Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb

Abstract

 Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1; 201) mit einer gegen Atmosphäre verdichtenden Endpumpstufe(2; 214) und einer Kühlvorrichtung (7; 207) und ein Verfahren zum Betrieb einer solchen Vakuumpumpe. Um größere Dampfanteile in Gas-Dampf-Gemischen fördern, schlägt die Erfindung vor, dass die Vakuumpumpe eine Betriebselektronik (8; 208) zur Stellung der Kühlmenge der Kühlvorrichtung und einen mit der Betriebselektronik verbundenen Temperaturfühler (13; 213) aufweist. Das Verfahren sieht vor, dass eine Temperatur gemessen, anschließend die notwendige Kühlung ermittelt und dann die ermittelte Kühlung eingestellt wird.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruchs. Sie betrifft weiterhin ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des achten Anspruchs.

[0002] Vakuumpumpen des Grob- und Feinvakuumbereichs haben grundsätzlich ein Problem beim Verdichten von Gas-Dampf-Gemischen auf Atmosphärendruck. Ohne geeignete Gegenmaßnahmen kann es zur Kondensation des Dampfanteils innnerhalb der Pumpstufen der Vakuumpumpe kommen. Bei dem Dampfanteil handelt es sich in sehr vielen Fällen um Wasserdampf. Eine Vakuumpumpe kann abhängig von ihrer Gestaltung Wasserdampf mitverdichten, ohne dass es zu unerwünschten Probleme kommt. Dies wird oft mit "Wasserdampfverträglichkeit" bezeichnet. Dieses Problem wurde erstmals von Gaede gelöst, indem er sogenannten Gasballast in die Pumpstufe einströmen lies. Vorgestellt wird diese Methode in der DE-PS 702 480. Diese Problemlösung hat sich im Stand der Technik durchgesetzt und wird seit vielen Jahrezehnten in verschiedenen Ausprägungen verwendet.

[0003] Nachteilig an dieser Lösung ist, dass mit Einlass einer großen Menge von Gasballast der Enddruck der Vakuumpumpe verschlechtert wird. Bei mehrstufigen Vakuumpumpen ist die Gasballastmenge zudem durch die meist vorgenommene Abstufung zwischen den Stufen begrenzt. Andererseits wird beobachtet, dass Vakuumpumpen in viele Anwendungen Gas-Dampf-Gemische mit hohen Dampfanteilen verdichten müssen.

[0004] Aufgabe der Erfindung war es daher, eine Vakuumpumpe schaffen, die Gas-Dampf-Gemische mit größeren Dampfanteilen gegen Atmosphäre verdichten kann.

[0005] Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des ersten Anspruchs und durch ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe mit den Merkmalen des achten Anspruchs. Die abhängigen Ansprüche 2 bis 7 und 9 bis 11 geben vorteilhafte Weiterbildungen an.

[0006] Das Vorsehen einer Betriebselektronik zur Stellung der Kühlmenge der Kühlvorrichtung erlaubt es, die Kühlmenge gezielt zu reduzieren. Die Temperatur der Vakuumpumpe steigt bei gesenkter Kühlmenge aufgrund der Kompressionswärme und der aus der Verlustleistung des Antriebs entstehenden Wärme an. Dadurch sinkt die Gefahr der Kondensation von Dampf und die Vakuumpumpe kann Gas-Dampf-Gemische mit höherem Dampfgehalt gegen Atmosphäre verdichten. Die oben genannten Nachteile, unter anderem die Verschlechterung des Enddrucks, werden weitgehend vermieden. Der mit der Betriebselektronik verbundene Temperaturfühler erlaubt es, die Temperatur der Vakuumpumpe auf einem hohen aber unschädlichen Wert zu halten. Zu hohe Temperaturen führen zu einem vorzeitigen Altern der Bauelemente. Bei schmiermittelgeschmierten Vakuumpumpen ist insbesondere das Schmiermittel bei hohen Temperaturen Zersetzungsprozessen ausgesetzt. Durch den Temperaturfühler kann die Temperatur der Vakuumpumpe durch Verändern der Kühlmenge in einem Bereich geregelt werden, in dem solche Alterung und Zersetzung nicht stattfindet. Dies ist lediglich durch die maximale Kühlmöglichkeit begrenzt. Zum Erreichen dieser Vorteile sind als Verfahrensschritte das Messen einer Temperatur, das anschließende Ermitteln einer notwendigen Kühlmenge und das Einstellen der ermittelten Kühlung notwendig.

