(19) |
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(11) |
EP 1 506 567 B1 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
(45) |
Hinweis auf die Patenterteilung: |
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18.07.2007 Patentblatt 2007/29 |
(22) |
Anmeldetag: 14.05.2003 |
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(51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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(86) |
Internationale Anmeldenummer: |
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PCT/DE2003/001554 |
(87) |
Internationale Veröffentlichungsnummer: |
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WO 2003/098653 (27.11.2003 Gazette 2003/48) |
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(54) |
DIELEKTRISCHE BARRIERE-ENTLADUNGSLAMPE MIT SOCKEL
DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE LAMP WITH A BASE
LAMPE A DECHARGE A BARRIERE DIELECTRIQUE COMPRENANT UN SOCLE
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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DE FR GB |
(30) |
Priorität: |
17.05.2002 DE 10222100
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(43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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16.02.2005 Patentblatt 2005/07 |
(73) |
Patentinhaber: Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische
Glühlampen mbH |
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81543 München (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- KLING, Rainer
51688 Wipperfürth (DE)
- WITTKÖTTER, Reinhold
51688 Wipperfürth (DE)
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(56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 660 375 DE-A- 10 048 986
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WO-A-00/62330 DE-A- 19 953 533
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Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
Technisches Gebiet
[0001] Die Erfindung geht aus von einer dielektrischen Barriere-Entladungslampe.
[0002] Der Begriff "dielektrische Barriere-Entladungslampe" umfasst dabei Quellen elektromagnetischer
Strahlung auf der Basis von dielektrisch behinderten Gasentladungen. Das Spektrum
der Strahlung kann dabei sowohl den sichtbaren Bereich als auch den UV(Ultraviolett)/VUV(Vakuumultraviolett)-Bereich
sowie den IR(Infrarot)-Bereich umfassen. Ferner kann auch eine Leuchtstoffschicht
zur Konvertierung von VUV-Strahlung in Strahlung mit längeren Wellenlängen, z.B. UVA-
oder sichtbare Strahlung (Licht) vorgesehen sein.
[0003] Eine dielektrische Barriere-Entladungstampe setzt definitionsgemäß mindestens eine
sogenannte dielektrisch behinderte Elektrode voraus. Eine dielektrisch behinderte
Elektrode ist gegenüber dem Innern des Entladungsgefäßes bzw. des Entladungsgases
mittels eines Dielektrikums getrennt. Dieses Dielektrikum - die dielektrische Barriere
- kann beispielsweise als eine die Elektrode bedeckende dielektrische Schicht ausgeführt
sein, oder sie ist durch das Entladungsgefäß der Lampe selbst gebildet, nämlich wenn
die Elektrode auf der Außenseite der Wand des Entladungsgefäßes angeordnet ist. Letztere
wird im Folgenden verkürzend als "Außenetektrode" bezeichnet.
[0004] Die vorliegende Erfindung betrifft eine dielektrische Barriere-Entladungslampe, die
mindestens eine im wesentlichen streifenförmige Außenelektrode der vorgenannten Art
aufweist. Außerdem umfasst die Lampe ein längliches oder rohrförmiges, beidseitig
verschlossenes Entladungsgefäß, welches eine ionisierbare Füllung umschließt.
[0005] Die ionisierbare Füllung besteht üblicherweise aus einem Edelgas, beispielsweise
Xenon oder einer Gasmischung. Während der Gasentladung, die bevorzugt mittels eines
in der
US 5 604 410 beschriebenen gepulsten Betriebsverfahrens betrieben wird, werden sogenannte Excimere
gebildet. Excimere sind angeregte Moleküle, z.B. Xe
2*, die bei der Rückkehr in den in der Regel ungebundenen Grundzustand elektromagnetische
Strahlung emittieren. Im Falle von Xe
2* liegt das Maximum der Molekülbandenstrahlung bei ca. 172 nm.
[0006] Dadurch eignen sich derartige Lampen als UV/VUV-Strahler in der Prozesstechnik, beispielsweise
der Oberflächenreinigung, Photolytik, Ozonerzeugung, Metallisierung, und UV-Curing.
Hierzu ist es in der Regel erforderlich, die Lampe direkt in einer Unterdruck-Prozessgasatmosphäre
oder Vakuum zu betreiben. Dabei sind geeignete Vorkehrungen zum gasdichten Einbau
derartiger Strahler in eine entsprechende Prozesskammer zu treffen.
