Druckwerte, bei denen die Auswerteelektronik 32 gewisse Sensorsignale ausgibt.
Man kann also beispielsweise die obere und untere Druckschwelle vorgeben, die das
im Betrieb einzuhaltende Vakuum definieren.
[0028] Beim Ausführungsbeispiel sind von außen her zugängliche Betätigungsmittel 35 vorgesehen,
die eine leichte Veränderung der Einstellungen des Mikrocontrollers 34 vor Ort ermöglichen.
Es handelt sich dabei beispielsweise um eine oder mehrere Tasten 36, die die Wand
des Vorrichtungsgehäuses 4 durchsetzen und die von außen her manuell oder mit einem
kleinen Werkzeug gedrückt werden können, sodass sie auf den Mikrocontroller 34, unter
Auslösung eines Einstellvorganges, einwirken.
[0029] Es ist ferner vorteilhaft, wenn an der Außenseite des Vorrichtungsgehäuses 4 optische
Anzeigemittel 37 vorgesehen sind, die zur Anzeige mindestens eines Betriebszustandes
der Vakuumerzeugervorrichtung 1 dienen. Beim Ausführungsbeispiel bestehen die Anzeigemittel
37 aus einem Lichtleiter, der in die Ejektoraufnahmekammer 5 hineingeführt ist und
dort mindestens einem Leuchtelement 38 gegenüberliegt, dessen Licht somit gut sichtbar
nach außen geleitet wird.
[0030] Die Ejektoreinheit 2 und die Drucküberwachungseinheit 3 haben jeweils zweckmäßigerweise
eine längliche Gestalt. Bezogen auf eine Hauptachse 42 des Vorrichtungsgehäuses 4
sind die beiden Einheiten 2, 3 beim Ausführungsbeispiel so platziert, dass sie auf
gleicher Höhe liegend parallel zueinander nebeneinander angeordnet sind. Auf diese
Weise ergibt sich ein kompakter Aufbau mit geringen Längenabmessungen des Vorrichtungsgehäuses
4.
[0031] Außerdem kann auf diese Weise der Abgriffskanal 26 sehr kurz gehalten werden. Er
mündet längsseits in die Ejektoraufnahmekammer 5 ein, sodass der Unterdruck in unmittelbarer
Nähe zur Absaugzone 18 gemessen wird und somit kurze Messwege mit entsprechend hoher
Messgenauigkeit vorliegen.
[0032] Andernends mündet der Abgriffskanal 26 in eine zur Sensoraufnahmekammer 3 gehörende
Ausnehmung 43 der Trennwand 27, in die der Drucksensor 25 unter Zwischenschaltung
einer Dichtung 44 eintaucht. Die Ausnehmung 43 ist somit vom übrigen Teil der Sensoraufnahmekammer
6, in der sich die Drucküberwachungseinheit 3 befindet, abgedichtet.
[0033] Die beiden Einheiten 2, 3 liegen gemeinsam in einer mit der Hauptachse 42 zusammenfallenden
Hauptebene des Vorrichtungsgehäuses 4, die mit der Zeichenebene identisch ist. Rechtwinkelig
hierzu baut die Vakuumerzeugervorrichtung 1 sehr schmal. Es ist insbesondere vorgesehen,
dass der Speiseanschluss 15, der Absauganschluss 23 und die elektromechanische Schnittstelle
33 in dieser Hauptebene liegen und in der Ausdehnungsrichtung der Hauptebene ausgerichtet
sind.
[0034] Beim Ausführungsbeispiel sind ferner die elektromechanische Schnittstelle 33 und
der Speiseanschluss 15 an einer gemeinsamen, vorderen Außenseite 45 des Vorrichtungsgehäuses
4 platziert und sind untereinander gleich, gleichgerichtet mit der Hauptachse 42,
orientiert.
[0035] Der Absauganschluss 23 weist in der erwähnten Hauptebene zur Seite. Die bevorzugt
ebenfalls in der Hauptebene liegende Auslassöffnung 17 befindet sich zweckmäßigerweise
an der der vorderen Außenseite 45 entgegengesetzten rückwärtigen Außenseite 46 des
Vorrichtungsgehäuses 4.
[0036] Wird die Ejektoreinheit 2 durch eine anders konzipierte Bauform ersetzt, können der
Absauganschluss 23 und die Auslassöffnung 17 auch vertauscht werden.
[0037] Durch das Vorrichtungsgehäuse 4 erstrecken sich, rechtwinkelig zur Hauptebene, ein
oder mehrere Durchgangslöcher 47, durch die Befestigungsmittel, beispielsweise Schrauben,
hindurchführbar sind, die zur Fixierung der Vakuumerzeugervorrichtung 1 an einer beliebigen
Tragstruktur, beispielsweise an einem Sauggreifer, dienen.
[0038] Während die Ejektoreinheit 2 durch die schon erwähnte Montageöffnung 14 hindurch
installierbar und deinstallierbar ist, erfolgt die Installation und Deinstallation
der Drucküberwachungseinheit 3 durch eine in die Sensoraufnahmekammer 6 führende Gehäuseöffnung
48 hindurch, die durch einen Gehäusedeckel 52 lösbar verschlossen ist. Über eine Befestigungsschraube
53 ist der Gehäusedeckel 52 am restlichen Gehäusebestandteil 54 insbesondere lösbar
fixiert, sodass er bei Bedarf entfernt werden kann, um die Sensoraufnahmekammer 6
zugänglich zu machen. Anstelle einer Befestigungsschraube 53 könnten auch andere Befestigungsmittel
treten, beispielsweise eine Rastverbindung zwischen dem Gehäusedeckel 52 und dem restlichen
Gehäusebestandteil 54.
