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EP 1 283 528 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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13.10.2004 Patentblatt 2004/42 |
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Anmeldetag: 17.07.2002 |
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Niederohmiger elektrischer Widerstand und Verfahren zur Herstellung solcher Widerstände
Low impedance electrical resistor and method of making it
Résistance électrique de basse impédance et procédé de fabrication
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR |
(30) |
Priorität: |
10.08.2001 DE 10139323 29.10.2001 DE 10153273
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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12.02.2003 Patentblatt 2003/07 |
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Patentinhaber: Isabellenhütte Heusler GmbH & Co.KG |
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35683 Dillenburg (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- Hetzler, Ullrich, Dr.
35688 Dillenburg-Oberscheld (DE)
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(74) |
Vertreter: Heusler, Wolfgang, Dipl.-Ing. |
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v. Bezold & Sozien
Patentanwälte
Akademiestrasse 7 80799 München 80799 München (DE) |
(56) |
Entgegenhaltungen: :
DE-A- 3 201 434 US-A- 4 532 186
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US-A- 3 296 574
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft einen niederohmigen elektrischen Widerstand und ein Verfahren
zu seiner Herstellung gemäß dem Oberbegriff der unabhängigen Patentansprüche. Insbesondere
handelt es sich um niederohmige Präzisionswiderstände für Strommesszwecke in SMD-
oder Chipbauweise.
[0002] Bei einem aus der EP 0841668 A1 bekannten Verfahren zum Herstellen von SMD-Messwiderständen
mit Widerstandswerten im Milliohmbereich wird zunächst ein Laminat aus einem als Substrat
dienenden Kupferblech, einer Folie aus einer Widerstandslegierung auf Cu-Basis und
einer zwischen ihnen befindlichen wärmeleitenden Klebefolie gebildet. Auf der freien
Oberseite der Legierungsfolie werden dann Anschlusskontaktbereiche für die einzelnen
Widerstände photolithographisch definiert, galvanisch verkupfert und mit Nickel überzogen.
Nach der galvanischen Metallisierung wird die eigentliche Struktur der Widerstände
und ihrer Anschlusskontakte durch Ätzen erzeugt. Die Widerstandsstruktur kann die
übliche Vierpol- und/oder Mäanderform haben. Das Vereinzeln der Widerstände kann mit
einer Laserschneidanlage oder vorzugsweise durch Zerbrechen der Klebefolie nach beidseitigem
Durchätzen der Metallschichten längs der vorgesehenen Trennlinien erfolgen. Dieses
bekannte Verfahren ist relativ aufwendig. Vor allem aber ist es kaum möglich, durch
das bisher notwendige Ätzen Widerstände mit genau definierten Widerstandswerten zu
erzeugen. Besonders schwierig ist es, auf die Legierungsfolie aufgalvanisierte Anschlusskontakte
durch Ätzen zu strukturieren, ohne das darunter befindliche Legierungsmetall anzugreifen,
wobei die Präzision außerdem durch die für das Ätzen typische undefinierte Form der
Stirnflächen der Anschlusskontakte beeinträchtigt wird, die nicht genau senkrecht
zur Oberfläche, sondern mehr oder weniger konkav bis in die Legierungsoberfläche verlaufen.
[0003] Bei einem anderen, aus der EP 0484756 B1 bekannten Verfahren zum Herstellen von SMD-Messwiderständen
werden Anschlusskontakte einer auf ein Substrat geklebten, in üblicher Weise strukturierten
Widerstandsfolie ggf. nach einer galvanischen Vorverzinnung der Anschlussbereiche
als Paste im Siebdruckverfahren auf die Folie aufgebracht und dann in kompakte "Perlen"
umgeschmolzen. Auch hier kann der gewünschte präzise Widerstandswert nur durch anschließendes
Abgleichen erreicht werden. Das Vereinzeln dieser Widerstände erfolgt in der Praxis
durch Stanzen, wie es auch bei vergleichbaren weiteren bekannten Bauelementen üblich
ist.
[0004] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen von Präzisionswiderständen
der betrachteten Art anzugeben, das einfacher ist als vergleichbare bekannte Verfahren
und insbesondere die Bildung der Anschlusskontakte ohne Ätzen ermöglicht.
[0005] Diese Aufgabe wird durch das in Patentanspruch 6 angegebene Verfahren gelöst.