[0007] Die Vakuumpumpe lässt sich vorteilhaft weiterbilden, in dem ein Auswahlmittel mit der Betriebselektronik verbunden ist, welches die Wahl unterschiedlicher Betriebsarten der Betriebselektronik ermöglicht. Hierdurch ist es möglich, das Fördervermögen für hohe Dampfanteile den Bedürfnissen anzupassen. Ist ein geringer Dampfanteil zu fördern, wird eine Betriebsart mit niedriger Betriebstemperatur ausgewählt. Mit steigendem Dampfanteil können Betriebsarten mit zunehmend hohen Betriebstemperaturen ausgewählt werden.

[0008] Eine andere Weiterbildung schlägt vor, zusätzlich einen durch ein Ventil absperrbaren Gasballastzugang vorzusehen. Hierdurch kann der förderbare Dampfanteil weiter gesteigert werden.

[0009] Vorteilhaft weiterbilden lässt sich eine Vakuumpumpe mit einem durch ein Ventil absperrbaren Gasballastzugang und einem Auswahlmittel, indem die Schaltzustände des Auswahlmittels und des Ventils miteinander gekoppelt sind. Dadurch wird in dem Moment eine Betriebsart mit höherer Temperatur gewählt, wenn auch eine Gasballastmenge zugeführt wird. Diese kann durch eine Drossel eingestellt werden. Auf diese Weise wird der Betrieb der Vakuumpumpe vereinfacht und eine optimale Verträglichkeit für hohe Dampfanteile hergestellt.

[0010] Eine Weiterbildung schlägt vor, dass das Ventil im Gasballastzugang ein Magnetventil umfasst, welches mit der Betriebselektronik verbunden ist. Auf diese Weise kann die Betriebselektronik nach Bedarf zusätzlichen Gasballast zuführen. Dies ermöglicht es, auch dann hohe Dampfanteile zu fördern, wenn es notwendig werden sollte, die Temperatur abzusenken.

[0011] In einer vorteilhaft einfachen Weiterbildung umfasst die Kühlvorrichtung einen Lüfter, dessen Drehzahl veränderbar ist. Insbesondere ist sie von einem Standardwert absenkbar, so dass die zur Verfügung gestellte Kühlmenge durch Drehzahlreduktion gesenkt werden kann. Dies ist eine einfache und kostengünstige Bauform.

[0012] In einer anderen Weiterbildung weist die Vakuumpumpe eine schmiermittelgedichtete Drehschieberpumpstufe auf. Da hier das Schmiermittel viele Funktionen übernimmt, insbesondere die Abdichtung des Schöpfraumes, Schmierung des Schiebers und die Schmierung der Lager, ist es wichtig, dass keine Dämpfe kondensieren und in den Schmiermittelkreislauf gelangen. Zugleich ist es wichtig, das Schmiermittel nicht durch eine Übertemperatur zu schädigen.

[0013] Das Verfahren nach Anspruch 8 lässt sich weiterbilden, indem in einem weiteren Schritt das Auswahlmittel auf seinen Schaltzustand überprüft und danach die zu erreichende Temperatur ermittelt wird. Hierdurch ist es auf sehr einfache und kostengünstige Weise möglich, dem Nutzer der Vakuumpumpe eine Mehrzahl von Betriebsarten zu bieten, die sich in der Verträglichkeit für Dampfanteile unterscheiden.

[0014] Eine andere Weiterbildung schlägt vor, das Einstellen der Kühlung durch Ändern der Drehzahl des Lüfters zu bewirken. Dies ist baulich besonders einfach. Zudem lassen sich sehr schnell sehr genaue Änderungen der Kühlung bewirken.

[0015] Eine andere Weiterbildung schlägt vor, dass die Vakuumpumpe ein Ventil in einem Gasballastzugang aufweist und die Temperatur der Vakuumpumpe durch Verringern der Drehzahl eines Lüfters erhöht wird, wenn das Ventil geöffnet ist. Durch die Temperaturerhöhung und dem gleichzeitigen Zuführen des Gasballastes wird ein maximal hohes Fördervermögen für Dampfanteile erreicht.

[0016] Anhand zweier Ausführungsbeispiele soll die Erfindung näher erläutert und die Darstellung ihrer Vorteile vertieft werden. Es zeigen:

Fig. 1:

Allgemeiner Aufbau einer ersten Vakuumpumpe gemäß der Erfindung.