[0039] Weitere Befestigungsmittel 55 ermöglichen es, die Drucküberwachungseinheit 3 auch
bei entferntem Gehäusedeckel 52 in der gewünschten Einbaulage zu fixieren. Beim Ausführungsbeispiel
bestehen die weiteren Befestigungsmittel 55 aus dem Drucksensor 25, der diesen umschließenden
ringförmigen Dichtung 44 und der Ausnehmung 43. Diese Komponenten können ineinander
eingesteckt werden, sodass der sich ergebende Reibschluss eine vorläufige Fixierung
der Drucküberwachungseinheit 3 an dem restlichen Gehäusebestandteil 54 bewirkt. Anschließend
kann dann bequem der Gehäusedeckel 52 angesetzt und befestigt werden.
[0040] Die Einstellmittel 35 und die Anzeigemittel 37 sind zweckmäßigerweise an dem abnehmbaren
Gehäusedeckel 52 angeordnet.
[0041] Der Gehäusedeckel 52 erstreckt sich vorzugsweise längs der länglichen Sensoraufnahmekammer
6, sodass Letztere bei abgenommenem Gehäusedeckel 52 über ihre gesamte Länge hinweg
zugänglich ist und somit die Drucküberwachungseinheit 3 in Querrichtung eingesetzt
werden kann.
[0042] Da die Gehäuse der Ejektoreinheit 2 und der Drucküberwachungseinheit 3 jeweils unmittelbar
von dem gemeinsamen Vorrichtungsgehäuse 4 gebildet sind, erübrigen sich für die beiden
Einheiten gesonderte Gehäuse, sodass ein kostengünstiger und äußerst kompakter Aufbau
der Vakuumerzeugervorrichtung 1 möglich ist.
1. Vakuumerzeugervorrichtung (1), mit mindestens einer Ejektoreinheit (2), die eine mit
einem Speiseanschluss (15) verbundene Strahldüse (7), eine der Strahldüse (7) nachgeschaltete
Fangdüse (12) und eine im Übergangsbereich zwischen der Strahldüse (7) und der Fangdüse
(12) definierte, über einen Absaugkanal (22) mit einem Absauganschluss (23) verbundene
Absaugzone (18) aufweist, und mit einer Drucküberwachungseinheit (3), die einen an
den Absaugkanal (22) angeschlossenen Drucksensor (25) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Ejektoreinheit (2) und die Drucküberwachungseinheit (3) in einem gemeinsamen
Vorrichtungsgehäuse (4) angeordnet sind.
2. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Drucküberwachungseinheit (3) in einer durch einen Gehäusedeckel (52) verschlossenen
Sensoraufnahmekammer (6) angeordnet ist.
3. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusedeckel (52) zum Zugänglichmachen der Sensoraufnahmekammer (6) entfernbar
ist.
4. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass Befestigungsmittel (55) vorhanden sind, die bei entferntem Gehäusedeckel (52) eine
lösbare Fixierung der Drucküberwachungseinheit (3) in der Sensoraufnahmekammer (6)
ermöglichen.
5. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ejektoreinheit (2) und die Drucküberwachungseinheit (3) gesondert voneinander
in einer Ejektoraufnahmekammer (6) und einer Sensoraufnahmekammer (5) des Vorrichtungsgehäuses
(4) angeordnet sind.
6. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Drucküberwachungseinheit (3) mit einer von außen her zugänglichen, den Anschluss
einer externen Einrichtung ermöglichenden elektromechanischen Schnittstelle (33) ausgestattet
ist.
7. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die elektromechanische Schnittstelle (33) der Drucküberwachungseinheit (3) und der
Speiseanschluss (15) der Ejektoreinheit (2) an einer gemeinsamen Außenseite (45) des
Vorrichtungsgehäuses (4) vorgesehen sind und die gleiche Orientierung aufweisen.
8. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Vorrichtungsgehäuse (4) eine Hauptachse (42) besitzt und dass die Ejektoreinheit
(2) und die Drucküberwachungseinheit (3) jeweils längliche Gestalt haben und mit Bezug
zur Richtung der Hauptachse (42) auf gleicher Höhe in zueinander paralleler Anordnung
nebeneinander platziert sind.
9. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass an der Außenseite (45) des Vorrichtungsgehäuses (4) zur Anzeige mindestens eines
Betriebszustandes dienende Anzeigemittel (37) vorgesehen sind.
10. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckabgriff für den Drucksensor (25) in einer die Ejektoreinheit (2) aufnehmenden
Ejektoraufnahmekammer (5) erfolgt.
11. Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Drucküberwachungseinheit (3) eine mit dem Drucksensor (25) und einer Auswerteelektronik
(32) bestückte Platine (28) aufweist.
12. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteelektronik (32) einen Mikrocontroller (34) enthält.
13. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch von außen her zugängliche Betätigungsmittel (35) zur Veränderung der Einstellungen
des Mikrocontrollers (34).
14. Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungsmittel (35) mindestens eine die Wand des Vorrichtungsgehäuses (4)
durchsetzende Taste (36) enthalten.