[0006] Durch die Erfindung wird des weiteren ein niederohmiger Widerstand mit den Merkmalen
von Anspruch 1 bereitgestellt.
[0007] Besondere Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.
[0008] Erfindungsgemäß können mit wenigen einfachen Arbeitsgängen Präzisionswiderstände
im Milliohm-Bereich hergestellt werden, die mit Widerstandstoleranzen von maximal
± 5% keinen nachträglichen Abgleich erfordern. Weder die Anschlusskontakte noch die
Legierungsbereiche müssen geätzt werden, womit die Nachteile der ätztechnischen Strukturierung
vermieden werden, nämlich die Ausbildung auslaufender, nicht senkrechter Ätzflanken,
die zu großen Schwankungen des Widerstandswertes und schlechter Reproduzierbarkeit
führen.
[0009] Vorteilhaft wirkt sich aus, dass erfindungsgemäß nach fotolithografischer Definition
der Abscheidungsflächen die vergleichsweise dicken Kupfer-Kontaktschichten sehr genau
galvanisch abgeschieden werden können, wobei insbesondere die zu der Hauptfläche des
Bleches bzw. einer die Wiederstandslage bildenden Folie senkrechte Ausbildung und
die Position der dem aktiven Widerstandsbereich zugewandten Flanken wichtig sind.
[0010] Die zweite Voraussetzung zur erfindungsgemäßen Herstellung genauer Widerstände ist
die Erzeugung einer definierten Breite. Vorzugsweise wird dies durch Zersägen der
galvanisierten Widerstandslage erreicht.
[0011] Durch das Sägen ergibt sich eine wesentlich höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit
der Widerstände als bei anderen Trennverfahren wie Ätzen, Stanzen und z. B. auch bei
der an sich ebenfalls möglichen Verwendung von Lasern. Außerdem kann durch das Sägen
die Anzahl der bei einer gegebenen Nutzfläche herstellbaren Widerstände maximiert
werden.
[0012] Das Verfahren eignet sich u.a. für die Herstellung extrem niederohmiger Widerstände
beispielsweise im Bereich von etwa 0,5 mΩ bis 5 mΩ in großen Stückzahlen, doch können
auch Widerstände mit noch niedrigeren oder mit höheren Widerstandswerten hergestellt
werden, z. B. 0,01-50 mΩ. Bei einer modifizierten Bauform mit besonders dünnen Widerstandsfolien
kann der Widerstandswert auch problemlos noch weiter angehoben werden, z.B. bis auf
100 mΩ. Die Widerstände sind darüber hinaus flexibel und können je nach gewünschter
Belastbarkeit fast beliebig groß oder klein hergestellt werden. Da der erfindungsgemäß
hergestellte Widerstand im Wesentlichen nur aus Metall besteht und die bei den erwähnten
bekannten Verfahren verwendete organische Kleberschicht entweder ganz entfällt oder,
soweit vorhanden, keine Wärme ableiten muss, hat er den Vorteil hoher Temperaturbeständigkeit
und hoher Belastbarkeit. In den für diesen Widerstand typischen Anwendungsfällen genügt
es, die Verlustwärme über die Anschlusskontakte abzuleiten, beispielsweise in eine
Schaltungsplatte, auf deren Oberfläche die Widerstände gemäß der SMD-Technik montiert
werden.
[0013] An den in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen wird die Erfindung näher
erläutert. Es zeigen
- Fig. 1
- die verschiedenen Schritte oder Stufen des Verfahrens;
- Fig. 2
- eine schematische schrägbildliche Darstellung eines erfindungsgemäß hergestellten
Widerstands, und
- Fig. 3
- eine modifizierte Bauform des Widerstands.
[0014] Gemäß Fig. 1A) wird im ersten Verfahrensschritt ein blankes rechteckiges Blech 1
aus einer metallischen Widerstandslegierung mit eine Photoresistschicht 2 bedeckt,
die in der bei der Photolithographie üblichen Weise durch eine Photomaske (nicht dargestellt)
belichtet werden kann. Das Blech 1 kann in praktischen Fällen eine Nutzfläche von
z. B. etwa 300 x 400 mm haben und zwischen 0,1 und 1 mm dick sein. Es besteht vorzugsweise
aus einer der bewährten Widerstandslegierungen auf Cu-Basis wie z. B. CuMn12Ni od.
dgl.