Stand der Technik
[0007] Aus der Schrift
US 6 060 828, insbesondere Figuren 5a bis 5c, ist bereits eine derartige Lampe mit Edison-Schraubsockel
für die Allgemeinbeleuchtung bekannt. Diese Lampe weist eine wendelförmige Elektrode
innerhalb des Entladungsgefäßes auf. Außerdem sind vier streifenförmige Elektroden
auf der Außenwand des Entladungsgefäßes angeordnet.
[0008] Die
EP-A 1 088 335 offenbart eine für UV-Bestrahlung geeignete dielektrische Barriere-Entladungslampe
mit einen Sockel. Der Sockel weist zwar einen Flansch auf, der mittels Vergussmasse
mit dem Quetschfuß der Lampe verbunden und für Unterdruckanwendungen geeignet ist.
Allerdings ist diese Konzeption für Hochvakuum weniger geeignet. Nachteilig ist außerdem,
dass relativ viel Vergussmasse benötigt wird, wenn diese den gesamten Raum zwischen
dem Quetschfuß und der kreiszylindrischen Innenwand der Sockelhülse ausfüllen soll.
Falls aber Lücken freigelassen werden, herrscht bei Unterdruckanwendungen auch in
dem Bereich zwischen dem Quetschfußende und der nachfolgenden Dichtung ein Unterdruck.
Dann besteht die Gefahr von parasitären Gasentladungen zwischen den Stromzuführungen.
[0009] Die
DE-A 100 48 986 offenbart ebenfalls eine für die UV-Bestrahlung geeignete dielektrische Barriere-Entladungslampe
mit einen Sockel. Die Lampe selbst entspricht gattungsgemäß der in der bereits erwähnten
US 6 060 828, Figuren 5a bis 5c, offenbarten Lampe. Der Sockel weist eine Sockelhülse mit Kontaktfedern
auf. Die Sockelhülse umschließt den Lampenfuß bzw. das entsprechende Lampenende derart,
dass jede Kontaktfeder mit einer korrespondierenden streifenförmigen Außenelektrode
in elektrisch leitfähigem Kontakt steht. Da der Sockel bzw. die Sockelhülse im Bereich
der Kontaktfedern nicht gasdicht mit dem Lampengefäß verbunden ist, besteht auch hier
die Gefahr von parasitären Gasentladungen zwischen den Stromzuführungen für die Außenelektroden,
hier insbesondere auch den Kontaktfedern der Sockelhülse, und für die Innenelektrode.
Darstellung der Erfindung
[0010] Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine verbesserte dielektrische Barriere-Entladungslampe
bereit zu stellen. Ein weiterer Aspekt ist, dass die dielektrische Barriere-Entladungslampe
in einer Unterdruck-Umgebung einsetzbar sein soll.
[0011] Diese Aufgabe wird gelöst mit einer dielektrischen Barriere-Entladungslampe mit Sockel,
wobei die Entladungslampe Folgendes aufweist: ein längliches, beidseitig verschlossenes
Entladungsgefäß, dessen Wand eine ionisierbare Füllung umschließt, Elektroden, wobei
mindestens eine der Elektroden eine Innenelektrode ist, d.h. innerhalb des Entladungsgefäßes
angeordnet ist und mindestens eine der Elektroden eine Außenelektrode ist, d.h. auf
der Außenseite der Wand des Entladungsgefäßes angeordnet ist, eine Stromzuführung
für die mindestens eine Innenelektrode und einen Lampenfuß, durch den hindurch die
mindestens eine Innenelektrode gasdicht mit der Stromzuführung verbunden ist, dadurch
gekennzeichnet, dass der Sockel ein Rohr umfasst, das am lampenfußseitigen Ende das
Entladungsgefäßes gasdicht angesetzt ist und den Lampenfuß umgibt.
[0012] Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.
[0013] Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, an das lampenfußseitige Ende des Entladungsgefäßes
der dielektrischen Barriere-Entladungslampe ein Rohr gasdicht anzusetzen, das den
Lampenfuß umgibt. Dadurch ist eine gasdichte Trennung zwischen den beiden Stromzuführungen
für die Außen- bzw. Innenelektrode möglich. Auf diese Weise lassen sich die eingangs
erwähnten parasitären Gasentladungen zwischen den Stromzuführungen bei Unterdruck
verhindern.
