(19)
(11) EP 1 372 183 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.02.2006  Patentblatt  2006/05

(43) Veröffentlichungstag A2:
17.12.2003  Patentblatt  2003/51

(21) Anmeldenummer: 03011507.5

(22) Anmeldetag:  21.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 49/04(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 11.06.2002 DE 10225965

(71) Anmelder: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH
64291 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • Lang, Ralf, Dipl.-Ing.
    65551 Limburg (DE)

   


(54) Hochtemperaturofen zur Festkörperverdampfung in Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquellen


(57) Es wird ein Hochtemperaturofen zur Festkörperverdampfung in Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquellen vorgeschlagen, der am Ende einer Schubstangenanordnung sitzt. Der Ofen besteht aus einem zylindrischen Becher mit einem Stiel am Außenboden und ist aus einer thermisch bis über 2000°C belastbaren Wolframlegierung. Der Stiel ist bis nahe zum Becherboden koaxial mit einen Außenleiter aus ebenfalls thermisch hochbelastbarem Material umgeben. Der Becher selber ist koaxial mit einer Heizwendel umgeben, die einerseits mit ihrer einen Stirn den Becherrand und andrerseits mit der anderen Stirn den Außenleiter kontaktiert.
An den Stiel und den Außenleiter schließt sich die koaxial aufgebaute Stromzuführung an, die neben dem zentralen Leiter noch aus einem koaxialen Rohrsystem aus drei Rohren besteht, das neben der Stromrückführung noch einen Strömungskanal für Kühlmittel bildet.
Die Stromzuführung bildet gleichzeitig eine Schubstangeneinrichtung zur Positionierung bzw. zur Herausnahme des Hochtemperaturofens aus seiner Betriebsposition. Der gesamte Aufbau aus Ofen und Schubstange kann elektrisch isoliert bewegt werden.





Recherchenbericht