[0015] Im nächsten Schritt gemäß Fig. 1B) wird in ebenfalls an sich bekannter Weise durch
partielles Entfernen die photolithographische Struktur der Photoresistschicht 2 gebildet.
Diese als Abdeckmaske dienende Struktur besteht aus einer Vielzahl sich über die gesamte
Breite oder Länge der in der Zeichnung oberen Oberfläche des Bleches 1 oder wenigstens
der zu nutzenden Oberfläche erstreckender paralleler Streifen 2', die in der Regel
die gleiche Breite und gleiche, über die gesamte Streifenlänge gleichbleibende gegenseitige
Abstände haben.
[0016] Vor, nach oder gleichzeitig mit der photolithographischen Strukturierung der Photoresistschicht
2 wird die Unterseite des Bleches 1 mit einer Schutzfolie 3 bedeckt, die bei der anschließenden
Galvanisierung eine Metallisierung der Blechunterseite verhindert.
[0017] Fig. 1C) zeigt die Verfahrensstufe nach der galvanischen Abscheidung von Kupfer auf
den zwischen den Streifen 2' der Abdeckmaske frei gelassenen Blechstreifen. Die abgeschiedenen
Kupferstreifen 4 erstrecken sich folglich ebenfalls mit untereinander gleicher Breite
und gleichen, über die gesamte Streifenlänge gleichbleibenden gegenseitigen Abständen
über die gesamte Breite oder Länge der Nutzenoberfläche des Bleches 1.
[0018] In der Verfahrensstufe gemäß Fig. 1D) sind die Photoresiststreifen 2' entfernt und
durch Schutzlack ersetzt worden. Die Schutzlackstreifen 5 können beispielsweise von
Hand durch Spachteln oder Rakeln aufgebracht werden. Sie verhindern eine Metallisierung
der zwischen den Kupferstreifen 4 liegenden Bereiche des Bleches 1 bei einer nachfolgenden
galvanischen Verstärkung der Kupferstreifen und schützen im übrigen später ebenso
wie die Schutzfolie 3 die Oberfläche des Legierungsbereiches des fertigen Widerstands.
[0019] Gemäß Fig. 1E) kann auf den Kupferstreifen 4 galvanisch weiteres Kupfer zur Verstärkung
der Kontakte und/oder ein zusätzliches Metall abgeschieden werden. Durch eine Zinnschicht
6 auf der Kupferoberfläche wird diese vor Anlaufen geschützt und das spätere Auflöten
des Widerstands auf eine Schaltungsplatte od. dgl. erleichtert. Die Streifen 4 mit
der Zinnschicht 6 bilden die Anschlusskontakte der zu erzeugenden einzelnen Widerstände.
[0020] Nun können die insoweit bereits fertig gestellten Präzisionswiderstände vereinzelt
werden. Zu diesem Zweck wird das mit den Anschlusskontakten versehene Blech 1 längs
senkrecht zu der Blechoberfläche und senkrecht zueinander verlaufender Gruppen von
Schnittebenen zertrennt. Die Schnittebenen der einen dieser beiden Gruppen verlaufen
parallel zu den Kupferstreifen 4 und somit zu einem der Ränder des Bleches 1 durch
das gesamte Blech und liegen jeweils in der Mitte eines der Kupferstreifen 4, die
dadurch jeweils in zwei gleiche Streifenteile zertrennt werden, längs der Pfeile 7
in Fig. 1E) und in Fig. F). In Fig. F) ist als letzte oder vorletzte Verfahrensstufe
der vereinzelte Widerstand oder ein noch längs der zweiten Gruppe von Schnittebenen
zu zerteilender Streifen dargestellt. Die Schnittebenen der zweiten Gruppe verlaufen
parallel zu dem anderen Blechrand ebenfalls durch das gesamte Blech längs der seitlichen
Ränder der einzelnen Widerstände.
[0021] Diese Vereinzelung der Widerstände erfolgt am besten durch Zersägen an den einzelnen
Schnittebenen. Das Sägen hat den Vorteil, dass sehr präzise die jeweils gewünschten
Abmessungen der Widerstände mit zu der Blechebene genau senkrechten ebenen Schnittflächen
gewährleistet werden können. Hierfür geeignete Präzisionssägemaschinen, die z. B.
optisch mit dem galvanisierten Blech ausgerichtet (referenziert) werden können und
mit hoher Genauigkeit im µm-Bereich arbeiten, sind an sich bekannt und im Handel erhältlich.