[0014] Um auch unterschiedliche Durchmesser für das Entladungsgefäß und das daran angesetzte
Rohr zu ermöglichen kann es zweckmäßig sein, einen geeigneten Übergangsbereich vorzusehen.
In diesem Fall umfasst das Rohr einen zylindrischen sowie einen konischen Abschnitt,
wobei der konische Abschnitt das Entladungsgefäß mit dem zylindrischen Abschnitt verbindet.
[0015] Zum gasdichten Einbau der erfindungsgemäßen Lampe in eine Prozesskammer weist das
Rohr zweckmäßigerweise zusätzlich ein Mittel zum Dichten auf.
[0016] In einer bevorzugten Ausführungsform ist dieses Mittel zum Dichten durch eine Kleinflanschdichtung
realisiert, die über das Rohr gesteckt ist. Hierfür eignen sich prinzipiell handelsübliche,
eventuell geeignet modifizierte Vakuum-Kleinflanschdichtungen für Glasrohre. Die Stromzuführung
für die Außenelektroden ist, ebenso wie die Außenelektroden selbst, als leiterbahnähnliche
Struktur ausgebildet. Die Dicke dieser Strukturen beträgt typischerweise nur wenige
Mikrometer. Dies ermöglicht ein gasdichtes Hindurchführen der auf der Außenseite des
Rohres angeordneten Stromzuführung der Außenelektroden durch den bei Vakuum-Kleinflanschen
üblicherweise als Dichtung verwendeten O-Ring. Außerdem ist am lampenabgewandten Ende
des Rohres zweckmäßigerweise ein Anschlussstecker, z.B. vom Typ BNC - HT, vorgesehen,
der mit den beiden Stromzuführungen verbunden ist. Weitere Details hierzu findet sich
im Ausführungsbeispiel.
[0017] Alternativ kann entweder ein metallischer Vakuumflansch mittels Übergangsgläser oder
ein Glasflansch durch direktes Anschmelzen mit dem freien Ende des Rohres verbunden
sein.
[0018] Außerdem muss die Stromzuführung für die Außenelektrode nicht notwendigerweise leiterbahnähnlich
auf der Außenseite des Rohres angeordnet sein.
[0019] Da die Außenelektroden vorzugsweise auf Massepotential gelegt werden, kann es auch
vorteilhaft sein, die Außenelektroden direkt, beispielsweise mittels einer geeigneten
Kontaktfeder, mit der metallischen Prozesskammer zu verbinden.
[0020] Wenn jedenfalls, wie vorstehend erläutert, die erfindungsgemäße Lampe mit Hilfe des
Dichtungssockels gasdicht in eine Prozesskammer eingebaut ist, trennt das angesetzte
Rohr die vom Luftdruck umgebene Stromzuführung der Innenelektrode von demjenigen Teil
der mit den Außenelektroden verbundenen Stromzuführung, der der Prozessgasatmosphäre
oder Vakuum ausgesetzt ist. Dadurch werden die eingangs erwähnten parasitären Entladungen
zwischen den im Betrieb auf unterschiedlichem Potential liegenden Stromzuführungen
wirkungsvoll verhindert.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
[0021] Im Folgenden soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert
werden. Die Figur zeigt:
[0022] eine Draufsicht einer erfindungsgemäßen dielektrischen Barriere-Entladungslampe mit
Sockel, einschließlich Sockel-Adapter (Schnittdarstellung).
Bevorzugte Ausführung der Erfindung
[0023] In der Figur ist eine erfindungsgemäße dielektrische Barriere-Entladungslampe 1 mit
Sockel schematisch dargestellt. Dabei handelt es sich um einen UV/VUV-Strahler, z.B.
für die Oberflächenreinigung, Photolytik, Ozonerzeugung, Metallisierung oder UV-Curing.
Dieser Strahler ist für eine elektrische Leistungsaufnahme von ca. 20 W ausgelegt.
[0024] Die Entladungslampe 1 weist ein kreiszylindrisches Entladungsgefäß 2 aus 0,7 mm bis
1,5 mm dickem Quarzglas auf. Das Entladungsgefäß 2 weist einen Außendurchmesser von
ca. 40 mm und eine Länge von ca. 120 mm auf. Das -Innere des Entladungsgefäßes 2 ist
mit Xenon bei einem Druck von 20 kPa gefüllt.