Fig. 2:

Schnitt durch eine erfindungsgemäße ölgedichtete Drehschiebervakuumpumpe.

Fig. 3:

Diagramm über den zeitlichen Verlauf von Temperatur, Schaltzustand und Kühlung.

Fig. 4:

Diagramm über den zeitlichen Verlauf von Kühlung und Drehzahl des Lüfters.

[0017] Als erste Abbildung zeigt Fig. 1 den Aufbau einer zweistufigen Vakuumpumpe 1 des ersten Ausführungsbeispiels. Innerhalb der Vakuumpumpe sind eine Endpumpstufe 2 und eine Feinvakuumstufe 4 angeordnet. Der Einlass der Feinvakuumstufe ist mit einem Rezipienten 3 verbunden. Gas wird von ihr aus diesem angesaugt und durch die Endpumpstufe soweit verdichtet, dass es gegen Atmosphäre aus der Vakuumpumpe ausgestoßen werden kann. Beide Pumpstufen werden von einem Motor 5 angetrieben. Seine Antriebskraft wird durch ein Getriebe 6 auf beide Pumpstufen verteilt. Alternativ können beide Pumpstufen auf einer gemeinsamen Welle angeordnet sein, die von dem Motor angetrieben wird. Die Pumpstufen können trocken verdichtend ausgeführt sein, beispielsweise nach dem Kolbenprinzip. In einer vorteilhaften Ausführung handelt es kann sich wenigstens bei der Endpumpstufe um eine schmiermittelgedichtete Drehschieberpumpe.

[0018] Die Vakuumpumpe weist einen Lüfter 7 auf, welcher einen vom Motor 5 unabhängigen Antrieb aufweist. Eine Betriebselektronik 8 stellt die Drehzahl des Lüfters. Der Lüfter erzeugt einen Luftstrom und damit eine Kühlmenge, die zur Kühlung der Pumpstufen und des Motors genutzt wird. Der Luftstrom ist in Fig. 1 durch gestrichelte Pfeile dargestellt. Ein Auswahlmittel 12 ist derart an der Vakuumpumpe angeordnet, dass es für den Benutzer zugänglich ist. Dieses Auswahlmittel erlaubt die Auswahl verschiedener Betriebsarten. Es kann beispielsweise als Mehrfachschalter ausgeführt sein, bei der jede Stellung für eine Betriebsart steht. Alternativ kann es als Stecker für eine Fernbedienung ausgeführt sein. Die Betriebsarten unterscheiden sich im Temperaturbereich, auf den die Vakuumpumpe temperiert wird.

[0019] Mit der Betriebselektronik ist ein Temperaturfühler 13 verbunden, welcher innerhalb der Vakuumpumpe angeordnet ist. In diesem Beispiel ist er an der Endpumpstufe angeordnet. Er kann auch an kälteren Stellen, an denen die Kondensationsgefahr besonders hoch ist, beispielsweise am Pumpenauslass, oder an in Bezug auf Übertemperatur kritischere Stellen, beispielsweise dem Motor, angeordnet sein. Alternativ kann eine Mehrzahl von Temperaturfühlern vorgesehen sein.

[0020] Die Betriebselektronik ist mit einem Magnetventil 9 verbunden, welches in einem Gasballastzugang 11 angeordnet ist. Dieser Gasballastzugang erlaubt das Zuführen von Atmosphärengas in die Endpumpstufe 2. Eine Drossel 10, die ebenfalls mit der Betriebselektronik verbunden sein kann, ermöglicht das Regulieren der über den Gasballastzugang zugegebenen Gasmenge.