Das Blech wird zum Zersägen zweckmäßig auf eine Unterlage geklebt, von deren Klebeschicht
die vereinzelten Widerstände dann problemlos gelöst werden können. Zweckmäßig wird
das galvanisierte Blech zunächst längs einer der beiden Gruppen von Schnittebenen
in einzelne Streifen zersägt, die dann ihrerseits zur Bildung der einzelnen Widerstände
zersägt werden. Je nach Art der Sägemaschine könnten theoretisch auch mehrere Streifen
gleichzeitig abgesägt bzw. zersägt werden. Aus einem Blech mit dem oben als Beispiel
erwähnten Nutzen von ca. 300 x 400 mm lassen sich auf die hier beschriebene Weise
mehrere 10.000 Widerstände aussägen.
[0022] Der nach dem letzten Verfahrensschritt entstandene einzelne Widerstand ist schematisch
(nicht maßstabsgetreu) in Fig. 2 dargestellt. Der fertige Widerstand besteht aus dem
rechteckigen Legierungsblechstück 1', an dessen entgegengesetzten Enden die rechteckigen
Anschlusskontakte 4' und 4'' mit den Zinnschichten 6', 6'' aufgalvanisiert sind. Die
durch das galvanische Abschneiden von Kupfer ggf. in mehreren Schichten gebildeten
Anschlusskontakte sind vorzugsweise relativ dick, u.a. um guten Eingang und Ausgang
des Stroms in die bzw. aus der Legierung zu gewährleisten. Beispielsweise kann die
Dicke des Kupfers ungefähr 50-100 µm betragen.
[0023] Wie ersichtlich ist, hat der Widerstand an den genannten entgegengesetzten Enden
ebene Stirnflächen 9 der Anschlusskontakte und des Blechstücks 1' selbst, die genau
senkrecht zu der Blechebene miteinander fluchten. Dasselbe gilt für die beiden seitlichen
Stirnflächen 8 der Anschlusskontakte und des Blechstücks 1'. Zwischen den Anschlusskontakten
befindet sich die Schutzlackschicht 5', während die den Kontakten abgewandte Oberfläche
des Widerstands noch von der Schutzfolie 3' bedeckt sein kann.
[0024] Der in Fig. 3 dargestellte modifizierte Widerstand unterscheidet sich von der Bauform
nach Fig. 2 nur dadurch, dass anstelle des mit der Schutzfolie 3' bedeckten relativ
dicken Blechstücks 1' eine wesentlich dünnere Widerstandsfolie 11 verwendet worden
ist, die auf einer als Schutzfolie dienenden doppelseitig klebenden Klebefolie 13
befestigt worden ist. Die Widerstandsfolie 11, deren Dicke weniger als 100 µm z.B.
bis herunter zu 20 µm betragen kann, ist zum Zweck der Handhabbarkeit, d.h. zur mechanischen
Stabilisierung mittels der Schutz- und Klebefolie 13 auf einem Substrat 18 fixiert
worden, bei dem es sich beispielsweise um ein 0,5 mm dickes Aluminiumblech handeln
kann.
[0025] Die Anschlusskontakte 14 mit den Zinnschichten 16 und die Schutzlackschicht 15 entsprechen
der Ausführungsform nach Fig. 2, und auch die Herstellung des modifizierten Widerstands
erfolgt im Wesentlichen nach dem anhand von Fig. 1 beschriebenen Verfahren mit der
Maßgabe, dass im Schritt gemäß Fig. 1A anstelle des relativ dicken Bleches 1 das aus
der dünnen Widerstandsfolie 11, der doppelseitigen Klebefolie 13 und dem Substrat
18 bestehende Laminat verwendet wird, wobei die Klebefolie 13 und das Substrat 18
die Schutzfolie 3 ersetzen können. Die Werte der auf diese Weise hergestellten Widerstände
können typisch in der Größenordnung von 50 oder auch 100 mΩ liegen.