[0025] An einem ersten Ende ist das Entladungsgefäß 2 kuppelartig verschlossen und weist
in der Mitte der Kuppel eine Pumpspitze 3 auf. Im Bereich des der Pumpspitze 3 entgegengesetzten
Lampenfußes ist am Entladungsgefäß 2 ein Quarzrohr 4 angeschmolzen. Alternativ kann
dieses Quarzrohr auch mittels Glaslot angefügt sein. Das Quarzrohr 4 weist einen konischen
Abschnitt 5 und einen kreiszylindrischen Abschnitt 6 auf. Der konische Abschnitt 5
verbindet das rohrförmige Entladungsgefäß 2 mit dem kreiszylindrischen Abschnitt 6,
dessen Außendurchmesser ca. 25 mm beträgt. Am lampenabgewandten Ende des Quarzrohres
4 ist ein Anschlussstecker 7 vom Typ BNC - HT angeordnet.
[0026] Auf der Außenseite des Entladungsgefäßes 2 sind sechs Außenelektroden 8a-8f (die
Außenelektroden 8d-8f sind in der Fig. 1 nicht zu sehen) in Form von 12 cm langen,
ca. 1 bis 1,5 mm breiten, dünnen Platinstreifen äquidistant und parallel zur Lampenlängsachse
angebracht. Die Enden der Elektrodenstreifen 8a-8f sind jeweils mit einem umlaufenden
Platinstteifen 9, 10 miteinander verbunden. Der eine Platinstreifen 9, der in der
unmittelbaren Nähe der Verbindung zwischen Entladungsgefäß 2 und Quarzrohr 4 angebracht
ist, ist mit einem weiteren Platinstreifen 11 verbunden. Dieser weitere Platinstreifen
11 verläuft auf der Außenseite des Quarzrohrs 4 und endet am Anschlussstecker 7, mit
dessen erstem Pol er verbunden ist. Auf diese Weise fungiert dieser Platinstreifen
11 als Stromzuführung für die Außenelektroden 8a-8f.
[0027] Auf dem kreiszylindrischen Abschnitt 6 des Quarzrohres 4 ist ein modifizierter Sockel-Adapter
12 vom Typ ISO KF 40 angeordnet (Schnittdarstellung). Er umfasst einen Vakuum-Kleinflansch
13 und eine damit verschraubte Innenhülse 14. Die Innenhülse 14 drückt über einen
Metallring 15 einen O-Ring 16 gegen eine Schräge 17 des Kleinflansches 13. Dadurch
dichtet dieser, O-Ring 16 gegen die Außenseite des Quarzrohres 4. Ein weiterer O-Ring
18 ist in einer Innennut 19 am gewindefreien Ende der Innenhülse 14 eingelegt. Dadurch
wird eine spannungsfreie, gasdichte Lagerung der Lampe 1 im Sockel-Adapter 12 erzielt.
Eine Ringnut 20 auf der Dichtseite des Kleinflansches 13 dient zur Aufnahme eines
an sich bekannten Zentrierringes mit O-Ring (nicht dargestellt) zum Einbau in eine
(nicht dargestellte) Prozesskammer.
[0028] An dem der Pumpspitze 3 gegenüberliegenden Ende verjüngt sich das Entladungsgefäß
3 und geht in eine Quetschdichtung 21 über. Die Quetschdichtung 21 gewährleistet mit
Hilfe einer Dichtungsfolie 22 aus Molybdän eine gasdichte Verbindung der Innenelektrode
23 mit einer äußeren Stromzuführung 24. Diese Stromzuführung 24 ist mit dem zweiten
Pol des Anschlusssteckers 7 verbunden (nicht dargestellt).
[0029] Die Innenelektrode 23 ist ein innerhalb des Entladungsgefäßes 2 zentrisch angeordneter
gewendelter Metalldraht. Das der Quetschdichtung 21 entgegengesetzte Ende der Wendelelektrode
23 ist in der Pumpspitze 3 fixiert. Die jeweiligen Durchmesser des Metalldrahtes und
der Wendel betragen 1 mm bzw. 8 mm. Die Ganghöhe - d.h. die Strecke, innerhalb der
die Wendel eine vollständige Umdrehung ausführt - beträgt 12 mm.
[0030] Details zu der Funktionsweise der Elektroden während des Lampenbetriebs sind in der
bereits zitierten
US 6 060 828, insbesondere in der Beschreibung zu den Figuren 5a bis 5c, beschrieben.