[0021] Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist eine schmiermittelgedichtete Drehschiebervakuumpumpe 1, im Folgenden: Drehschieberpumpe. Sie saugt Gas durch einen Gaseinlass 225 ein und stößt verdichtetes Gas gegen Atmosphäre durch einen Gasauslass 226 aus. Verdichtet wird das Gas im Schöpfraum 214 einer Pumpstufe. Diese wird gebildet, indem eine Welle 215 eine zylindrische Bohrung exzentrisch durchsetzt, wobei die Welle einen oder mehrere Schieber 216 trägt. Die Welle ist in Gleitlagern 217 drehbar gelagert. Durch die Drehung der Welle läuft der Schieber in der Bohrung um, wobei ein sichelförmiger Schöpfraum zwischen den Zylinderwänden und dem Schieber entsteht. Die Drehung wird in diesem Beispiel von Permanentmagneten 224 auf der Welle und elektrischen Spulen 223 bewirkt. Zwischen elektrischen Spulen und Welle ist ein Trennelement 218 angeordnet, welches aus nichtmagnetischem Material aufgebaut ist. Dieses kann beispielsweise Glas umfassen. Die Ansteuerung der elektrischen Spulen erfolgt durch eine Betriebselektronik 208. Diese ist so gestaltet, dass sie neben den Spulen des Antriebs auch einen Lüfter 207 ansteuert. Die Betriebselektronik ist insbesondere so gestaltet, dass sie unterschiedliche Drehzahlen des Lüfters bewirkt. Der Lüfter erzeugt einen Luftstrom, der in der Fig. 2 durch gestrichelte Pfeile dargestellt ist. Der Luftstrom ist auf die wärmeführenden Bauteile der Drehschieberpumpe gerichtet, insbesondere auf den Bereich, der Antrieb und Pumpstufe enthält. In diesem Bereich entstehende Wärme wird von der vorbeiströmenden Luft aufgenommen, so dass eine Kühlung dieses Bereichs bewirkt wird. Insbesondere wird Wärme von demjenigen Schmiermittel abgeführt, welches das Gehäuse der Pumpstufe umgibt und durch diese aufgeheizt wird. Der Grad der Kühlung hängt von der Stärke des Luftsstroms und dieser von der Drehzahl des Lüfters ab.

[0022] Ein Temperaturfühler 213 ist in der Drehschieberpumpe in der Nähe des Antriebs angeordnet und gibt ein von der Temperatur abhängiges Signal ab. Er steht mit der Betriebselektronik 208 in Verbindung. Diese ist so gestaltet, dass sie das von der Temperatur abhängige Signal benutzt, um die notwendige Kühlung zu ermitteln. Die ermittelte Kühlung wird dann durch die Betriebselektronik eingestellt, indem die Drehzahl des Lüfters verändert wird. Ist eine Temperaturerhöhung notwendig, muss die Kühlung reduziert werden, daher wird die Drehzahl reduziert. Soll die Temperatur herabgesetzt werden, wird die Drehzahl erhöht um die Kühlmenge ebenfalls zu erhöhen. Da der Temperaturfühler in der Nähe des Antriebs und damit temperaturkritischer elektronischer Bauteile angeordnet ist, kann sein Signal genutzt werden, eine Überhitzung der elektronischen Bauteile zu vermeiden. Der Schalter 212 erlaubt das Einstellen unterschiedlicher Betriebsarten. Die Betriebsarten unterscheiden sich im Temperaturbereich, auf den die Vakuumpumpe temperiert wird, so dass sich die Betriebsarten auch in der Wasserdampfverträglichkeit unterscheiden. Der Schalter kann daher mit Werten oder Wertebereichen für die Wasserdampfverträglichkeit beschriftet sein. Alternativ zu einem Schalter kann die Betriebselektronik eine elektronische Schnittstelle aufweisen, über die ein Softwareparameter innerhalb der Betriebselektronik verändert wird. Die Mittel zur Änderung des Softwareparameters können ein Handgerät, einen Computer, oder dergleichen umfassen und trennbar mit der Betriebselektronik verbunden sein.

[0023] Ein Gasballastzugang 211 verbindet den Schöpfraum 214 der Drehschieberpumpe mit der Atmosphäre. Der Einlass in den Schöpfraum ist dabei so angeordnet, dass zu jedem Zeitpunkt der Schieber eine Trennung zum Gaseinlass der Drehschieberpumpe bewirkt. Der atmosphärenseitige Einlass des Gasballastzugangs ist in diesem Beispiel als eine Öffnung 221 gestaltet, die durch eine Hülse 220 ganz oder teilweise verschlossen werden kann. Hülse und Öffnung bilden zusammen ein Gasballastventil 209.

[0024] Die Drehschieberpumpe weist einen Kühlkörper 222 auf, der zur passiven Kühlung beiträgt. Er ist an der Oberfläche des Gehäuses angeordnet und gibt Wärme, die in ihr entsteht, an die Umgebungsluft ab.

[0025] Die Drehschieberpumpe dieses Beispiels ist einstufig gezeichnet, es können jedoch mehrere seriell oder parallel angeordnete Pumpstufen vorhanden sein.