[0026] Anstelle des aufgeklebten Aluminiumsubstrats 18 könnte die Handhabbarkeit einer ggf.
sehr dünnen Widerstandsfolie wie der Folie 11 in Fig. 3 auch durch ein zur mechanischen
Stabilisierung der Folie geeignetes nichtmetallisches Substrat ermöglicht werden,
so dass sich ein Widerstand ergibt, der bis auf das dünnere Folienstück anstelle des
Blechstücks 1' und das dickere nichtmetallische Substrat anstelle der Schutzfolie
3' dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 entspricht (bzw. dem Ausführungsbeispiel nach
Fig. 3, in dem die Klebefolie 13 und das Substrat 18 durch eine einzige Substratschicht
ersetzt sind, auf die die Widerstandsfolie 11 aufgeklebt sein kann).
1. Niederohmiger elektrischer Widerstand, bestehend aus einem flachen rechteckigen Metallstück
(1', 11) aus einer Widerstandslegierung und auf die eine Hauptfläche des Metallstücks
an entgegengesetzten Enden aufgalvanisierten Anschlusskontakten (4', 4'', 14),
wobei die Stirnflächen (9) des Metallstücks (1', 11) und der Anschlusskontakte (4',
4'', 14) an diesen Enden und die senkrecht zu diesen Stirnflächen (9) angrenzenden
Seitenflächen (8) des Metallstücks (1') und der Anschlusskontakte (4', 4'', 14) jeweils
senkrecht zu der Ebene der Hauptfläche des Metallstücks (1', 11)miteinander fluchten.
2. Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass sein Widerstandswert zwischen etwa 0,5 mΩ und etwa 5,0 mΩ beträgt.
3. Widerstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallstück eine Folie (11) ist, die auf ihrer den Anschlusskontakten (14) abgewandten
Seite auf einem Substrat (18) befestigt ist.
4. Widerstand nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Folie (11) weniger als 100 µm dick ist.
5. Widerstand nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass sein Widerstandswert größer als 10 mΩ und vorzugsweise größer als 50 mΩ ist.
6. Verfahren zur Herstellung niederohmiger elektrischer Widerstände, bei dem auf photolithographisch
definierte Bereiche einer aus einer metallischen Widerstandslegierung in Form eines
Bleches (1) oder einer Folie (11) bestehenden Lage galvanisch ein Metall zur Bildung
von Anschlusskontakten (4) für eine Vielzahl einzelner Widerstände abgeschieden und
die mit den Anschlusskontakten (4) versehene Lage (1, 11) in die einzelnen Widerstände
zerteilt wird,
gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte
- photolithographische Erzeugung einer Abdeckmaske, die durch eine Vielzahl sich über die eine Oberfläche der Lage (1, 11) erstreckender paralleler
Streifen (2') mit gleichmäßigen gegenseitigen Abständen gebildet wird;
- Galvanisierung der Lage (1, 11) nur auf ihrer die Abdeckmaske tragenden Oberfläche
zur Abscheidung des Anschlusskontaktmetalls auf den zwischen den parallelen Maskenstreifen
(2') liegenden Widerstandsstreifen; und
- Zertrennen der galvanisierten Lage (1, 11) längs senkrecht zu deren Oberfläche und
senkrecht zueinander verlaufender Gruppen von Schnittebenen, von denen die einen Schnittebenen
(7) parallel zu den Anschlusskontaktstreifen (4) je einen der Anschlusskontaktstreifen
zertrennen, während die anderen Schnittebenen die Widerstände an ihren quer zu den
Anschlusskontaktstreifen (4) verlaufenden Rändern voneinander trennen, wobei die galvanisierte
Lage (1, 11) zum Vereinzeln der Widerstände zersägt oder mit einem Laser zertrennt
wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Galvanisierung die Rückseite der Lage (1) mit einer Schutzfolie (3) bedeckt
wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Abscheidung des Anschlusskontaktmetalls die Maskenstreifen (2') entfernt
und an ihrer Stelle ein Schutzlack (5) aufgebracht wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Anschlusskontaktstreifen (4) vor dem Vereinzeln der Widerstände galvanisch
mindestens eine zusätzliche Schicht (6) aus demselben Metall oder aus einem anderen
Metall aufgebracht wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Blech (1) oder eine Folie (11) aus einer Cu-Legierung zur Bildung der Anschlusskontaktstreifen
verkupfert wird und die Kupferstreifen (4) verzinnt werden.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass Länge, Breite und Dicke der nach dem Vereinzeln der Widerstände verbleibenden Blechstücke
(1') und der gegenseitige Abstand der verbleibenden Anschlusskontakte (4', 4'') für
Widerstandswerte zwischen etwa 0,1 mΩ und etwa 5 mΩ bemessen werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckmaske auf einer aus der Widerstandslegierung bestehenden, weniger als 100
µm dicken Folie erzeugt wird, die durch Befestigung auf einem Substrat (18) handhabbar
gemacht wird, und dass Länge, Breite und Dicke der nach dem Vereinzeln der Widerstände
verbleibenden Folienstücke (11) für Widerstandswerte von mehr als 10 mΩ und vorzugsweise
mehr als 50 mΩ bemessen werden.
