(19) |
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(11) |
EP 1 372 183 A3 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
(88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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01.02.2006 Patentblatt 2006/05 |
(43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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17.12.2003 Patentblatt 2003/51 |
(22) |
Anmeldetag: 21.05.2003 |
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(51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
(30) |
Priorität: |
11.06.2002 DE 10225965
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(71) |
Anmelder: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH |
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64291 Darmstadt (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- Lang, Ralf, Dipl.-Ing.
65551 Limburg (DE)
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(54) |
Hochtemperaturofen zur Festkörperverdampfung in Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquellen |
(57) Es wird ein Hochtemperaturofen zur Festkörperverdampfung in Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquellen
vorgeschlagen, der am Ende einer Schubstangenanordnung sitzt. Der Ofen besteht aus
einem zylindrischen Becher mit einem Stiel am Außenboden und ist aus einer thermisch
bis über 2000°C belastbaren Wolframlegierung. Der Stiel ist bis nahe zum Becherboden
koaxial mit einen Außenleiter aus ebenfalls thermisch hochbelastbarem Material umgeben.
Der Becher selber ist koaxial mit einer Heizwendel umgeben, die einerseits mit ihrer
einen Stirn den Becherrand und andrerseits mit der anderen Stirn den Außenleiter kontaktiert.
An den Stiel und den Außenleiter schließt sich die koaxial aufgebaute Stromzuführung
an, die neben dem zentralen Leiter noch aus einem koaxialen Rohrsystem aus drei Rohren
besteht, das neben der Stromrückführung noch einen Strömungskanal für Kühlmittel bildet.
Die Stromzuführung bildet gleichzeitig eine Schubstangeneinrichtung zur Positionierung
bzw. zur Herausnahme des Hochtemperaturofens aus seiner Betriebsposition. Der gesamte
Aufbau aus Ofen und Schubstange kann elektrisch isoliert bewegt werden.