1. Dielektrische Barriere-Entladungslampe (1) mit Sockel, wobei die Entladungslampe (1)
Folgendes aufweist:
- ein längliches, beidseitig verschlossenes Entladungsgefäß (2), dessen Wand eine
ionisierbare Füllung umschließt,
- Elektroden (8a-8f, 23), wobei mindestens eine der Elektroden eine Innenelektrode
(23) ist, d.h. innerhalb des Entladungsgefäßes (2) angeordnet ist und mindestens eine
der Elektroden eine Außenelektrode (8a-8f) ist, d.h. auf der Außenseite der Wand des
Entladungsgefäßes (2) angeordnet ist,
- eine Stromzuführung (24) für die mindestens eine Innenelektrode (23) und einen Lampenfuß
(21), durch den hindurch die mindestens eine Innenelektrode (23) gasdicht mit der
Stromzuführung (24) verbunden ist,
dadurch gekennzeichnet, dass der Sockel umfasst,
• ein Rohr (4), das am lampenfußseitigen Ende das Entladungsgefäßes (2) gasdicht angesetzt
ist und den Lampenfuß (21) umgibt.
2. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 1, wobei das Rohr
(4) zusätzlich ein Mittel zum Dichten (12) aufweist.
3. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 2, wobei das Mittel
zum Dichten (12) einen Vakuumflansch (13) umfasst.
4. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 3, wobei der Vakuumflansch
(13) auf das Rohr aufgesteckt ist.
5. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei eine Stromzuführung (11) für die mindestens eine Außenelektrode (8a-8f) auf
der Außenseite des Rohres angeordnet und durch das Mittel zum Dichten (12) hindurchgeführt
ist.
6. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach einem der vorstehenden Ansprüche
mit einem Anschlussstecker (7) am lampenabgewandten Ende des Rohrs (4); mit dem zumindest
die Stromzuführung (24) für die Innenelektrode (23) verbunden ist.
7. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 6, wobei der Anschlussstecker
(7) vom Typ BNC - HT ist.
8. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Außenelektrode(n) (8a-8f) und die Stromzuführung (11) für die Außenelektrode(n)
als leiterbahnähnliche Strukturen ausgebildet sind.
9. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 8, wobei die leiterbahnähnlichen
Strukturen mehrere Streifen (8a-8f, 11) umfassen, die in axialer Richtung und mit
gegenseitigem Abstand auf der Außenseite des Entladungsgefäßes (2) aufgebracht sind.
10. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 3, wobei der Vakuumflansch
(13) aus dem gleichen Material wie das Rohr besteht und an dem freien Ende des Rohres
angeschmolzen ist.
11. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach Anspruch 3, wobei der Vakuumflansch
(13) aus Metall besteht und mittels Übergangsgläser an dem freien Ende des Rohres
angeschmolzen ist.
12. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Innenelektrode (23) wendelförmig ist und axial bezüglich des Entladungsgefäßes
(2) orientiert ist.
13. Dielektrische Barriere-Entladungslampe mit Sockel nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei das Rohr (4) einen zylindrischen (6) sowie einen konischen Abschnitt (5) aufweist
und der konische Abschnitt (5) das Entladungsgefäß (2) mit dem zylindrischen Abschnitt
(6) verbindet.
1. Dielectric barrier discharge lamp (1) having a base, the discharge lamp (1) having
the following:
- an elongate discharge vessel (2), which is sealed at both ends, and whose wall surrounds
an ionizable filling,
- electrodes (8a-8f, 23), at least one of the electrodes being an inner electrode
(23), i.e. being arranged within the discharge vessel (2), and at least one of the
electrodes being an outer electrode (8a-8f), i.e. being arranged on the outside of
the wall of the discharge vessel (2),
- a power supply line (24) for the at least one inner electrode (23) and a lamp foot
(21), through which the at least one inner electrode (23) is connected in a gas-tight
manner to the power supply line (24),
characterized in that the base comprises
• a tube (4) which is fitted in a gas-tight manner to the lamp foot-side end of the
discharge vessel (2) and surrounds the lamp foot (21).
2. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 1, the tube (4)
also having a sealing means (12).
3. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 2, the sealing
means (12) comprising a vacuum flange (13).
4. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 3, the vacuum flange
(13) being plugged onto the tube.
5. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to one of the preceding
claims, a power supply line (11) for the at least one outer electrode (8a-8f) being
arranged on the outside of the tube and being passed through the sealing means (12).
6. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to one of the preceding
claims having a connection plug (7) on that end of the tube (4) which faces away from
the lamp, at least the power supply line (24) for the inner electrode (23) being connected
to said connection plug (7).
7. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 6, the connection
plug (7) being of the type BNC - HT.
8. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to one of the preceding
claims, the outer electrode(s) (8a-8f) and the power supply line (11) for the outer
electrode(s) having conductor track-like structures.
9. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 8, the conductor
track-like structures comprising two or more strips (8a-8f, 11) which are fitted in
the axial direction and with a mutual spacing on the outside of the discharge vessel
(2).
10. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 3, the vacuum flange
(13) being made of the same material as the tube and being fused to the free end of
the tube.
11. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to Claim 3, the vacuum flange
(13) being made of metal and being fused to the free end of the tube by means of glass
transition elements.
12. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to one of the preceding
claims, the inner electrode (23) being helical and being oriented axially with respect
to the discharge vessel (2).
13. Dielectric barrier discharge lamp having a base according to one of the preceding
claims, the tube (4) having a cylindrical (6) and a conical section (5), and the conical
section (5) connecting the discharge vessel (2) to the cylindrical section (6).
1. Lampe (1) à décharge à barrière diélectrique ayant un culot, la lampe (1) à décharge
comportant ce qui suit :
- une enceinte (2) de décharge oblongue, fermée des deux côtés et dont la paroi enferme
une charge ionisable,
- des électrodes (8a à 8f, 23), au moins l'une des électrodes étant une électrode
(23) intérieure, c'est-à-dire est disposée à l'intérieur de l'enceinte (2) de décharge,
et au moins l'une des électrodes étant une électrode (8a à 8f) extérieure, c'est-à-dire
est disposée sur la face extérieure de la paroi de l'enceinte (2) de décharge,
- une entrée (24) de courant pour la au moins une électrode (23) intérieure et un
pied (21) de lampe, à travers lequel la au moins une électrode (23) intérieure est
reliée d'une manière étanche au gaz à l'entrée (24) de courant,
caractérisée en ce que le culot comprend
• un tube (4) qui est mis de manière étanche au gaz sur l'extrémité côté pied de lampe
de l'enceinte (2) de décharge et qui entoure le pied (21) de lampe.
2. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 1, dans
laquelle le tube (4) a, en outre, un moyen d'étanchéité (12).
3. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 2, dans
laquelle le moyen d'étanchéité (12) comprend une bride (13) à vide.
4. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 3, dans
laquelle la bride (13) à vide est emmanchée sur le tube.
5. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant l'une des revendications
précédentes, dans laquelle une entrée (11) de courant pour la au moins une électrode
(8a à 8f) extérieure est disposée sur la face extérieure du tube et passe à travers
le moyen d'étanchéité (12).
6. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant l'une des revendications
précédentes, comprenant un connecteur (7) à l'extrémité du tube (4) qui est éloignée
de la lampe, connecteur auquel au moins l'entrée (24) de courant pour l'électrode
(23) intérieure est reliée.
7. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 6, dans
laquelle le connecteur (7) est du type BNC-HT.
8. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant l'une des revendications
précédentes, dans laquelle la ou les électrodes extérieures (8a à 8f) et l'entrée
(11) de courant pour la ou les électrodes extérieures sont constituées de structures
analogues à des pistes conductrices.
9. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 8, dans
laquelle les structures analogues à des pistes conductrices comprennent plusieurs
bandes (8a à 8f, 11) qui sont déposées en direction axiale et à distance mutuelle
sur la face extérieure de l'enceinte (2) de décharge.
10. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 3, dans
laquelle la bride (13) à vide est en le même matériau que le tube et est scellée à
l'extrémité libre du tube.
11. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant la revendication 3, dans
laquelle la bride (13) à vide est en métal et est scellée à l'extrémité libre du tube
au moyen de verre de transition.
12. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant l'une des revendications
précédentes, dans laquelle l'électrode (23) intérieure est boudinée et est orientée
axialement par rapport à l'enceinte (2) de décharge.
13. Lampe à décharge à barrière diélectrique à culot suivant l'une des revendications
précédentes, dans laquelle le tube (4) a un tronçon (6) cylindrique ainsi qu'un tronçon
(5) conique, et le tronçon (5) conique relie l'enceinte (2) de décharge au tronçon
(6) cylindrique.
IN DER BESCHREIBUNG AUFGEFÜHRTE DOKUMENTE
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