1. A low-impedance electrical resistor comprising a flat, rectangular metal member (1',
11) of a resistive alloy and connector contacts (4', 4", 14) electroplated onto one
main surface of the metal member at opposite ends, whereby the end surfaces (9) of
the metal member (1', 11) and of the connector contacts (4', 4", 14) at these ends
and the side surfaces (8), perpendicularly adjoining these end surfaces (9), of the
metal member (1') and of the connector contacts (4', 4", 14) are in alignment with
one another perpendicular to the plane of the main surface of the metal member (1',
11).
2. A resistor as claimed in Claim 1, characterised in that its resistance is between about 0.5 mΩ and about 5.0 mΩ.
3. A resistor as claimed in Claim 1 or 2, characterised in that the metal member is a film (11), which is secured to a substrate on its side remote
from the connector contacts (14).
4. A resistor as claimed in Claim 3, characterised in that the film (11) is less than 100 µm thick.
5. A resistor as claimed in Claim 3 or 4, characterised in that its resistance is greater than 10 mΩ and preferably greater than 50 mΩ.
6. A method of producing low-impedance electrical resistors, in which a metal to form
connector contacts (4) for a plurality of individual resistors is galvanically deposited
on photolithographically defined regions of a layer comprising a metallic resistive
alloy in the form of a plate (1) or a film (11) and the layer (1, 11) provided with
the connector contacts (4) is divided into the individual resistors,
characterised by the following method steps
- photolithographically producing a shielding mask, which is constituted by a plurality
of uniformly spaced parallel strips (2') extending over one surface of the layer (1,
11);
- galvanising the layer (1, 11) only on its surface carrying the shielding mask to
deposit the connector contact metal on the resistive strips situated between the parallel
mask strips (2'); and
- severing the galvanised layer (1, 11) along groups of cut planes, which extend perpendicular
to its surface and perpendicular to one another and of which the one cut planes (7)
sever a respective one of the connecting contact strips parallel to the connecting
contact strips whilst the other cut planes separate the resistors from one another
at their edges extending transverse to the connector contact strips (4), whereby the
galvanised layer (1, 11) is severed by sawing or with a laser to separate the resistors.
7. A method as claimed in Claim 6, characterised in that the rear surface of the layer (1) is covered with a protective film (3) before the
galvanising process.
8. A method as claimed in one of Claims 6 or 7, characterised in that after the deposition of the connector contact metal, the mask strips (2') are removed
and a protective lacquer (5) is applied in their place.
9. A method as claimed in one of Claims 6 to 8, characterised in that at least one additional layer (6) of the same metal or of a different metal is applied
galvanically to the connector contact strips (4) before separating the resistors.
10. A method as claimed in one of Claims 6 to 9, characterised in that a sheet (1) or a film (11) of a Cu alloy is plated with copper to form the connector
contact strips and the copper strips (4) are plated with tin.
11. A method as claimed in one of Claims 6 to 10, characterised in that the length, width and thickness of the sheet portions (1') remaining after separating
the resistors and the spacing of the remaining connector contacts (4', 4") are dimensioned
for resistive values of between about 0.1 mΩ and about 5 mΩ.
12. A method as claimed in one of Claims 6 to 10, characterised in that the shielding mask is produced on a film less than 100 µm thick and consisting of
the resistive alloy, which is rendered handleable by connection to a substrate (18)
and that the length, width and thickness of the film portions (11) remaining after
separation of the resistors are dimensioned for resistive values of more than 10 mΩ
and preferably more than 50 mΩ.