[0026] Beide Vakuumpumpen gemäß den Ausführungsbeispielen werden mit dem nachfolgend anhand der Fig. 3 beschriebenen Verfahren betrieben. Diese Fig. zeigt in der ersten Zeile den Schaltzustand S des Auswahlmittels 12 beziehungsweise des Schalters 212 über der Zeit t. In der zweiten Zeile ist die Kühlmenge C über der Zeit t angegeben, die beispielsweise durch einen Lüfter mit veränderbarer Drehzahl bereit gestellt wird. In der dritten Zeile ist schließlich der Verlauf der Temperatur T über der Zeit t wiedergegeben.

[0027] Vor dem Zeitpunkt t₁ ist der Schaltzustand S₀ eingestellt. Die Temperatur der Vakuumpumpe steigt von einem Kaltwert T_C, der beispielsweise die Raumtemperatur ist, auf einen Normalwert T_N an. Dieser ist nach den typischen Werten im Stand der Technik bemessen und hängt von den Betriebsbedingungen ab, z.B. der Umgebungstemperatur und der zu fördernden Gasmenge. Da Kompressionswärme und Antriebsverluste die Vakuumpumpe erwärmen, ist eine Kühlmenge C_N nötig, um die Temperatur T_N zu halten.

[0028] Am Zeitpunkt t₁ wird der Schaltzustand auf den Zustand S₁ geändert und dadurch ein Betriebszustand mit höherer Wasserdampfverträglichkeit gewählt. Ab jetzt benutzt die Betriebselektronik das Signal des Temperaturfühlers, um die Kühlmenge C des Kühlmittels zu stellen. In dem nun beginnenden Zeitraum zwischen t₁ und t₅, in welchem der Schaltzustand S₁ gegeben ist, befindet sich die Betriebselektronik in einen Regelbetrieb. Im Schaltzustand S₀ reicht es aus, wenn sie als Steuerung arbeitet.

[0029] Zur Erhöhung der Wasserdampfverträglichkeit muss die Temperatur der Vakuumpumpe vom Normalwert T_N auf einen höheren Wert im Bereich zwischen einer unteren Grenztemperatur T_B und einer Höchsttemperatur T_T heraufgesetzt werden. Um dies zu erreichen, wird zunächst die Temperatur gemessen. Liegt die aktuelle Temperatur der Vakuumpumpe unterhalb der Temperatur T_B, wird die Kühlmenge auf einen niedrigen Wert C₁ gesenkt. Durch die verringerte Kühlung erwärmt sich die Vakuumpumpe aufgrund der Kompressionswärme und der Antriebsverluste. Zum Zeitpunkt t₂ erreicht die Vakuumpumpe die untere Grenztemperatur T_B. Nun wird die Kühlmenge auf einen mittleren Wert C₂ hochgesetzt um die Erwärmung zu verlangsamen. Bei Erreichen der Höchsttemperatur T_T wird die Kühlmenge auf einen wiederum höheren Wert C₃ erhöht, um die Vakuumpumpe abzukühlen und eine Überhitzung zu vermeiden. Durch die stärke Kühlung fällt die Temperatur ab, um schließlich zur Zeit t₄ wieder die untere Grenztemperatur T_B zu erreichen. Bei Erreichen dieser Temperatur wird die Kühlmenge wieder auf den Wert C₂ herabgesetzt, so dass sich die Vakuumpumpe wieder erwärmt.

[0030] Am Zeitpunkt t₅ wird der Schaltzustand von S₁ auf S₀ geändert. Die normale Kühlleistung C_N wird eingestellt, so dass die Temperatur der Vakuumpumpe auf den Normalwert T_N absinkt.

[0031] Die Figur 4 zeigt zwei einfache Möglichkeiten auf, wie die Einstellung der Kühlmenge erfolgen kann. Dazu ist im oberen Diagramm die Kühlmenge C angegeben, im zweiten Diagramm die Drehzahl f des Lüfters in einer ersten Betriebsart und im unteren Diagramm schließlich die Drehzahl f' des Lüfters in einer zweiten Betriebsart.