1. Résistance électrique de faible impédance, formée par une partie métallique (1', 11)
plane, rectangulaire, réalisée dans un alliage pour résistances électriques, et des
contacts de raccordement (4', 4", 14) sont déposés par électrolyse sur des extrémités
opposées d'une surface principale de la partie métallique, les faces frontales (9)
de la partie métallique (1', 11) et des contacts de raccordement (4', 4", 14) au niveau
de ces extrémités et les faces frontales (8), adjacentes perpendiculairement à ces
faces frontales (9), de la partie métallique (1', 11) et des contacts de raccordement
(4', 4", 14) étant alignées respectivement les unes aux autres perpendiculairement
au plan de la surface principale de la partie métallique (1', 11).
2. Résistance selon la revendication 1, caractérisée en ce que sa valeur de résistance se situe entre environ 0,5 mΩ et environ 5,0 mΩ.
3. Résistance selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la partie métallique est une feuille (11), dont la face opposée aux contacts de raccordement
(14) est fixée sur un substrat (18).
4. Résistance selon la revendication 3, caractérisée en ce que la feuille (11) possède une épaisseur inférieure à 100 µm.
5. Résistance selon la revendication 3 ou 4, caractérisée en ce que sa valeur de résistance est supérieure à 10 mΩ et de préférence supérieure à 50 mΩ.
6. Procédé de fabrication de résistances électriques de faible impédance, dans lequel
un métal, destiné à former des contacts de raccordement (4) pour une pluralité de
résistances individuelles, est déposé par voie électrolytique sur des zones, définies
par photolithographie, d'une couche formée par une tôle (1) ou une feuille (11) en
alliage métallique pour résistances électriques, et la couche (1, 11) munie des contacts
de raccordement (4) est sectionnée pour former les différentes résistances,
caractérisé par les étapes :
- réalisation par photolithographie d'un masque de recouvrement, qui est formé par
une pluralité de bandes (2') parallèles qui s'étendent à distances régulières les
unes des autres sur une surface de la couche (1, 11) ;
- métallisation de la couche (1, 11) uniquement sur la surface portant le masque de
recouvrement pour la précipitation du métal des contacts de raccordement sur les bandes
de résistance disposées entre les bandes de masque (2') parallèles ; et
- sectionnement de la couche métallisée (1, 11) le long de groupes de plans de coupe,
disposés perpendiculairement à la surface de ladite couche et perpendiculairement
les uns aux autres, parmi lesquels les plans de coupe (7) sectionnent chacun l'une
des bandes de contact de raccordement parallèlement à aux bandes de contact de raccordement
(4), alors que les autres plans de coupe séparent les résistances les unes des autres
au niveau de leurs bords transversaux aux bandes de contact de raccordement (4), la
couche métallisée (1, 11) étant sciée pour séparer les résistances ou étant sectionnée
par laser.
7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la métallisation de la face arrière de la couche (1) est revêtue par une feuille
de protection (3).
8. Procédé selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que, après la précipitation du métal des contacts de raccordement, les bandes de masque
(2') sont éliminées et sont remplacées par une couche de vernis de protection (5).
9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce qu'au moins une couche supplémentaire (6), réalisée dans le même métal ou dans un métal
différent, est déposée par voie électrolytique sur les bandes de contact de raccordement
(4) avant la séparation des résistances.
10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que, pour former les bandes de contact de raccordement, on dépose du cuivre sur une tôle
(1) ou une feuille (11) en alliage de cuivre et on galvanise les bandes de cuivre
(4).
11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, caractérisé en ce que la longueur, la largeur et l'épaisseur des parties métalliques (1'), qui subsistent
après la séparation des résistances, et la distance réciproque entre les contacts
de raccordement (4', 4") subsistants sont définies pour des valeurs de résistance
entre environ 0,1 mΩ et environ 5 mΩ.
12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, caractérisé en ce que le masque de recouvrement est réalisé sur une feuille d'une épaisseur inférieure
à 100 µm, qui est réalisée dans l'alliage de la résistance et qui est rendue manipulable
par fixation sur un substrat (18), et en ce que la longueur, la largeur et l'épaisseur des parties de feuille (11), qui subsistent
après la séparation des résistances sont définies pour des valeurs de résistance entre
environ 10 mΩ et environ 50 mΩ.