[0032] Vor dem Zeitpunkt t'₁ ist die Vakuumpumpe in einem Betriebszustand, in welchem die Kühlmenge nach dem Wärmeeintrag durch Kompression und Antriebsverlusten bemessen ist. Mit der maximalen Kühlmenge C'_N wird auch unter ungünstigsten Betriebsbedingungen, z.B. sehr hoher Umgebungstemperatur von 40°C, die Erwärmung der Vakuumpumpe auf unzulässige Werte verhindert. Zum Zeitpunkt t'₁ wird durch das Auswahlmittel ein Betriebszustand mit höherer Wasserdampfverträglichkeit gewählt, der erst am Zeitpunkt t'₃ wieder beendet wird.

[0033] Im ersten Beispiel der Kühlmengenstellung wird die Drehzahl des Lüfters von einem der Kühlmenge C'_N angepassten Drehzahl f_N auf eine niedrigere Drehzahl f₁ abgesenkt. Hierdurch wird die Kühlmenge reduziert. Ab dem Zeitpunkt t'₂ ist eine höhere Kühlleistung erforderlich, daher wird die Drehzahl auf einen Wert f₂ zwischen f_N und f₁ eingestellt. Ab t'₃ läuft der Lüfter wieder mit der ursprünglichen Drehzahl f_N. Die Drehzahlregelung kann statt mit diskreten Drehzahlwerten auch stufenlos erfolgen.

[0034] Im zweiten Beispiel der Kühlmengenstellung wird die Kühlmenge durch einen gepulsten Betrieb des Lüfters gestellt. Zwischen den Zeitpunkten t'₁ und t'₂ wird der Lüfter auf einer niedrigeren Drehzahl, wobei hierzu auch der Stillstand des Lüfters gehört, betrieben und nur für Pulse 41 auf eine andere Drehzahl umgeschaltet. Dies kann in einer einfachen Ausführung die Drehzahl f_N sein. Über das Zeitintervall t'₁ bis t'₂ gemittelt ergibt sich durch den gepulsten Betrieb eine geringere Kühlmenge. Im Zeitintervall t'₂ bis t'₃ ist eine höhere Kühlmenge erforderlich. Diese ergibt sich, indem mehrere Pulse 42 benutzt werden. Durch Verändern von Pulshöhe, Pulsdauer und Pulszahl kann die Kühlmenge auf das erforderliche Maß eingestellt werden.

Ansprüche

1. Vakuumpumpe (1; 201) mit einer gegen Atmosphäre verdichtenden Endpumpstufe (2; 214) und einer Kühlvorrichtung (7; 207), dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Betriebselektronik (8; 208) zur Stellung der Kühlmenge der Kühlvorrichtung (7; 207) und einen mit der Betriebselektronik (8; 208) verbundenen Temperaturfühler (13; 213) aufweist.

2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Auswahlmittel (12; 212) mit der Betriebselektronik (8; 208) verbunden ist, welches die Wahl unterschiedlicher Betriebsarten der Betriebselektronik ermöglicht.

3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpstufe (2; 214) einen durch ein Ventil (9; 209) absperrbaren Gasballastzugang aufweist.

4. Vakuumpumpe nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass Schaltzustand des Auswahlmittels (12; 212) und Schaltzustand des Ventils (9; 209) miteinander gekoppelt sind.

5. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil (9; 209) ein Magnetventil umfasst, welches mit der Betriebselektronik verbunden ist.

6. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlvorrichtung (7; 207) einen Lüfter umfasst, dessen Drehzahl zur Regulierung der Kühlmenge von einem Standardwert absenkbar ist.

7. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine ölgedichtete Drehschieberpumpstufe (214) aufweist.

8. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe (1; 201), welche eine gegen Atmosphäre verdichtende Endpumpstufe (2; 214) und einen Lüfter (7; 207) aufweist, dadurch gekennzeichnet,

- dass eine Temperatur gemessen,

- dass anschließend die notwendige Kühlung ermittelt und

- dass dann die ermittelte Kühlung eingestellt wird.

9. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe (1; 201) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Schritt das Auswahlmittel (12; 212) auf seinen Schaltzustand überprüft und danach die zu erreichende Temperatur ermittelt wird.

10. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe (1; 201) nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Einstellen der Kühlung durch Ändern der Drehzahl des Lüfters (7; 207) erfolgt.

11. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpe (1; 201) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe (1; 201) ein Ventil (9; 209) in einem Gasballastzugang aufweist und die Temperatur der Vakuumpumpe (1; 201) durch Verringern der Drehzahl eines Lüfters (7; 207) erhöht wird, wenn das Ventil geöffnet ist.

Zeichnung